中国某液晶显示屏新项目生产制造的玻璃基板规格为  2.2m × 2.5 m ，是我国第一家工艺技术路面（WaffleSlab，中文谐音为华夫板，下称华夫板）选用无架空地板的“洞洞板”系统开发新项目，文中就以此项目地华夫板方案设计为例子，详细介绍在净化车间中怎样有效地对华贸易夫板开展设计方案，表明“洞洞板”方案设计，科学研究该设计的气旋仿真模拟以及工程造价，剖析其应用前景和宣传使用价值。

1 项目简介和问题明确提出

   该工程总占地为 60.4 万 m2，厂区规划建筑面积约 72 万 m2，关键为列阵 / 彩膜工业厂房、成盒厂房、附设设备及配套设施等。在其中，列阵 /彩膜工业厂房总建筑面积约 40 万 m2，主工业厂房 4 层，2 层和 4 层为工艺技术层，1 层和 3 层为送风层，清洁总面积约 15 万 m2。成盒厂总建筑面积约 16 万 m2，1层和 3 层为工艺技术层，2 层为送风层，清洁总面积近  4 万  m 2。为尽早占领市场，控制成本，规定在3.5 个月内进行近 20 万 m2净化室工程施工，与此同时工程造价较中国类似加工厂减少10%，怎样完成进展和费用预算总体目标，华夫板的制定是重要因素之一。

2 华夫板方案设计

2.1 华夫板作用规定

TFT-LCD 工业厂房均具备清洁总面积大，清洁级别高特性，一般选用层.流（竖直层.流和水准层.流）方法开展清洁解决，包含上技术性隔层（天花板吊顶层）、工艺技术层和下技术性隔层（送风层），华夫板层做为 TFT-LCD 工业厂房工艺技术安裝的地面上和自然通风安全通道，从作用上面有如下所示规定：

（1）载荷规定：TFT-LCD 生产设备较重，机器设备载荷达15000 N/m2~30000 N/m2，G8.5 代厂路面载荷规定为 30000 N/m2。

（2 ）防微震规定：曝光机、丝网印刷机等机器设备对微震十分比较敏感，规定其基本抗微震做到VCC-C的等级。

（3）清洁自然通风的规定：华夫板做为工艺技术层到下技术性隔层的排风安全通道，规定能完成竖直层.流的自然通风规定，与此同时达到洁净度等级规定。

2.2 华夫板方案设计

为完成华夫板的基本功能规定，世界各国较通常方案设计关键有以下几类计划方案：

（1 ）架空地板计划方案

① 格构梁   架空地板（Raised Floor）：主体工程设计方案选用聚集砼井格梁（也称格构梁），在格构主梁搭建架空地板（钢架结构   后盖板）。

② 玻璃钢防腐（FRP）桶模   架空地板：混凝土楼板选用 600 mm~ 700 mm 厚，隐藏密肋梁，工程施工时选用玻璃钢防腐（FRP）桶模预埋管口，路面进行后搭建架空地板。

③ 聚集钢结构   架空地板：在聚集钢结构上搭建架空地板。

④“洞洞板”（T u b e ）  高架地板：混凝土楼板选用 600 mm~ 700 mm 厚，隐藏密肋梁，工程施工时选用环形钢桶模预埋管口，路面进行后搭建架空地板。

以上计划方案所有是在构造混凝土楼板（梁）上搭建架空地板，又可简称为架空地板方案设计，该设计方案必须在装修施工时最先必须对构造混凝土楼板刷环氧涂料，随后搭建架空地板钢架结构框架，最终铺装后盖板，工艺流程较多，不利减少施工期，与此同时因为架空地板需很多采用不锈钢板材，工程造价较高，不利绿色环保。因为格构梁   架空地板工程造价低，运用较普遍，文中以此类方案设计为较为目标。

