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十万级微电子洁净室设计施工

来源:http://www.whdcjh.com/ 作者:DEIIANG得创 发布时间:2023-01-30 10:09

十万级微电子洁净室设计施工.得创净化工程专业从事电子洁净室工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
以芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室(区)除了对微粒的严格控制外,还对温湿度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更严格,消除静电对生产产品的影响,从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。

十万级电子洁净室需要用到哪些净化设备

众所周知,现在洁净室的应用越来越广泛,在许多企业生产产品的时候都必须要在无尘的环境当中进行,所以现在大部分的企业都会坚持洁净室,它之所以能够达到无尘的效果,就是因为在车厢装配备了许多净化设备,那么这种车间都会使用到哪些净化设备呢?下面小编带大家来来了解一下吧
洁净室需要用到的净化设备
在洁净室当中,首先要说的就是进风系统,对于任何一个洁净室来说,为了能够有效的提升空气的清洁度,就必须要安装进风系统,除了进风系统之外,还必须要安装回风系统,只有这两个系统同时使用,才能够有效的更换空间内的空气,其中最主要的就包括各种过滤箱,另外还有中央净化空调
当然洁净室当中的净化设备还有很多,不仅只有上面所说的这些,对于10-千级:的洁净室而言,在建设的过程当中,还必须要安装垂直层流工作台,另外还包括自净器和洁净棚,除此之外,当工作人员进入到该车间之内,为了保证车间内空气的清洁度,还必须要建设缓冲区,在缓冲区当中必须要设置洁净储衣柜和空气清新机,从而能够保证工作服的清洁度
对于任何一个洁净室来说,都需要包含上面所说的这些设备,只有安装这些设备之后才能够有效的提升空气清洁度,当然对于垂直层流工作台,如果洁净室的等级不算太高的话,则无需安装这样的清洁设备

电子洁净室标准 电子洁净室标准
   

十万级电子洁净室设计时这些问题要注意

随着医药行业和电子产业的发展,越来越多的实验和生产需要在洁净室中进行。洁净室的设计要满足各行各业的需求,所以,在洁净室在设计时有许多需要注意的地方。下面来看看吧
1、洁净室 和其他房间例如办公房间等独立开来,并应该让洁净室处于风速最小的区域。为了满足生产工艺优化的需要,洁净室的空间布局不宜有太多的分隔,应该灵活机动,能够随着生产需要的变化而变化
2、在非洁净室到洁净室之间应该安装一系列的风淋设备,因为风淋室中吹出的干净空气能够吹去货物和工作人员身上携带的尘埃,同时还可以避免人和货物携带外界未经过净化的空气进入洁净室
3、洁净室安装有空气高效过滤器,一般安装于排风口处,为工作人员提供呼吸用的新鲜空气,同时保持室内的恒定压力

电子洁净室标准 电子洁净室标准
   

十万级电子洁净室节能设计有哪些

1、马达效率
马达消耗了洁净室的大部分电能。使用优质高效的马达,不一定会花费太多。高效率意味着最小,在改变马达的尺寸之前先尽量减小负荷。在输出量变化时,利用变速驱动(VSD)可以提高操作效率。
2、双温度冷冻循环
冷冻水的供给温度每增加一华氏度,冷冻器效率就提高一个百分点以上。提供两个不同温度的冷冻水,那么工作效率将会更高。设计人员可以使用并联循环管路,将他们 成两个子系统,这个方案可以迅速增加整个冷冻机机组的效率提高25%或更多。对于相同容量的冷冻机,高温工作要比低温工作花费小得多。
3、低断面风速设计
断面风速是指空气经过过滤器或者加热/冷却盘管的速度。在低断面风速(LFV)设计中,使用更大的空气处理器和更小的风机,从而降低空气的流速,降低能耗。如果空气流量降低50%,风机能耗将下降88%。最优的断面风速范围是250-450英尺/分钟,具体取决于使用情况和能量消耗。
4、热量回收
许多任务都要消耗大量的能量来制热,同时又消耗更多的能量从工艺过程中移除“废”热,可以把这两个过程结合起来设计。回收的热量可以用来预热新风,送风再热,热交换器可以使不能混合或者直接接触的不同介质进行热量交换。
5、变速驱动的冷冻机
变速驱动冷冻机通常工作在全负荷的90%-95%以节省能量。购买变速驱动冷冻机是划算的。用变速驱动冷冻机可降低能耗,同时让其他冷冻机可靠性运行。有许多的研究和实验证明,变速驱动冷冻机的效果是很好的。
6、换气次数
无尘车间要维持一定的空气流量来保持清洁度和颗粒数。流量根据每小时的换气次数来确定,同时这也决定了风机尺寸、建筑构型和能量消耗。在保持洁净度的前提条件下,空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。ISO建议第5级洁净室的换气次数大约是200,保守的上限是300。

