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国家洁净室尺度洁净厂房设计规范及验收检测

来源:http://www.whdcjh.com/ 作者:DEIIANG得创 发布时间:2022-06-14 22:09

国家洁净室尺度洁净厂房设计规范及验收检测

 

  第一章 总则

  第1.0.1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策,做到手艺先进、经济合理、平安适用、确保质量,相符节约能源和环境珍爱的要求。

  第1.0.2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计,但不适用于以细菌为控制工具的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的划定,不适用于修建高度跨越24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。

  第1.0.3 条在行使原有修建举行洁净手艺革新时,洁净厂房设计必须凭证生产工艺要求,因地制宜、区别对待,充分行使已有的手艺设施。

  第1.0.4条洁净厂房设计应为施工安装、维护治理、测试和平安运行缔造需要的条件。

  第1.0.5条洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应相符现行的国家尺度、规范的有关要求。

 

 

  第二章 空气洁净度品级

  第2.0.1条 空气洁净度应按表2.0.1划定划分为四个品级。

  空气洁净度品级 表2.0.1

  等  级 每立方米(每升)空气中

  ≥0.5微米尘粒数 每立方米(每升)空气中

  ≥5微米尘粒数

  100级 ≤35×100(3.5)

  1000级 ≤35×1000(35) ≤250(0.25)

  10000级 ≤35×10000(350) ≤2500(2.5)

  100000级 ≤35×100000(3500) ≤25000(25)

  注:对于空气洁净度为100级的洁净室内大于即是5微米尘粒的盘算应举行多次采样。当其多次泛起时,方可以为该测试数值是可靠的。

  第2.0.2条洁净室空气洁净度品级的磨练,应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试,应相符附录二划定。

 

  第三章 总体设计

  第一节 洁净厂房位置选择和总平面部署

  第3.1.1条洁净厂房位置的选择,应凭证下列要求并经手艺经济方案对照后确定:

  一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域;

  二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声滋扰的区域。如不能远离严重空气污染源时,则应位于其最大频风向优势侧,或整年最小频率风向下风侧;

  三、应部署在厂区内环境洁净、人流货流不穿越或少穿越的地段。

  第3.1.2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择,应现实测定周围现有振源的振动影响,并应与周详装备、周详仪器仪表允许环境振动值举行剖析对照。

  第3.1.3条洁净厂房最大频率风向优势侧有烟囱时,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条 洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。

  第3.1.5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可行使交通蹊径),若有难题时,可沿厂房的两个长边设置消防车道。

  第3.1.6条洁净厂房周围的蹊径面层,应选用整体性好、发尘少的质料。

  第3.1.7条洁净厂房周围应举行绿化。可铺植草坪、莳植对大气含尘农度不发生有害影响的树木,并形成绿化小区。但不得故障消防操作。

  第二节 工艺部署和设计综合协调

  第3.2.1条 工艺部署应相符下列要求:

  一、工艺部署合理、紧凑。洁净室或洁净区内只部署需要的工艺装备以及有空气洁净度品级要求的工序和事情室。

  二、在知足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调治机房,空气洁净度品级相同的工序和事情室宜集中部署,靠近洁净区人口处宜部署空气洁净度品级较低的事情室。

  三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应部署在优势侧,易发生污染的工艺装备应部署在靠近回风口位置。

  四、应思量大型装备安装和维修的运输蹊径,并预留装备安装口和磨练口。

  五、应设置单独的物料人口,物料转达蹊径应最短,物料进入洁净区之前必须举行洁净处置。

  第3.2.2条洁净厂房内宜少设隔间,但在下列情形下可予以脱离。

  一、按生产的火灾危险性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间,或有防火脱离要求者。

  二、生产历程中发生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体,且不能接纳局部措施加以控制者。

  三、生产联系少,并经常差异时使用的两个生产车间之间。

  第3.2.3条洁净厂房的平面和空间设计,宜将洁净区、职员净化、物料净化和其他辅助用房举行分区部署。同时应思量生产操作、工艺装备安装和维修、气流组织型式、管线部署以及净化空气调治系统等种种手艺设施的综合协调效果。

