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万级集成电路洁净厂房设计装修

来源:http://www.whdcjh.com/ 作者:DEIIANG得创 发布时间:2022-11-28 16:40

万级集成电路洁净厂房设计装修.得创净化工程专业从事集成电路洁净厂房工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
用于生产电子产品的洁净厂房,是将一定空间范围内的空气尘埃粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内,而专门设计建造的生产车间。即是具有无论外在空气条件如何变化,其室内环境均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特点。

万级集成电路洁净厂房

怎样判断医院净化工程是否达标呢,要怎样验收呢?小编为了解答这个疑惑特别整理了医院净化工程的行业验收标准。大家快来了解下吧
洁净手术部(室)的施工,应以净化空调工程为核心,取得其他工种的积极配合。洁净手术室施工可按如下程序进行(其他辅助用房可参照此程序):
如图:洁净手术室施工程序图
洁净手术室施工程序图
各道施工程序均要进行记录,验收合格后方可进行下道工序。施工过程中要对每道工序制订具体施工组织设计
工程验收
1、医院的洁净手术部(室)均应按本节规定独立验收
2、净化空调工程验收,分竣工验收和综合性能全面评定两个阶段
3、验收的内容包括建设与设计文件、施工文件、施工记录、监理质检文件和综合性能的评定文件等
4、洁净手术部的其他设施,应按设备说明书、合同书,由建设方对设备提供方和安装方分别进行验收
工程检验
1、竣工验收和综合性能全面评定的必测项目应符合表10.3.1的规定,其中风速风量和静压差应先测,细菌浓度应最后检测
10.3.1医院净化工程竣工验收必测项目表
通风机的风量及转数
系统和房间风量及其平衡
系统和房间静压及其调整
自动调节系统联合运行
高效过滤器检漏
洁净度级别
级洁净手术室手术区和级洁净辅助用房局部百级区的工作面的截面风速
其他各级洁净手术室和洁净辅助用房的换气次数
静压差
所有集中送风口高效过滤器抽查检漏,Ⅰ级洁净用房抽查比例应大于50%,其他洁净用房应大于
温湿度
噪声
照度
新风量
细菌浓度
2、不得以空气洁净度级别或细菌浓度的单项指标代替综合性能全面评定;不得以竣工验收阶段的调整测试结果代替综合性能全面评定的检验结果
3、竣工验收和综合性能全面评定时的工程检测应以空态或静态为准。任何检验结果都必须注明状态
4、竣工验收的检测可由施工方完成。综合性能全面评定的检测,必须由卫生部门授权的专业工程质量检验机构或取得国家实验室认可资质条件的第三方完成
5、工作区截面风速的检验应符合下列要求
换气次数的检验应符合下列要求
对级洁净手术室和洁净辅助用房应通过检测送风口风量换算得出换气次数,综合性能检测结果不应小于表规定范围的均值,并不应超过此范围上限的
对于分散布置的送风口,对每个风口用套管法检测
静压差的检验应符合下列要求
1、在洁净区所有门都关闭的条件下,从平面上最里面的房间依次向外或从空气洁净度级别最高的房间依次向低级别的房间,测出有孔洞相通的相邻两间洁净用房的静压差,综合性能测定结果应大于表4.0.1的规定值和符合4.0.2条的规定
