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半导体无尘车间等级标准

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半导体无尘车间等级标准.得创净化工程专业从事半导体无尘车间工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
用于生产电子产品的无尘车间,是将一定空间范围内的空气尘埃粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内,而专门设计建造的生产车间。即是具有无论外在空气条件如何变化,其室内环境均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特点。

一.半导体无尘车间噪声等级标准

无尘车间噪声控制标准
无尘车间的噪声等级应满足以下要求:
1.动态测试时,洁净厂房的噪声水平不得超过65分贝A。
二、空态试验时,乱流洁净厂房的噪声等级不应大于58分贝A,层流洁净工厂的噪声水平不得大于60分贝A。
三、无尘车间的平面、剖面布置,应考虑噪声控制的要求,其围护结构应具有良好的隔音性能,并应使各部分隔音量接近。
4.无尘车间的各种设备应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净厂房允许值的设备,应设置专用隔音设施(如隔音室、隔音罩等)。
5.当净化空气调节系统的噪声超过允许值时,应采取隔音、消声、隔音、振动等控制措施。除事故排气外,洁净厂房的排气系统还应进行降噪设计。
vi号。无尘车间的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求,洁净车间的净化条件不得受到噪声控制的影响。

半导体无尘车间效果图 半导体无尘车间效果图
   

二.半导体无尘车间防火疏散标准

无尘车间防火疏散标准 
一、洁净厂房耐火等级不低于二级。吊顶材料应为非燃烧体,其耐火极限不应小于0.25小时。 
二、无尘车间一般生产车间的火灾危险性,可按附录三进行分类。 
3.甲、乙类生产的洁净厂房应采用单层厂房。防火墙是最大的允许面积,单层厂房应为3000平方米,多层厂房应为2000平方米。 
4.在甲、乙类生产环境中洁净厂房设置在甲、乙类生产环境中,其天花板和墙板(含内部填充物)应为非燃烧体。
5、在防火区的综合厂房内,应在洁净生产与一般生产区之间设置非燃烧体隔墙,并将其封闭至顶部。当隔墙及其相应屋面的耐火极限不小于1时,隔墙上门窗的耐火极限不小于0.6小时。非燃烧材料应紧密填充穿过隔墙或屋面的管道周围的间隙。 
6、技术竖井的井壁应为非燃烧体,其耐火极限不得小于1小时。井壁检查门的耐火极限不得小于0.6小时;在每层或一层地板上,应使用相当于地板耐火极限的非燃烧体进行水平防火分离;非燃烧材料应通过水平防火分离管道周围的间隙紧密填充。 
7.无尘车间各生产层、各防火分区或各洁净区的安全出口数量不得少于两个。 
九、无尘车间室内装修 
1.无尘车间的建筑围护结构和室内装修应选用气密性好的材料,在温度和湿度变化的作用下变形较小。当需要增加结构框架和保温层时,墙体装饰。应使用非燃烧体或不燃体。 
二、无尘车间内墙体和天花板表面应符合平整、光滑、无灰、避免眩光、便于除尘的要求;凹凸面应减少,阴阳角应做成圆角。室内装修应用于操作;如果是抹灰,应使用高级抹灰标准。 
3.无尘车间的地面应满足平整、耐磨、易除尘、不易积聚的要求,如静电、眩光、舒适等。 
4、无尘车间技术夹层的墙壁和天花板应抹灰。如果需要在技术夹层中更换高效空气过滤器,则应添加涂层饰面。地面、回风沟和地下技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。 建筑风管和回风沟的内表面装饰标准应适用于整个送风和回风系统,并于除尘。 
五、洁净厂房和人员净化室设置的外窗,应采用双层玻璃金属窗,并应具有良好的气密性。 
6.洁净厂房内的封闭门应朝向空气洁净度较高的房间开启。观察窗应设置在无窗洁净的密闭门上。

半导体无尘车间效果图 半导体无尘车间效果图
   

三.半导体无尘车间无尘车间等级划分

(1)1级:1级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的精确要求为亚微米。
(2)10级: 十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
(3)100级:百级无尘车间并非无菌室,百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
(4)1000级:千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
(5)10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
(6)100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
(7)300000级别:三十万级无尘车间级别较低,用于普通洁净区,如级别不高的走道。

半导体无尘车间效果图 半导体无尘车间效果图
   

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