  第3.2.4条洁净厂房设计必须合理确定种种管线的平面位置和竖向标高。第3.2.5条 洁净厂房内种种牢靠手艺设施(如送风口、照明器、回风口、种种管线等)的部署,宜首先思量净化空气调治系统的要求。

 

  第三节 噪声控制

  第3.3.1条洁净室内的噪声级,应相符下列要求:

  一、动态测试时,洁净室内的噪声级不应跨越70分贝A。

  二、空态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A;层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。

  注:(1)由于手艺经济条件限制,或噪声大于70分贝A对生产无影响时,噪声级可适当放宽,但不宜大于75分贝A;

  (2)上述噪声级是指在室内每一个事情点人耳位置(人脱离)的测量值。对于更改噪声,则取相同位置处在一个正常事情日内的等效延续声压级。

  第3.3.2条洁净室的噪声频谱限制,应接纳倍频程声太级;各频带声压级值不宜大于表3.3.2的划定。

  第3.3.3条洁净厂房的平、剖面部署,应思量噪声控制的要求,其围护结构应有优越的隔声性能,并宜使各部脱离声量相靠近。

  第3.3.4条洁净室内的种种装备均应选用低噪声产物。对于辐射噪声跨越洁净室允许值的装备,应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。

  第3.3.5条净化空气调治系统噪声跨越允许值时,应接纳隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外,应对洁净室内的排风系统举行减噪设计。

  第3.3.6条净化空气调治系统,凭证室内噪声级的要求,风管内风速宜按下列划定选用:

  一、总风管为6~10米/秒。

  二、无送、回风口的支风管为6~8米/秒。

  三、有送、回风口的大风管为3~6米/秒。

  第3.3.7条洁净厂房的噪声控制设计必须思量生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。

  第四节 振动控制

  第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的装备(包罗水泵等)及其通往洁净室的管道,应接纳起劲隔振措施。

  第3.4.2条对洁净厂房内外种种振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可凭证履历对综合振动影响举行评价。并应与周详装备、精仪器仪表的允许环境振动值举行对照,以确定对其接纳需要的隔振措施。

  第3.4.3条周详装备、周详仪器仪表的隔振措施,应思量削减发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当接纳空气弹簧隔振台座时,应地气源举行处置,使其到达洁净室的空气洁净度品级。

 

  第四章 修建

  第一节 一样平时划定

  第4.1.1条 洁净厂房的修建平面和空间布局,应具有适当的灵活性。洁 净区的主体结构不宜接纳内墙承重。

  第4.1.2条 洁净室的高度以净高控制,净高应以100毫基本模数。

  第4.1.3条 洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调, 并应具有防火、控制温度变形和不平均沉陷性能(地震区应相符抗震设计划定)。厂房变形缝应阻止穿过洁净区。

  第4.1.4条 送、回风管和其他管线需暗敷时,应设置手艺夹层、手艺夹 道或地沟等;穿越极层的竖向管线需暗敷时,宜设置手艺竖井。

  第4.1.5条 对兼有一样平时生产和洁净生产的综合性厂房,其方案设计和构 造的处置,应阻止在人流与物流运输以及防火方面临洁净生产带来晦气影响。

  第二节 职员净化和物料净化设施

  第4.2.1条 洁净厂房内应设置职员净化、物料净化用室和设施,并应根 据需要设置生涯用室和其他用室。

  第4.2.2条 职员净化用室,宜包罗雨具存放间、治理室、换鞋室、存外衣 室、盥洗室、洁净事情服室和空气吹淋室等。茅厕、淋浴室、休息室等生涯用室以及事情服洗濯间和干燥间等其他用室, 可凭证需要设置。

  第4.2.3条 职员净化用室和生涯用室的设计,应相符下列要求:

  一、职员净化用室的入口处,应设净鞋器。

  二、存外衣室和洁净事情服室应划分设置。外衣存衣柜和洁净事情服柜应按 设计人数每人设一柜。

  三、盥洗室应设洗手和烘干装备。水龙头应按最买办人数每10人设一个。

  四、洁净区不得设茅厕。职员净化用室内的茅厕应设前室。

  五、空气吸淋室应设在洁净区职员入口处,并应与洁净事情服室相邻。单人 空气吹淋室按最买办人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时,可改 设气闸室。洁净区事情职员跨越5人时,空气吹淋室一侧应设旁通门。

  第4.2.4条 人流蹊径应阻止往复交织。职员净化用室和生涯用室的部署, 一样平时按图4.2.4的职员净化程序举行部署。

  第4.2.5条 凭证差异的空气洁净度品级和事情职员数目,洁净厂房内人 员净化用室和生涯用室的修建面积应合理确定。一样平时可按洁净区设计人数平均每 人4~6平方米盘算。

  第4.2.6条 洁净事情服室内,对空气净化应有一定的要求。

  第4.2.7条 洁净室的装备和物料出入口,应凭证装备和物料的性子、形 状守候征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的部署,应防止净化后物料 在转达历程中被污染。

  第三节 防火和疏散

  第4.3.1条 洁净厂房的耐火品级不应低于二级。吊顶质料应为非燃烧体, 其耐火极限不宜小于0.25小时。

  第4.3.2条 洁净厂房内一样平时的生产事情间的火灾危险性,可按附录三进 行分类。

  第4.3.3条 甲、乙类生产的洁净厂房,宜接纳单层厂房。其防火墙间最 大允许占地面积,单层厂房应为3,000平方米,多层厂房应为2,000平方米。

  第4.3.4条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室, 其顶棚和壁板(包罗内部填充物)应为非燃烧体。

  第4.3.5条 在一个防火区内的综合性厂房,其洁净生产与一样平时生产区域 之间应设置非燃烧体隔墙封锁到顶。隔墙及其响应顶板的耐火极限不应低于1小 时,隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围悠闲 应接纳非燃烧质料慎密填塞。

  第4.3.6条 手艺竖井井壁应为非燃烧体,其耐火极限不应低于1小时。井 壁上检查门的耐火极限不应低于0.6小时;竖井内在各层或距离一层楼板处,应 接纳相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火脱离;穿过水平防火脱离的管线 周围悠闲,应接纳非燃烧质料慎密填塞。

  第4.3.7条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的平安出 口的数目,均不应少于两个。但相符下列要求者,可设置一个平安出口:

  一、甲、乙类生产厂房每层的总修建面积不用过50平方米,且统一时间内的 生产职员总数不用过5人;

  二、丙、丁、戊类生产厂房,相符国家现行的《修建设计防火规范》的划定 者。平安出口应涣散平均部署,从生产地址至平安出口不用经由曲折的职员净化 蹊径。

  第4.3.8条 洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的平安疏散门应向疏 散偏向开启。平安疏散门不得接纳吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。

  第4.3.9条 当洁净厂房同层外墙上可供消防职员通往厂房洁净区的门窗, 其洞口间距大于80米时,则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750毫米,高度不应小于1800毫米,并应有显著标志。楼层的专用消防口应附设阳台,并从二层起向上设爬楼。

  第四节 室内装修

  第4.4.1条 洁净厂房的修建围护结构和室内装修,应选用气密性优越, 且在温度和湿度等转变作用下变形小的质料。墙面内装修当需附加组织骨架和保 温层时。应接纳非燃烧体或难燃烧体。

  第4.4.2条 洁净室内墙壁和顶棚的外面,应相符平整、滑腻、不起灰、 阻止眩光、便于除尘等要求;应削减凹凸面,阴阳角做成圆角。室内装修宜接纳 于操作;如为抹灰时,应接纳高级抹灰尺度。

  第4.4.3条 洁净室的地面,应相符平整、耐磨、易除尘洗濯、不易蕴蓄 静电、阻止眩光、并有舒适感等要求。

  第4.4.4条 洁净厂房手艺夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在手艺夹层内 替换高效空气过滤器时,宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的手艺夹层,应接纳防水或防潮、防霉措施。修建风道和回风地沟的内外面装修尺度,应与整个送、回风系统相顺应,并 应易于除尘。

