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千级电子光学洁净室装修设计.得创净化工程专业从事电子洁净室工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
洁净室是一种洁净室,是指在一定空间范围内清除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物,对室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及气流分布、噪声、振动、照明、和静电控制在一定的需求范围内,并给出专门设计的房间。
GB/T16292-1996(中国标准)空气洁净度分级标准
粒径、数值 洁净度级别 |
尘埃最大允许数/立方米 |
微生物做大允许数 |
||
≥0.5um |
≥5.0um |
游浮菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
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100级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
1,000级 |
35,000 |
200 |
50 |
2 |
10,000级 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000级 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000级 |
10,500,000 |
60,000 |
|
15 |
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1.洁净室的平⾯布局
洁净室⼀般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。洁净室的平⾯布置可以有以下⼏种⽅式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和⽆窗,兼作参观和放置⼀些设备⽤,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。内廊式:洁净室设在外围,⽽⾛廊设在内部,这种⾛廊的洁净度级别⼀般都较⾼,甚⾄和洁净室同级。
两端式:洁净区设在⼀边,另⼀边设准洁净和辅助⽤房。
核⼼式:为了节约⽤地、缩短管线,可以洁净区为核⼼,上下左右被各种辅助⽤房和隐蔽管道的空间包围起来,这种⽅式避开室外⽓候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
2.人流路线
为了在操作中尽量减少⼈活动产⽣的污染,⼈员在进⼊洁净区之前,必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“⼈⾝净化”简称“⼈净”。
⼈净⽤房中更换洁净服的房间应予送风,并对⼊⼝侧等其他房间保持正压,对厕所、淋浴保持少许正压,⽽厕所、淋浴应保持负压。
3.物料路线
各种物件在送⼊洁净区前必须经过净化处理,简称“物净”。
物料净化路线与⼈净路线应分开,如果物料与⼈员只能在同⼀处进⼊洁净室,也必须分门⽽⼊,物料并先经过粗净化处理。
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千级洁净室设计
1.配电
洁净室(区)主要生产用房一般照度值适宜n300Lx;辅助工作室、人员净化和材料净化室、气闸室、走廊的照度值应为200~300Lxo
2.噪声控制
1.在动态测试中,10000级洁净室的噪声水平不应超过7倍A。
2.静态测试时,10000级湍流洁净室的噪声级不应大于6A。
3.气流组织
千级级洁净室主要采用送风方式:
1.局部孔板顶棚送风;
2.带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;
3.上墙送风等三种送风方式。
千级级洁净室主要采用回风方式:
1.单侧墙下部布置回风口;
2.采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊末端设置回风口。
风速(米/秒)
1.孔板孔口3~5;.侧送风口:
2.(1)附着射流2~5;
3.(2)同侧墙下部非附着射流回风1.5~2.5、对侧墙下部回凤1.0~1.5。
回风口风速(米/秒):
1.洁净室回风口不大于2;
2.2.走廊回风口不大于4。
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洁净室采暖通风系统设计
1.根据以下不同情况,确定条洁净室的采暖类型:
1.1.100级、1000级、1000级洁净室,不宜采用散热器采暖,100级、000级洁净室不宜采用散热器采暖。
1.2.值班采暖可采用技术夹道散热器进行间接采暖。或采用间歇式净化空调系统,值班风机系统进行热风采暖。
1.3.散热器应采用表面光滑、不易积尘、易清洗的形式。
1.4.洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备,应设置局部排气装置,尽量减少排气罩的作业口面积。
2.在下列情况下,应单独设置局部排气系统:
2.1.非同一净化空调系统。
2.2.排气介质混合后会产生或增加腐蚀性、毒性、燃烧爆炸风险。
2.3.排出的有害物质毒性差异很大。
3.洁净室的排气系统设计,应采取以下措施:
3.1.防倒灌措施
3.2.局部排风系统中含有易燃易爆物质的防火、防爆措施。
3.3.换鞋房、储衣房、卫生间、卫生间、淋浴等,应采取通风措施,其室内静压值应低于洁净区。
3.4.洁净室事故排气系统的通风次数应为每小时15~20次。
3.5.事故排气装置的控制开关应设置在洁净室和室外操作方便的地方,并应与净化空调系统联锁,室内应设置报警装置。
4.洁净室通风管道及附件
4.1.风管截面尺寸的确定,应考虑对风管内壁进行清洗,并在适当的位置设置封闭的清洗口。根据附录6选择风管壁厚。
4.2.净化空气调节系统的新风管和回风管应设置一个封闭的调节阀。应在吸入口和风量调节处设置一个封闭的调节阀。调节阀应设置在吸入口和风量。洁净室排气系统应设置调节阀、止回阀或密封阀。主风管必须通过地板和防火墙。
4.3.根据输送空气的洁净要求和空气环境条件,确定净化空气调节系统的风管和调节阀,以及高效空气过滤器的保护网、孔板和扩散孔板。
根据排气气体的性质和空气环境条件,确定洁净室排气系统的风管、调节阀、止回阀等附件的制造材料和涂料。
4.4.压力测量孔应设置在中效和高效空气过滤器前后。风量测量孔应设置在需要调节风量的新风管、回风管和支管上。
4.5.清除腐蚀性气体的风管可以使用塑料风管,其他风管和风管的保温和游泳材料及其粘合剂应使用非燃烧材料或耐火材料。
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洁净室的工艺布局
一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区只布置必要的工艺设备,以及有空气洁净度等级要求的工艺和工作室。
2、在满足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区应靠近空调室,空气洁净度等级相同的工艺和工作室应集中布置,空气洁净度等级较低的工作室应布置在洁净区人口附近。
3、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧,容易产生污染的工艺设备应布置在回风口附近。
4、应考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口。
5、应设置单独的物料人口,物料传递路线应最短,物料进入洁净区前必须进行清洗处理。
洁净室应设置较少的隔间,但在下列情况下可以分隔。
1、根据生产的火灾危险性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻生产区之间,或有防火分隔要求者。
2、生产过程中产生较强的噪声或散发较多的热量、粉尘颗粒和有害气体,且不能采取局部控制措施。
3、两个生产车间之间的生产联系较少,且经常不同时使用。
洁净室的平面和空间设计应分区布置洁净区、人员净化、材料净化等辅助房间。同时,应考虑各种技术设施的综合协调效果,如生产操作、工艺设备安装维护、气流组织类型、管道布局、净化空调系统等。
洁净室的设计必须合理确定各种管道的平面位置和垂直标高。
各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管道等)在洁净室的布置,应首先考虑净化空调系统的要求。
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武汉市得创冷暖设备工程有限公司是一家专业从事大型中央空调的设计安装一条龙服务的专业公司。公司长期专注于中央空调基础服务和顾问咨询服务。 本公司宗旨是“客户利益至上、打造精品工程”,主要合作品牌约克、日立、开利、麦克维尔,美的等国内外知名空调品牌的武汉地区特约经销商,与厂家密切配合,服务市场,确保向顾客提供优质的中央空调。设计与安装技术均达到甲级认证标准,紧抓中央空调安装质量,可承接国内中大型工程项目,给您的安装于设计提供更加专业的方案。同时我们设身处地为客户多省一分钱,现场测量,科学计算,为您营造一个舒适空间而不断努力,现公司拥有设计部,业务部,工程部,售后部,拥有行业人才20余人。 可承接国内外中大型工程项目 特灵,约克、日立、开利、麦克维尔,美的,天加。