微电子洁净厂房空调系统设计

微电子厂房的净化主要是工业厂房内的生产加工地区。依据制作工艺的规定，净化级别为1000级，设计方案单边流的空调机组方式，本工程施工选用的是组合型中央空调机组（MAU解决新风）+干风机盘管（DCC解决回风）+FFU（高效送风口）空调机组方式；考虑到机器设备相对高度及驾驶相对高度后，在所有生产制造地区上边7.95m的相对高度设定一个清洁内腔，清洁内腔相对高度为2m。在清洁内腔上端设定设备平台（原土建工程沒有，现新增加），新风机组、排风系统离心风机、活性氧解决以及他机器设备均置放在设备平台上。夏天：户外的新风通过过虑及减温去湿解决后，送进清洁内腔。冬天：房间内的热排风系统根据平板式热交换器机组，加热户外新风，经过虑，加温增湿解决后，送进清洁内腔。送进清洁内腔内的新风与净化车间内通过干风机盘管解决的回风混和，由FFU送进净化车间。FFU的吸进口端设定中效过滤器，出入口端设定高效送风口。送进窒内的风根据架空地板的打孔，返回净化车间两边的回风墙里。

3净化车间新风计算

工业厂房内清洁地区楼高7.95m，总面积为2100m2。依据上边描述规定，此次设计方案工业厂房里外压力差为10Pa时，密封性好没外窗，漏水换风次数取1次/h，测算工业厂房漏水量为：2100m2×7.95m×1次/h=16695m3/h。因此测算清洁地区最少新风量为以上全部风量之和，测算约为121600m3/h，按此风量挑选新风解决机组。

4.1新风机组的设计挑选及冬天排风系统的余热回收依据上边测算，此次设计方案挑选组合型新风机组

三台置放在设备平台上，双用一备，每台风量为65000m3/h，选用直流变频操纵。因为机器设备机台排风系统溫度较高，夏天排风系统均立即排入户外，冬天排风系统加热新风，选用两部空气处理机组，全热交换器设定在设备平台上边，每台解决风量为60000m3/h。

4.2新风解决机组的设备由各作用段构成

新风通道→初中级过滤装置→初级过滤装置→一次加温（制冷）风机盘管→干蒸气增湿（纯净水）→档板→二次加热盘管→离心风机段→高效送风口（出入口）。新风经加工处理后送至清洁内腔内。

4净化生产车间回风解决

本工程项目针对回风的方法前边己经提及，送进窒内的风根据架空地板的打孔，返回净化车间两边的回风墙里。回风墙回至机器设备隔层，并在回风墙侧设定干风机盘管（DCC），使屋内的回风所有通过干风机盘管解决后，由离心风机送到至清洁内腔内。干风机盘管仅担负房间内的显热负荷，用以终端设备处置的空调水系统选用高溫水（供智能回水水的温度为14℃/18℃，由致冷机组给予的凉水根据板式热交换器给予）。需注意的是，因为生产设备自身净重侧重，构造设计专业了许多的设备基础服务平台及交货安全通道，工厂地面剩下一部分为髙压打孔木地板，做为回风口，为确保回风质量（回风风量及其回风风力），达到房间内洁净度等级规定，木地板的开孔率不小于25%。