  第4.4.5条 洁净室和职员净化用室设置的外窗,应接纳双层玻璃金属窗,并应有优越的气密性。

  第4.4.6条 洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁 净室的密闭门上宜设观察窗。

  第4.4.7条 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的组织和施工裂痕, 均应接纳可靠的密封措施。

  第4.4.8条 洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各外面质料的光反射系数, 顶棚和墙面宜为0.6-0.8;地面宜为0.15--0.35。

  第五节 装配式洁净室

  第4.5.1条 在新建或改建的洁净厂房设计中,对于面积不大、层高较低、 要求空气洁净度较高的生产环境可接纳装配式洁净室。

  第4.5.2条 装配式洁净室所在的房间应有空气净化要求,并应与装配式洁 净室的空气洁净度品级相顺应。外围修建的耐火品级不得低于二级。

  第4.5.3条 装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室自己内壁板或支柱支承, 也可牢靠在外围修建上。回风地沟或回风地坑宜设在外围修建的地面以下。

  第4.5.4条 装配式洁净室设计应知足在该室室内安装壁板的要求。装配 式洁净室的构配件应做到:毗邻组织的整体性强、气密性好,并便于组装、拆卸、包装和运输。

  第4.5.5条 装配式洁净室的周围壁板中,宜有一面或两面紧贴或靠近外 围修建的墙壁。紧贴时,壁板与墙壁之间的安装裂痕应封锁;靠近时,应留有清 扫距离。当装配式洁净室时,壁板外侧设有手艺夹道时,壁板与外围修建内墙面 之间净宽不宜小于600毫米。

 

  第五章 空气净化

  第一节 一样平时划定

  第5.1.1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度品级的确定,应相符下列要求:

  一、洁净室内有多种工序时,应凭证各工序的差异要求,接纳差异的空气洁净度品级。

  二、在知足人生产工艺要求的前提下,洁净室的气流组级别,宜接纳局部事情区空气净化和全室空气净化相结合的形式。

  第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间差异的洁净室,其净化空气调治系统均宜脱离设置。

  第5.1.3条洁净室内的盘算温、温度、应相符下列划定:

  一、知足生产工艺要求

  二、生产工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26度,温度70度。

  第5.1.4条洁净室内应保证一定的新鲜空宇量,其数值频取下列风量中的最大值;

  一、乱流洁净室总送风量的10%~30%,层流洁净室总送风量的2~4%。

  二、抵偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空宇量。

  三、保证室内每人每小时的新鲜空宇量不小于40立方米。

  第5.1.5条洁净区的清扫,宜接纳移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道,应暗敷。

  第5.1.6条在净化空气调治系统设计中,对施工和维护治理要求,可按附录四和附录五的划定。

  第二节 洁净室正压控制

  第5.2.1条洁净室必须维持一定的正压。差异品级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于4.9Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于9.8Pa。

  第5.2.2条洁净室维持差异的正压值所需的正压风量,宜按下式盘算:

,(1)具备合理的生产过程; (2)优越的生产装备; (3)准确的生产知识; (4)完善的质量控制; (5)严酷的治理体系①    原材料采购、运输、贮存的卫生。 ②    工厂设计与设施的卫生。 ③    食物生产用水 ④    工厂的卫生治理。 ⑤    生产过程的卫生。 ⑥    卫生和质量磨练。 ⑦    制品贮藏和运输的卫生。 ⑧    个人卫生与康健的要求。 ,

  Q=q1·Σ(q·L)      (5.2.2)

  式中:Q--维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时);

  a--凭证围扩结构气密性确定的平安系数,可取1.1~1.2;

  q--当洁净室为某一正压值时,其围护结构单元长度裂痕的渗漏风量(米3/时·米);

  L--围扩结构的裂痕长度(米)。

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  第5.2.3条围护结构单元长度裂痕的渗漏风量,可按表5.2.3接纳。

