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半导体洁净工业厂房设计标准

来源:http://www.whdcjh.com/ 作者:DEIIANG得创 发布时间:2022-05-28 21:58

处理芯片生产线洁净室。电子器件净化车间洁净室和硬盘生产制造生产车间是电子生产制造洁净室的关键构成部分。电子商品的具体目的是操纵颗粒物和尘土,并严苛要求其自然环境的溫度和环境湿度,由于他们在生产和生产过程中对室内环境自然环境和品质有着极为严谨的规定。

一、半导体洁净工业厂房净化设备主要参数规范:

1.半导体电子千级洁净室噪音级(空态):不得超过65dB(A)

2.半导体电子洁净室的竖直流动洁净室不小于60%,水准单向流动洁净室不可低于40%,不然为部分单向流动。

3.洁净区和非洁净区中间的负压差不可低于5pa,半导体电子洁净厂与户外负压差不可低于10pa。

4.电子加工制造业千级洁净室的较大气量应取下列二项:

5.对房间内排量开展赔偿,内正压力需要的清新空气量。

6.保证每钟头清新空气量不小于40m3的净化车间洁净室。

7.电子加工制造业洁净室空调机组电加热器应配置清新空气。过热开关电源维护。假如点增湿,应设定没有水维护。在严寒地域,家用新风系统应采用防寒对策。
半导体洁净工业厂房

二、半导体洁净工业厂房净化设备的规定:

1.应详细说明ISO与占有情况有关的级别,随后才可以明确最好设计方案标准。

2.表格中的气流种类表明洁净室的气流特点:U=单向流动;N,非单向流动;M=混和流动种类(U和N的混和)。

3.洁净室的单向流动种类一般选用均值气流速率。单向气流速度的要求在于可控室内空间的形态和热气环境温度。浑浊设备的前风力并非指单向总流量。

4.非单向流动和混和流动选用每钟头自然通风频次。楼层高度3.Om的售卖室适用企业总面积送排风量最佳值。
半导体洁净工业厂房

5.应采用严苛的密闭对策。

6.合理分离出来污染物和待自然保护区:可以应用硒板或气流天然屏障。

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