2、测定高度距地面0.8m,测孔截面平行于气流方向,测点选在无涡流无回风口的位置。检测仪器为读值分辨率可达到1Pa的斜管微压计或其他有同样分辨率的仪表
洁净度级别的检验应符合下列要求
级洁净手术室和洁净辅助用房检测前,系统应已运行,其他洁净房间应已运行。在确认风速换气次数和静压差的检测无明显问题之后,再检测含尘浓度。对.和的微粒,检测结果均应同时满足下列条件各测点平均含尘浓度中的最大值不大于表
2、当送风口集中布置时,应对手术区和周边区分别检测,测点数和位置应符合表10.3.82的规定;当附近有显著障碍物时,可适当避开。当送风口分散布置时,按全室统一布点检测,测点可均布,但不应布置在送风口正下方
3、每次采样的最小采样量:百级:区域为5.66L,以下各级区域为
4、测点布置在距地面0.8m高的平面上,在手术区检测时应无手术台。当手术台已固定时,测点高度在台面之上
5、在百级:区域检测时,采样口应对着气流方向;在其他级别区域检测时,采样口均向上
6、当检测含尘浓度时,检测人员不得多于2人,都应穿洁净工作服,处于测点下风向的位置,尽量少动作
7、当检测含尘浓度时,手术室照明灯应全部打开
8、检测仪器应为流率不小于2.83L/min的光散射式粒子计数器
温湿度的检测应符合下列要求
1、夏季工况应在当地每年最热月的条件下检测,冬季工况应在当地每年最冷月的条件下检测
2、室内温湿度测定为距地面0.8m高的中心点,检测结果应符合表4.0.1的规定。检测仪器为可显示小数后一位的数字式温湿度测量仪。有温湿度波动范围要求的不适用本款的规定
3、测出室内的温湿度之后,应同时测出室外温湿度
噪声的检测应符合下列要求
1、噪声检测宜在外界干扰较小的晚间进行,以A声级为准。不足15m2的房间在室中心1.1m高处测一点,超过15m2的在室中心和四角共测5点,检测结果应符合表4.0.1的规定。检测仪器宜用带倍频程分析仪的声级计
2、全部噪声测定之后,应关闭净化空调系统测定背景噪声,当背景噪声与室内噪声之差小于10dB时,室内噪声应按常规予以修正
照度的检测应符合下列要求
1、照度检测应在光源输出趋于稳定(新日光灯和新白炽灯必须已使用超过10h,旧日光灯已点燃15min,旧白炽灯已点燃5min),不开无影灯,无自然采光条件下进行
2、测点距地面0.8m,离墙面0.5m,按间距不超过2m均匀布点,不刻意在灯下或避开灯下选点。各点中最小的照度值应符合表4.0.1的规定。对大型以上(含大型)手术室,应校核照度均匀度,并符合规定
新风量的检测应符合下列要求
1、新风量的检测应在室外无风或微风条件下进行
2、通过测定新风口风速或新风管中的风速,换算成新风量,结果应在室内静压达到标准的前提下,不低于表4.0.1的规定
细菌浓度的检测应符合下列要求
1、细菌浓度宜在其他项目检测完毕,对全室表面进行常规消毒之后进行。表面染菌密度为监测项目,按《医院消毒卫生标准》GB15982的方法检测,检测结果应符合表3.0.3的规定
2、当送风口集中布置时,应对手术区和周边区分别检测;当送风口分散布置时,全室统一检测
3、当采用浮游法测定浮游菌浓度时,细菌浓度测点数应和被测区域的含尘浓度测点数相同,且宜在同一位置上。每次采样应满足表10.3.13-1规定的最小采样量的要求,每次采样时间不应超过
浮游菌最小采样量表