  压差(Pa) 门 窗 形 式

  非密闭门 密闭门 单层牢靠密闭木窗 单层牢靠密闭钢窗 单层开启式密闭钢窗 转达窗 壁板

  漏风量(米3/时·米)

  4.9 17 4 1.0 0.7 3.5 2.0 0.3

  9.8 24 6 1.5 1.0 4.5 3.0 0.6

  14.7 30 8 2.0 1.3 6.0 4.0 0.8

  19.6 36 9 2.5 1.5 7.0 5.0 1.0

  24.5 40 10 2.8 1.7 8.0 5.5 1.2

  29.4 44 11 3.0 1.9 8.5 6.0 1.4

  34.3 48 12 3.5 2.1 9.0 7.0 1.5

  39.2 52 13 3.8 2.3 10.0 7.5 1.7

  44.1 55 15 4.0 2.5 10.5 8.0 1.9

  49.0 60 16 4.4 2.6 11.5 9.0 2.0

  第5.2.4条送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时,联轴和序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机,系统关闭时,则闻锁程序应相反。

  第5.2.5条非延续运行的洁净室,可凭证生产工艺要求设置值班风机,并应对新风举行处置。

  第三节 气流组组织和送风量

  第5.3.1 气流组织的选择,应相符下列要求:

  一、洁净事情区的气流速率,应知足空气洁净度和人体康健的要求,并应使洁净事情区气流流向单一。

  二、回风口宜平均部署在洁净室下部。

  三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧,不宜设在洁净事情区高度范围内。

  第5.3.2条洁净室的气流组织和送风量,宜按表5.3.2选用。

  第5.3.3条乱流洁净室的送风量,应取下列划定的最大值;

  一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量。

  二、按表5.3.2划定的送风量。

  三、凭证热、湿负荷盘算和稀释有害气体所需的送风量。

  四、按空气平衡所需要的送风量。

  第5.3.4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部事情区到达更高的空气洁净度时,其气流组织设计应使洁净气流首先流经该事情区,或在洁净室的差异区域形成差异气流流型和空气洁净度品级的洁净事情区,其型式可划分按图5.3.4-1、5.3.4-2。

  第5.3.5条层流洁净室内不宜设置洁净事情台;乱流洁净室内可设置洁净事情台,但其位置应远离回风口。

  第5.3.6条洁净室内有局部排风装置时,其位置应设在事情区气流的下风侧。

  第四节 空气净化处置

  第5.4.1条各品级空气洁净度的空气净化处置,均应接纳初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。

  注1:100,000级空气净化处置,可接纳亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。

  第5.4.2条确定集中式或涣散式净化空气调治系统时,应综合思量生产工艺特点和洁净室空气洁净度品级、面积、位置等因素。凡生产工艺延续、洁净室面积较大时,位置集中以及噪声控制和振动控制要求严酷的洁净室,宜接纳集中式净化空气调治系统。

  第5.4.3条净化空气调治系统设计应合理行使回风,凡工艺历程发生大量有害物质且局部处置不能知足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。

  第5.4.4条净化空气调治系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应接纳防止室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。

  第5.4.5条空气过滤器的选用部署和安装方式,应相符下列要求:

  一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。

  二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调治系统的正压段。

  三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调治系统末尾。

  四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用。

  五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在统一洁净室内。

  六、高效空气过滤器安装方式应简捷可靠,易于检漏和替换。

  第5.4.6条送风机可按净化空气调治系统的总送风量和总阻力值举行选择,中效、高效空气过滤器的阻力宜接其初阻力的两倍盘算。

  第5.4.7条净化空气调治系统如需电加热时,应选用管状电加热器,位置应部署在高效空气过滤器的优势侧,并应有防火平安措施。

  第五节 采暖透风

  第5.5.1条洁净室的采暖型式,应按下列差异情形确定:

