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百级半导体无尘室设计

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无尘室空调系统的设计

1、无尘室净化空调系统所控制的参数除一般空调系统的室内温、湿度之外,还要控制房间的洁净度和压力等参数,并且温度、湿度的控制精度较高,有的无尘室要求温度控制在±0.1℃范围内等。
2、净化空调系统的空气处理过程除热、湿处理外,必须对空气进签订初效滤、中间中效过滤、末端高效过滤等,高级别的无尘室为了有效、节能地对送入无尘室的空气进行处理,采用集中新风处理,仅新风处理系统便设有多级过滤,需要严格需去除空气中污染物分子时,还应设置各类化学过滤器。
3、无尘室的气流分布、气流组织方面,要尽量限制和减少尘粒的扩散,减少二次气流和涡流,使洁净的气流不受污染,以最短的距离直接送到工作区。
4、为确保无尘室不受室外污染或邻室的污染,无尘室与室外或邻室必须维持一定的压差(正压或负压),最小压差在5Pa以上,这就要求一定的正压风量或一定的排风风量。
5、净化空调系统的风量较大(换气次数一般10次至数百次),相应的能耗就大,系统造价也就高。
6、净化空调系统的空气处理设备、风管材质和密封材料根据空气洁净度等级的不同都有一定的要求;风管制作和安装后都必须严格按规定进行清洗、擦拭和密封处理等。
7、净化空调系统安装后应按规定进行调试和综合性能检测,达到所要求的空气洁净度等级;对系统中的高效过滤器及其安装质量均应按规定进行检漏等。

百级无尘室净化系统设计

无尘室室内气流倒灌,为防止室外气流倒灌。防止无尘室的净化空调系统停止运行时,室外空气倒灌流入室内,引起污染和沉积。工程中常用的防倒灌措施是:
①采用设置中效过滤器,这种方式结构简单、维护方便;
②采用止回阀,使用方便,但密闭性较差;
③采用密闭阀,密闭性好,但结构复杂,管理不便;
④采用自控装置。
2 含有易燃、易爆局部排风系统的防火防爆。
3 排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时,应进行无害化处理。
4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统,应设坡度及排放口。无尘室内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间,应采取通风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。

 

百级无尘室通风的设计

1、无尘室空调通风系统带走无尘室的余热、 余湿, 或补给车间所需的热量、 湿量, 来维厂无尘室的设计温度、 湿度。 这一点和其它空调系统是一致的, 也是主要任务之一。
  2、无尘室空调通风系统保证供给无尘室足量的洁净空气的稀释、排除车间在生产过程中,由于人员和工艺所污染的空气, 使车间的含尘、 菌浓度达到所规定的洁净等级。
  3、无尘室空调通风系统补给足量的净化空气稀释车间的有害物浓度,如工艺过程中散发的易燃、 易爆有机溶剂和有害气体,以确保车间空气中的有害物浓度低于相关标准所规定的最高容许浓度。
  4、无尘室空调通风系统供给无尘室充足的室外新鲜空气, 使车间的空气品质, 符合人们正常工作所需的卫生标准。
  5、无尘室空调通风系统根据工艺要求, 通过送、 回、 排风量的不同匹配, 以维持车间相对于室外或邻室, 或走道一定的正压值或负压值。 以控制相邻空间气流或污染物的流向。
  6、采取相应的隔离、 局部排风等措施, 防止工艺产生的粉尘、 大量余热、 余湿等有害物在车间扩散。
  7、设置必要的分离、 收集装置, 既防止由无尘室排出去的有害物质污染大气, 又可回收部分排风带走的可利用药尘。

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