电子洁净室标准 电子洁净室标准
   

十万级电子洁净室净化设备的安装

净化设备的安装
1.根据洁净厂房中产品生产的需要和人员净化.物料净化等要求,一般设置有各种类型的净化设备。各类净化设备与洁净室的围护结构相连时,其接缝必须密封。
2.风机过滤单元(FFU.FMU空气净化设备)的安装,一般应做到如下要求。
FFU或FWU装置应在洁净的现场进行外观检查,目测不得有变形.锈蚀.漆膜脱落.拼接板破损等现象。
在风机过滤单元的高效过滤器安装前应进行检漏,合格后才能进行安装。方向安装必须正确,安装后的风机过滤单元应便于检修。
安装后的风机过滤单元,应保持整体平整,与吊顶衔接应良好。风机箱与过滤器之间连接.风机过滤器单元与吊顶框架之间均应采取可靠的密封措施。
风机过滤器单元在进行系统试运转时,必须在风口加装临时中效过滤器。
3.带有风机的气闸室.风淋室与地面间应隔振垫;安装时应按产品说明要求,做到平整并与洁净室围护结构间配合正确,其接缝应进行密封。
4.机械式余压阀的安装,阀体.阀板的转轴均应水平,允许偏差为2/1000。余压阀的安装位置应符合设计要求,一般设在室内气流的下风侧,并不应在工作面高度的范围内。
5.传递窗的安装应符合设计图纸和产品说明书的要求,安装应牢固.垂直,与墙体的连接处应进行密封。
6.洁净层流罩的安装应做到如下要求。
应设有独立的吊杆,并设有防晃动的固定措施。
层流罩安装的水平度的允许偏差为1/1000,高度的允许偏差为±。
当层流罩安装在吊顶上时,其四周与顶棚之间应设有密封和隔振措施。

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十万级电子洁净室装修注意事项

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环境要求
通风:实验室在实验过程中会产生大量的有毒有害气体,对人体产生伤害,实验室应保持良好的通风,并装备相应的通风设施
如:通风柜、万向排气罩、原子吸收罩及其他局部排风装置。必要时需对整个房间设计整体排风和补风系统
温度和湿度:为了保障实验室工作人员有一个适合的工作环境,以及仪器设备有一个稳定的工作状态,实验室应保持适宜的温度和湿度。夏季事宜温度为18-28℃,冬季为16-20℃,湿度控制在30%-70%之间,在局部实验区域对湿度和温度有严格要求的可以建立恒温恒湿室
洁净度:经常保持实验室的清洁非常重要,实验室换气过程中室外尘土及其他污染物容易进入实验室内,导致实验室含尘量过高,空气不洁净影响实验结果。而且尘土及微粒落在仪器设备元件表面,容易形成故障,或其他潜在危险。通常实验室在补风入口加装过滤网,并及时对室内及设备做清洁。在对洁净度有特殊要求的实验区域,应建立洁净间,根据洁净要求不同可分为百级、千级、万级、十万级等
设置要求
供水与排水,排污:实验室供水分为自来水和纯净水。自来水供水可用PPR管做水路,纯净水则用不锈钢管做水路。实验室通常装有水龙头、洗眼器、紧急喷淋等。一般实验室水可直接排入城市下水网道,而有毒废水必须净化才能排入下水网道或建立专门的废液处理池
供电:电力是实验室的重要动力,为保障实验室的正常工作,电源的质量,安全可靠性及连续性必须保证。一般用电和实验用电分开,对一些精密贵重仪器设备要求提供稳压,恒流,稳频,抗干扰的电源;必要时须建立不中断供电系统,还要配备专用电源(UPS)等
供气:实验室使用的压缩气体钢瓶,应保持最少的数量,放置带报警装置的气瓶柜内,不可靠近火源,直接日晒
废气排放:实验室废气量少,危害性少,可直接排放,但排出管必须高出附近建筑3m。对毒性较大和浓度高的废气,则需净化处理再行排放。一般可采用活性炭吸附塔和喷淋吸附塔

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