  一、100级、1000级、10,000级洁净室,不应接纳散热器采暖,100,000级洁净室,不宜接纳散热器采暖。

  二、值班采暖可行使手艺夹道的散热器举行间接采暖。或接纳间歇运行净化空气调治系统,值班风机系统举行热风采暖。

  第5.5.2条散热器应接纳外面滑腻不易积尘、便于清扫的形式。

  第5.5.3条洁净室内发生粉尘和有害气体的工艺装备,应设局部排风装置、排风罩的操作口面积应只管缩小。

  第5.5.4条局部排风系统在下列情形下,应单独设置:

  一、非统一净化空气调治系统。

  二、排风介质夹杂后能发生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性。

  三、所倾轧的有害物毒性相差很大。

  第5.5.5条洁净室的排风系统设计,应接纳下列措施:

  一、防倒灌措施。

  二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。

  第5.5.6条换鞋室、存外衣室、盥洗室、茅厕和淋浴室等,应接纳透风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。

  第5.5.7条洁净室事故排风系统的换气次数,应接纳每小时15~20次。事故排风装置的控制开关,应划分设在洁净室和室外便于操作的地址,并应与净化空气调治系统联锁,其室内宜设报警装置。

  第六节 风管和附件

  第5.6.1条风管断面尺寸的确定,应思量能对风管内壁举行洁净处置,并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。

  第5.6.2条净化空气调治系统的新风管、回风总管,应设置密闭调治阀。送风机的吸入口处和需要调治风量处,应设置密闭调治阀。送风机的吸入口处和需要调治风量处,应设置调治阀。洁净室内的排风系统,应设置调治阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处,必须设置防火阀。

  第 5.6.3条净化空气调治系统的风管和调治阀以及高效空气过滤器的珍爱网、孔板和扩散孔板等附件的制作质料和涂料,应凭证运送空气的洁净要求及其所处的空气环境条件确定。洁净室内排风系统的风管、调治阀和止回阀等附件的制作质料和涂料,应凭证清扫气体的性子及其所处的空气环境条件确定。

  第5.6.4条在中效和高效的空气过滤器前后,应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及需要调治风量的支管上,应设置风量测定孔。

  第5.6.5条清扫腐蚀性气体的风管,可接纳塑料风管,其他风管以及风管的保温顺游泳场质料及其粘结剂,应接纳非燃烧质料或难燃烧质料。

  第六章 给水排水

  第一节 一样平时划定

  第6.1.1条 洁净厂房内的给水排水干管,应敷设在手艺夹层、手艺竖井、 地沟管槽内或地下埋设。洁净室内应少敷设管道。引入洁净室的支管宜明敷,但对空气洁净度品级要求高的洁净室可暗敷。

  第6.1.2条 洁净厂房内的管道外外面,如可能结露,应接纳防结露措施。

  第6.1.3条 管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管 之间应接纳可靠的密封措施。

  第5.1.4条 管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时,穿墙管及其套管应为 非燃烧体管材。

  第二节 给水

  第6.2.1条 洁净厂房内的给水系统设计,应凭证生产、生涯和消防等各 项用水对水质、水温、水压和水量的要求,划分设置直流、循环或重复行使的给 水系统。高纯水系统应设置循环管道。

  第6.2.2条 管材的选择,应相符下列要求:

  一、纯水管、高纯水管应接纳硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管;

  二、冷却循环给水和回水管宜接纳镀锌钢管;

  三、生产用水装备与管道的毗邻宜接纳优质软管;

  四、管道的配件应接纳响应的质料。

  第6.2.3条 洁净厂房内可设置开水供应设施;盥洗室内的盥洗盆宜供应 热水;软化水、纯水管顺应预留洗濯口;纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。

  第6.2.4条 洁净厂房的周围,应设置洒水设施。

  第三节 排水

  第6.3.1条 洁净厂房的排水系统设计,应凭证生产倾轧的废水性子、浓 度、水量等特点确定排水系统,并应有废水处置或综合行使设施。

  第6.3.2条 洁净室内的排水装备以及与重力回水管道相毗邻的装备,必 须在其倾轧口以下部位设水封装置,并应有防止水封被损坏的设施。

  第6.3.3条 100级、1000级洁净室内,不宜设置地漏;如必须设置时,应 接纳有盖地漏,并不应设排水沟。10,000、100,000级洁净室内允许穿过排水 竖管,但在竖管上不得设置检查口。

