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千级触控与指纹识别芯片半导体洁净室装修设计

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千级触控与指纹识别芯片半导体洁净室装修设计.得创净化工程专业从事芯片洁净室工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
以芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室(区)除了对微粒的严格控制外,还对温湿度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更严格,消除静电对生产产品的影响,从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。

千级芯片洁净室标准

洁净室标准
1.洁净室必须保持一定的相对正压,不同等级的洁净车间之间的压力不得小于5Pa,清洁车间与非清洁车间之间的压力不小于10Pa,为了防止低级洁净车间的空气流回高级洁净车间,温度应保持在18至26摄氏度。
2、最大允许尘粒数,大或等于0.5微米的粒子数量不得超过1050000,5微米的粒子数量不得超过60000,最大允许的微生物数量不得超过每立方米1000。

芯片洁净室标准 芯片洁净室标准
   

千级芯片洁净室选址要求及总体设计

洁净室选址要求及总体设计  
1.应在大气粉尘浓度较低、自然环境较好的地区;  
2.远离铁路、码头、机场、交通干线、工厂、仓库、堆场等空气污染、振动或噪声干扰严重的区域,排放大量粉尘和有害气体。如果不能远离严重的空气污染源,应位于其最大频率风向上风侧,或全年最小频率风向下风侧;  
3.应布置在环境洁净、人流不穿越或少穿越的厂区。  
4.对于具有微振动控制要求的净化项目的位置选择,应实际测量周围现有振动源的振动影响,并分析比较精密设备和精密仪器的允许环境振动值。  
5.洁净室与交通干道之间的距离不宜小于50米。  
6.洁净室周围应设置环形消防车道(可使用交通道路),如有困难,可沿厂房两条长边设置消防车道。  
7.洁净室周围的路面应选用整体性好、灰尘少的材料。  
8.洁净室周围应进行绿化。草坪可以铺设,树木可以种植,对大气中的粉尘和农业没有有害影响,可以形成绿色社区。但是,不应妨碍消防操作。

芯片洁净室设计 芯片洁净室设计
   

千级芯片洁净室工艺管道设计专要求

洁净室工艺管道设计专要求  
对于空气洁净度有要求的区域,工艺管道的主管应敷设在技术夹层和技术夹层中。需要拆卸、清洗和消毒的管道应使用,易燃、易爆和有毒材料的管道也应使用。如果敷设在技术夹层和技术夹层中,应采取相应的通风措施。  
干管系统应设置必要的吹扫口,放净口和取样口。  
洁净管材应采用低碳优质不锈钢或其它无污染材料。  
工艺管道上的阀门、管件材料应与管道材料相适应。  
除满足工艺要求外,洁净室内使用的阀门、管件应采用拆卸、清洗、检修等结构形式。  
管道和设备应采用金属管连接,如果需要软管,应采用可靠的柔性接管。  
应焊接技术夹层和技术夹道中的干管连接。  
法兰、螺纹或其他密封性能优异的连接件应用于管道与阀门的连接。与材料接触的法兰和螺纹应用聚四氟乙烯密封。套管穿过洁净室的墙壁、地板和天花板,套管内的管段不得有焊缝、螺纹或法兰。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。  
洁净室内敷设管道较少,引入洁净室的支管应暗敷。  
洁净室内的管道应排列整齐,尽量减少阀门、管件和管道支架。  
洁净室内的管道应根据其表面温度、热量或吸热量以及环境的温度和湿度来确定。冷绝缘管道的外壁温度不得低于环境的露点温度。  
管道保温层表面必须平整、光滑,不得有颗粒物质脱落,并应采用金属外壳进行保护。  
洁净室内管道外壁应采取防锈措施。洁净室内的各种管道都设有标明介质及其流动方向的标志。

