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百级光学玻璃洁净室设计规范.得创净化工程专业从事玻璃洁净室工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)接触的大气的洁净度和温度、湿度,使产品在良好的环境空间内生产制造,我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是按照每立方米空气中直径大于划分标准的颗粒物数来规定的。也就是说,所谓无尘并不是百分之百没有任何灰尘,而是控制在极少量的单位内。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒和我们常见的粉尘相比是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响,所以在光学结构产品的生产中,对车间进行无粉尘净化是必然的要求。
洁净度等级标准ISO14644根据悬浮颗粒浓度的唯一指标划分洁净室(区)和相关控制环境中的空气洁净度等级,只考虑0.1um~0.5um范围内累计分布的颗粒组。根据粒径,可分为传统粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净 度等级(N) |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
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|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 |
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洁净室室内气流倒灌,为防止室外气流倒灌。防止洁净室的净化空调系统停止运行时,室外空气倒灌流入室内,引起污染和沉积。工程中常用的防倒灌措施是:
①采用设置中效过滤器,这种方式结构简单、维护方便;
②采用止回阀,使用方便,但密闭性较差;
③采用密闭阀,密闭性好,但结构复杂,管理不便;
④采用自控装置。
2 含有易燃、易爆局部排风系统的防火防爆。
3 排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时,应进行无害化处理。
4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统,应设坡度及排放口。洁净室内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间,应采取通风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。
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通风和空调部分包括一到五层的清洁空调和通风系统、压缩空气系统和真空吸引系统。净化空调系统的高效出风口、层流罩、空调机组等安装工程应符合专业设计施工说明和以下施工验收规范:
《通风与空气施工及验收规范》
(98修订)《药品生产质量管理规范》
《洁净车间设计规范》
根据GMP根据标准化和生产工艺要求,空调净化系统采用组装式净化空调。空调空气经初级、中级、高效三级过滤,高效过滤器设置在终端送风口上。净化空调系统采用顶部送风和侧壁下回风。通过沿墙回风支管,然后通过天花板回风干燥管返回空调机组。采用全空气低速单风管系统,气流组织为湍流,局部百级洁净室采用自带风机的清洁层流罩"
"净区空调管道采用优质镀锌钢板咬合材料制成。风管材料厚度的选择以及法兰、三通、弯头、变径管等部件的做法见《国家通用通风管件图》。
空气清洁技术是一种要求较高的综合技术,旨在控制生产环境中的粉尘、细菌、细菌和微生物,以确保产品的高精度、高纯度和高可靠性。根据这些特殊要求,空气清洁系统的生产和安装不仅应按照国家规范的要求进行,还必须根据具体情况采取一定的技术措施,以满足清洁系统安装的洁净度和严密性的要求。
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洁净室工业废气管道安装规范
工业气体管道的主管道应敷设在技术夹层和技术夹层中。氢气和氧气管道应明确应用。如果敷设在技术夹层和技术夹层中,应采取良好的通风措施。应使用干净的支管。
一、高纯气体管道设计,应满足以下要求:
1.根据计算确定管径。
2.管道系统应尽可能短。
3.不宜设置预留口。
4.不应出现盲管等不易吹除的部位。
5.主管不支管上应设置吹除口。
6.管道系统上应设置吹除口。
6.1.气体管穿过洁净室墙壁或地板,应敷设在预埋套管内,套管内的管段不得有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
6.2.放散管应设置在氢气和氧气管道的末端或最高点。在防雷保护区内,放散管应高出屋脊1米。
6.3.气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体统一规划的要求进行选择。气体净化装置应设置在气体使用点附近。
6.4.气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高效气体过滤器应安装在高纯度气体管道中。
二、管道材料、阀门及附件
管材应根据不同的气体及其纯度和用途,按以下规定选用:
1.气体纯度或等于99.不锈钢管应使用999%。
2.气体纯度大于或等于999.不锈钢管、铜管、无缝钢管应在99%时使用。
3.气体纯度小于99.无缝钢管可用于99%。
4.金属管道应用于管道与设备的连接段;如果是非金属软管,应使用聚四氟乙烯管、聚乙烯管,不能使用乳胶管。
4.1.高纯度气体管道应采用密封性能好的低门及附件,其材料应与管道相适应。阀门的密封圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯。阀门的填充材料应为聚四氟乙烯。
4.2.用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料连接高纯气体管道和附件的密封垫。
三、管道连接和清洗
1.管道连接应采用焊接,高纯度气体管道应采用承插焊接。
2.管道与设备、阀门的连接处,应采用法兰、螺纹或其它密封性能优异的连接件。用聚四氟乙烯带密封螺纹。
3.高纯气体管道内壁、阀门及附件安装前,应进行清洗、脱脂等预处理。
4.安全技术
四、工业气体管道设计的安全技术, 应符合下列规定;
1.回火防止器应设置在氢气管道的支管和放散管上。
2.氢气和氧气管道应设置导除静电装置。
3.各种气体管道应设置明显的标志。
3.1.洁净室内使用氢气时,应在室内设置报警装置。
3.2.洁净室外应设置各种气瓶,当日用气量不超过一瓶时,可在洁净室内设置气瓶。
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一般照明和插座线路BV和vv塑料绝缘线通过钢管穿过墙壁、屋顶天花板或地下,照明配电箱引起的回路零线不共用,单相三极接地插座接地桩头,故障时电气装置可能带电压的外露导电部分应可靠连接PE线路。在电气施工过程中,应与建筑物、结构、给排水、围护结构、暖通空调工程等工种密切配合。各电气设备的出口标高和位置以各工种的图纸为准。在围护结构和土建施工过程中,电工类型应在现场配合,做好现场预埋工作,按规范施工和验收。
1、电气安装工程的质量必须符合以下标准:
①施工图纸
②、《电气设备安装工程施工及验收规范》
③、《建筑安装工人安全技术操作规程》
④、《电气照明施工及验收规范》
⑤、《接地装置施工及验收规范》
⑥、盘、柜、二次回路结线"验收规范
⑦、《电缆线路施工及验收规范》
⑧、《洁净室施工验收规范》
2、对电气材料的质量要求
①、使用的主要电气材料、电气设备应符合国家或部颁发的技术标准,并具有出厂证书,设备应有铭牌。
②、所有电气材料、设备到达现场后,应进行以下验收:
技术文件是否齐全;
型号、规格是否符合设计要求,附件是否齐全;
外观检查是否符合质量标准,所有不合格产品必须立即离开现场;
经检验合格的材料和电器应妥善保管。
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武汉得创净化工程有限公司是一家从事厂房净化车间、净化空调、中央空调设计、制作和安装的专业公司 拥有几十年的工程设计、制作、安装、调试、检测、售后服务等综合性成套服务及工作经验。承建和设计10—1000000级洁净室及净化厂房