集成电路洁净厂房标准 集成电路洁净厂房标准
   

万级集成电路洁净厂房环境设计要求

洁净室工程又称链接关键词无尘车间工程。在高新技术产品加工过程中,如何满足产品精密加工、小型化、高质量、高可靠性的要求,对生产环境中洁净室工程的洁净水平提出了更高的要求。
目前,洁净室工程技术已广泛应用于各行各业或其他需要防止颗粒物污染和微生物污染的环境实验室控制中。由于不同行业之间距离大,要求不同,经营环境的内容和目标也不尽相同,以下是我国五大行业洁净室对工程技术要求的总结。
1.药品生物洁净室要求
药品是用来预防和治疗疾病,恢复和调节身体机能的特殊商品。它的质量直接关系到人们的健康和安全。如果某些药品在生产过程中受到微生物、粉尘颗粒等污染或相互渗透污染,可能会发生意外的疾病和损害。
2.医用洁净室工程要求及医学探讨
以集成电路为代表的工业环境实验室的控制多采用工业洁净室技术和工业洁净室工程,而医学上多采用生物洁净室工程进行微生物污染控制。在生物洁净室中,这些微生物主要由细菌和真菌组成,其粒径为0。常见细菌的粒径为0。它们大多附着在其他粒子上。生物污染通道不仅通过空气,还与人体、经营者的衣着有关。在医学研究领域,生物实验室工程、无菌实验室工程、特种养殖动物、养殖室等也非常需要控制微生物污染。
3.精密机械和精细化工产品生产的洁净室工程要求
随着科学技术的发展,许多工业产品的生产加工对生产环境中的粉尘浓度提出了很高的要求,这就要求生产环境具有一定的空气洁净度水平和各种相关物质的供应质量,需要对生产过程进行控制。例如在胶片生产中,如果胶片被粉尘污染,会产生乳化氧化、活性减弱、pH值变化等,进而影响胶片的感光度。
4.半导体和集成电路洁净室的工程要求
半导体数据净化是发展半导体器件的重要基础。目前层流罩的最高级别是航天航空舱室,基本上属于一级,属于面积较小的特殊领域。此外,生化实验室和高精度纳米数据生产车间对水平也有更高的要求。物联网芯片的发展将是未来需求的主要方向。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为了获得高纯度硅数据,材料和中心介质的高纯度和高精度恒温恒湿工程,生产环境的清洁已成为影响产品质量的突出问题。
集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,芯片的缺陷密度与空气中粒子的数量有关。因此,集成电路的高速发展不仅要求空气中粒子的大小,而且要求粒子的数量。另外,对超大规模集成电路生产环境中无尘车间工程的化学污染控制也有相关要求。
5.化妆品和食品生产的洁净室要求
现代化妆品大多含有蛋白质、维生素、氨基酸、植物提取物等,为细菌、霉菌等微生物的繁殖提供了有利条件。净化设备控制产品(如硅片)所接触大气的清洁度、温度和湿度,使产品在良好的环境中生产制造。这个空间的设计和施工过程可以称为净化工程。因此,微生物污染是影响化妆品质量的重要因素。

集成电路洁净厂房标准 集成电路洁净厂房标准
   

万级集成电路洁净厂房设计前需要考虑的事项

我们知道洁净厂房的建立要求是非常高的,因此,现在想要建设一个净化车间,就必须从一开始设计的时候,就需要考虑全面,这样才能保证净化车间在施工的时候不出现差错,那么,洁净厂房设计前有哪些要求需要我们考虑呢?下面小编带大家一起来了解下。
1、周围环境的要求
净化车间设计之前,我们首先得选好地址,首先净化车间不仅要选在一些现代化的工厂内部,而且还要考虑它周围的环境,净化车间不能选择在居民区,因为考虑到水资源流动的问题,我们在选址的时候,不能选在任何水资源的上游
2、车间厂房的结构格局
生产车间的建筑结构都比较宽敞的,在设计时要充分考虑到工作人员对室内环境的影响。生产车间建筑结构比较紧凑的,设计时要特别考虑到室内温度,不同建筑格局对设计要求都不一样
3、材料的选择
净化车间设计时,净化车间墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材。地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,要选用防静电型
以上就是根大家介绍的关于洁净厂房设计前需要考虑的事项方面的一些要求,从上面我们知道建立净化车间一项复杂的系统工程,所以做好洁净厂房设计前期准备工作显得尤为重要

集成电路洁净厂房标准 集成电路洁净厂房标准
   

万级集成电路洁净厂房电气电路安装要点

1、低压配管配线,要特别注意工程前期配合土建按图正确预埋的检查,配管时电管的弯曲处不应有褶皱凹穴、裂缝等
2、做好电气施工隐蔽记录,电气设备开箱检查记录,以及所有的电气材料的出厂合格证明。试车前认真检验线路,做好各种绝缘、接地电阻测试,及时、认真、真实的填写各种测试报告
3、对所有机械动力设备,应做好各种开箱验收记录,设备安装记录,试车测试记录,及时、认真、真实的填写各种测试报告

集成电路洁净厂房标准 集成电路洁净厂房标准
   

万级集成电路洁净厂房排水装修方案

应选择无毒.不吸水不渗水.防滑.耐腐蚀.易清洁.防静电的地面材料,地面还应有相应的坡度

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