芯片洁净室设计 芯片洁净室设计
   

千级芯片洁净室空调系统的设计

1、净化空调系统所控制的参数除一般空调系统的室内温、湿度之外,还要控制房间的洁净度和压力等参数,并且温度、湿度的控制精度较高,有的洁净室要求温度控制在±0.1℃范围内等。 
2、净化空调系统的空气处理过程除热、湿处理外,必须对空气进签订初效滤、中间中效过滤、末端高效过滤等,高级别的洁净室为了有效、节能地对送入洁净室的空气进行处理,采用集中新风处理,仅新风处理系统便设有多级过滤,需要严格需去除空气中污染物分子时,还应设置各类化学过滤器。 
3、洁净室的气流分布、气流组织方面,要尽量限制和减少尘粒的扩散,减少二次气流和涡流,使洁净的气流不受污染,以最短的距离直接送到工作区。 
4、为确保洁净室不受室外污染或邻室的污染,洁净室与室外或邻室必须维持一定的压差(正压或负压),最小压差在5Pa以上,这就要求一定的正压风量或一定的排风风量。 
5、净化空调系统的风量较大(换气次数一般10次至数百次),相应的能耗就大,系统造价也就高。 
6、净化空调系统的空气处理设备、风管材质和密封材料根据空气洁净度等级的不同都有一定的要求;风管制作和安装后都必须严格按规定进行清洗、擦拭和密封处理等。 
7净化空调系统安装后应按规定进行调试和综合性能检测,达到所要求的空气洁净度等级;对系统中的高效过滤器及其安装质量均应按规定进行检漏等。

芯片洁净室设计 芯片洁净室设计
   

千级芯片洁净室通风风管及附件的清洗标准

通风风管及附件的清洗标准 
净化空调系统工程在施工过程中的风管清洗是该系统施工全过程中的重要工序,做好风管的清洗,不仅可以控制该系统的洁净度,同时还保证高效过滤器的使用寿命,系统运行的洁净度。 
1清洗用材料 
(1)洁净空调风管清洗工作所使用的清洗剂、溶剂和抹布应符合洁净室的相关要求。 
(2)凡用自来水清洗风管及零件外表面时,应保持水质洁净无杂质、泥沙。 
2对清洗用具的要求 
(1)凡清洗风管用的机具设备应专管专用,不得混作他用,更不得使用清洗风管的容器盛装其他溶剂、油类及污水,并应保持容器的洁净干净。 
(2)在清洗过程中使用的任保物质不得对人体和材质有危害,并应保证不带尘不产尘(如掉渣、掉毛、使用后产生残迹等)。 
3作业条件 
(1)清洗场地要要求封闭隔离,无尘土。清洗场地地面应铺设干净不产尘的地面保护材料(如橡胶板、塑料板等),每天至少清扫擦拭2~3次,保持场内干净无尘。 
(2)清洗场地应建立完善的卫生及管理制度,对进出人员及机具、材料、零部件进行检查,符合洁净要求方可携带入内。 
(3)清洗、漏光检验场地可使用厂房进行间壁隔离设置,但应符合洁净无尘源的要求和漏光检验时遮光的要求,并便于管理和成品的运输。 
(4)清洗场地应配备良好的通风设施,保持良好的通风状态,在风管清洗时(包括槽、罐内清洗)应具有良好的通风方可施工。 
4作业过程 
(1)风管及部件的清洗一般采用以下顺序。 
检查涂交密封是否合格,如不合格应补涂,直至合格。 
用半于湿抹布擦拭外表面。 
用洁净半干擦布擦拭内表面浮尘。 
用三氯乙烯或经稀释的乙醇、活性清洗剂擦拭内表面,去掉所有的油层、油渍。 
将擦净的产品进行干燥处理(风干或吹干)。 
用白绸布检查内表面清洗质量,白绸布揩擦不留任何灰迹、油渍即为清洗合格。 
立即将产品两端用塑料薄膜及粘胶带(50mm宽)进行封闭保护,防止外界不净空气渗入,严禁使用捆扎方法草草了事。 
(2)专业技术人员应根据空气洁净度等级采用的清洗剂、清洗部位等要求向操作人员进行技术交底,对第一次进厂进行该工序操作人员进行培训。 
(3)风管清洗后,管内应无油渍、灰迹,应以白绸布深入管内擦拭,绸布雪白无油渍、灰迹为合格。
5成品保护 
(1)凡清洗后的产品,两端应用塑料薄膜进行封闭保护,工作需要揭开保护膜,在操作后应立即恢复密封,非工作需要不得擅自揭开保护膜。 
(2)保护膜遭破坏应及时修复,保证管内洁净度,否则应重新清洗,重新密封处理。 
(3)凡经检查合格应加检验合格标志,并妥善存放保管,防止混用。存放场地应清扫干净,铺设橡胶板加以保护。

芯片洁净室设计 芯片洁净室设计
   

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