一级空气洁净度100级、10000级、10000级空气净化处理应采用初效、中效、高效过滤器三级过滤，30000级空气净化处理可采用亚高效过滤器代替高效过滤器，中效、高效空气过滤器应小于或等于额定风量。

面积大、空气洁净度高、位置集中、消音、振动控制要求严格的洁净室(区)应采用集中式净化空调系统，相反，可以采用分散净化空调系统，运行班或使用时间不同的洁净室(区)，六种情况下的空气净化系统的空气，如果处理不能避免交叉污染，则不应回收利用。

空气洁净度100级、10000级、10000级空气净化处理应采用初效、中效、高效过滤器三级过滤，30000级空气净化处理可采用亚高效过滤器代替高效过滤器.