  第6.3.4条 洁净厂房内应接纳不易积压污物、易于清扫的卫生用具、管 材、管架及其附件。

  第四节 消防设施

  第6.4.1条 洁净厂房应凭证生产的火灾危险性分类和修建物耐火品级等 因素确定消防设施。

  第6.4.2条 洁净厂房室内消火栓给水系统的消防用水量不应小于10升/ 秒,每股水量不应少于5升/秒;

  第6.4.3条 洁净厂房的消火栓设置,应相符下列要求:

  一、消火栓的水枪充实水柱,不应小于10米。

  二、消火栓的栓口直径应为65毫米,配备的水带长度不应跨越25米,水枪喷 嘴口径不应小于

  19毫米。

  第6.4.4条 洁净室及其手艺夹道和手艺夹层内,均宜同时设置卤代烷或 二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有珍贵装备仪器或生产的火灾危险性 较大的洁净室,以及当火灾发生时消防职员难以进入扑救的手艺夹层和手艺夹道 等部位,应同时设置卤代烷或二氧化碳等牢靠灭火装置和消防给水系统。

 

  第七章 工业气体管道

  第一节 一样平时划定

  第7.1.1条工业气体管道的干管,应敷设在手艺夹层、手艺夹道内。氢气和氧气管道且明敷,如敷设在手艺夹层、手艺夹道内时,应接纳优越的透风措施。引入洁净的支管宜明敷。

  第7.1.2条高纯气体管道设计,应相符下列要求:

  一、凭证盘算确定管径。

  二、管道系统应只管短。

  三、不宜设预留口。

  四、不应泛起"盲管"等不易吹除的部位。

  五、干管不支管上应设置吹除口。

  六、在管系统上应设置吹除口。

  第7.1.3条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道,应敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应接纳可靠的密封措施。

  第7.1.4条氢气和氧气管道的末尾或最高点宜设放散管。放散管应凌驾屋脊1米,并应设在防雷珍爱区内。

  第7.1.5条气体净化装置应凭证气源和生产工艺对气体统一计划的要求举行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。

  第7.1.6条气体过滤器应凭证生产工艺对气体含尘量的要求举行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。

  第二节 管道质料、阀门和附件

  第7.2.1条凭证差异的气体及其纯度和用途,管道质料应按下列划定选用:

  一、气体纯度巨细或即是99.999%时,应接纳不锈钢管。

  二、气体纯度大于或即是99.99%时,宜接纳不锈钢管、铜管、无缝钢管。

  三、气体纯度小于99.99%时,可接纳无缝钢管。

  四、管道与装备的毗邻段,宜接纳金属管道;如为非金属软管时,宜接纳聚四氟乙烯管、聚乙 烯管、不得接纳乳胶管。

  第7.2.2条高纯气体管道应接纳密封性能好的低门和附件,其质料与管道相顺应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯质料。阀门的填塞料应接纳聚四氟乙烯质料。

  第7.2.3 高纯气体管道与附件毗邻的密封垫,应接纳不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶质料。

  第三节 管道毗邻和洗濯

  第7.3.1条管道毗邻应接纳焊接。高纯气体管道应接纳承插焊。

  第7.3.2条管道与装备、阀门的毗邻处,宜接纳法兰、螺纹或其它密封性能优良的毗邻件。螺纹处宜接纳聚四氟乙烯带密封。

  第7.3.3条 高纯性气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前,应举行洗濯、脱脂等预处置。

  第四节 平安手艺

  第7.4.1条 工业气体管道设计的平安手艺,应相符下列划定;

  一、氢气管道的支管和放散管上,应设置回火防止器。

  二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置。

  三、种种气体管道应设显著标志。

  第7.4.2条洁净室内使用氢气时,宜在室内设置报警装置。

  第7.4.3条种种气瓶应集中设置在洁净厂房外,当日用宇量不跨越一瓶时,气瓶可设置在洁净室内。


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