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世界各国各标准机构的洁净室等级标准和规范

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经济科技发达国家和地区都有自己的洁净室等级标准和规范，都规定了相关的洁净度等级。

例如，美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。1984年，中国颁布了《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84)，1996年对该规范进行了重大修改，1990年颁布了《洁净室施工验收规范》(JGJ71-90)，指导施工验收。目前，该规范正在重新修订中。

GBJ73-84规定的清洁度等级。

等级	每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数	每立方米（升）空气中》5μm尘粒数
100	《35*100（〈3.5〉
1000	《35*1000（〈35〉	《250（〈0.25〉
10000	《35*10000（〈350〉	《2500（〈2.5〉
100000	《35*100000（〈3500〉	《25000（〈25〉

美国联邦标准FS209E中的洁净等级

等级名称		等级限值
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		容积单位		容积单位		容积单位		容积单位		容积单位
国际单位	英制单位	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3
M1.0		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10	0.283	/	/
M1.5	1	1240	35.0	265.0	7.5	106	3	35.3	1	/	/
M2.0		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	/	/
M2.5	10	12400	350.0	2650	75	1060	30	353	10	/	/
M3.0		35000	991.0	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	/	/
M3.5	100	/	/	26500	750	10600	300	3530	100	/	/
M4.0		/	/	75700	2140	30900	875	10000	283	/	/
M4.5	1000	/	/	/	/	/	/	35300	1000	247	7
M5.0		/	/	/	/	/	/	100000	2830	618	17.5
M5.5	10000	/	/	/	/	/	/	353000	10000	2470	70
M6.0		/	/	/	/	/	/	1000000	28300	6180	175
M6.5	100000	/	/	/	/	/	/	3530000	100000	24700	700
M7.0		/	/	/	/	/	/	10000000	283000	61800	1750

美国宇航局标准NHB5340.2中的洁净等级

生物洁净室标准	尘埃		生物粒子		压力	温度	湿度	气流	照度
生物洁净室标准	粒径 (μm)	个/L	浮游量 (个/L)	浮沉量 (个/m2周)	mmH2O	℃	%	换气次数	Lx
100	≥0.5	≤3.5	≤0.0035	12900	≥1.25	指定数	40~45		1000~1620
10000	≥0.5 ≥5.0	≤350 ≤2.3	≤0.0176	64600	≥1.25
100000	≥0.5 ≥5.0	≤3500 ≤23	≤0.0884	323000	≥1.25

日本工业标准JISB-9920-1989中的洁净度等级

粒径(μm)	洁净度等级(个/m3)
粒径(μm)	1级	2级	3级	4级	5级	6级	7级	8级
0.1	101	102	103	104	105	106	107	108
0.2	2	24	236	2360	23600
0.3	1	10	101	1010	10100	101000	1010000	10100000
0.5	0.35	3.5	35	350	3500	35000	350000	3500000
5.0	/	/	/	/	29	290	2900	29000

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