（2）无架空地板的“洞洞板”（Tube Floor）方案设计除架空地板方案设计外，在中国台湾的某G8.5代厂选用一种最新的华夫板方案设计，即无架空地板的“洞洞板”（Tube Floor）方案设计，立即运用混凝土楼板上预埋的管口（Tube）开展自然通风，该方案设计因为自然通风繁杂、设计方案与工程施工难度系数大，并未被普遍选用，但因为施工工序较简易，不用铺装架空地板，假如行得通，将十分有益于减短施工期，减少工程造价。

3 华夫板的采用

3.1 应用作用比照华夫板担负工艺技术的载重作用、加工工艺物流运输作用、净化室层.流自然通风作用与此同时规定防微震作用，华夫板的两大类设计方案对完成以上作用都各有偏重于实际应用作用较为见表 1。

从表1 可以看得出，架空地板系统软件的气旋便于调整和操纵，设计方案、工程施工和经营技术水平低，缺陷是成本高、施工期较长，缺陷是为处理微震问题必须设计方案单独防微震基座，受此危害，生产工艺流程布局调整限定较多；而无高架地板的“洞洞板”系统软件在工程造价和施工期上占优，且因为是总体防微震设计方案，加工工艺生产布局可以灵便调节，不会受到防微震基座部位固定不动的限定，但气旋调节难度系数大，对设计方案、工程施工和经营规定高。

3.2 自然通风比照

（1 ）高架地板的自然通风高架地板是选用是在钢架结构或砼构造上搭建打孔厚钢板，其自然通风基本原理见图 1。

① 上技术性隔层的气体（送风   新风系统混和）―― FFU（清洁气体 Class 10~Class 1K）― ― 生产设备 ― ― 高架地板 ― ― 构造木地板（打孔）― ―下技术性隔层― ― DCC― ― 送风立井― ― 上技术性隔层，新风系统气旋步骤为：户外气体 ― ― MAU 发电机组（解决至排风状况点）― ― 下 / 上技术性隔层或送风立井。

② 生产制造安装设备于木地板高架地板上，Photo、Coater 等对微震（Micro Vibration）规定高的机器设备立即安裝在防微震机台子上。

③ 因为高架地板是由开孔率很高的后盖板满铺，且相对高度超过  600 mm ，气旋相对性匀称，便于调节。

（2 ）无高架地板的“洞洞板”自然通风洞洞板是同时在砼构造楼板预埋孔（TubeH ol e ），孔顶盖不一样开孔率的后盖板，生产设备立即安裝在砼构造的楼板上，与高架地板方案设计对比，从上技术性隔层的竖直气旋立即根据构造混凝土楼板进到下技术性隔层，因为构造混凝土楼板打孔限定，气旋匀称性需要精准设计方案，在工程施工结束后需开展评测认证。其自然通风基本原理见图 2。

（3 ）无高架地板的“洞洞板”的气旋仿真模拟对“洞洞板”自然通风问题，大家运用 CFD 手机软件对“洞洞板”自然通风开展仿真模拟，以确定是不是能达到净化室的规定，以Cell厂气旋仿真模拟为例子，开展简要说明：

① 模型标准：

a）实体模型规格为  300 m × 120 m × 7.5 m ，回风管设于左右两侧，下技术性隔层高  5.5 m ，方块一部分意味着全自动设备搬运（Stocker），实际空间布局见图3 。

b）洞洞板摩擦阻力设置，默认值以 f = 1000，且联合分布设置之，区划共 96 个地区开展测算，将以分地区及均值工作压力损害的定义，仿真模拟“洞洞板”与自然通风的关联：

c ）F F U 合理布局如表 2 。

d）开孔率：混凝土楼板“洞洞板”开孔率 18�C布局：V 字形，f=4.63。

e）Stocker：不考虑到 Stocker 内部结构全部构造，仅仅一只下边透气性的空盒，机器设备内置FFU按上边考虑到。

f）不考虑房屋建筑的墙厚、立柱框架柱等的潜在性很有可能危害。

② 气旋仿真模拟

气旋仿真模拟时，第一次选用 65% 打孔的挡板开展仿真模拟，依据仿真模拟結果，对流场和气旋倾角渡过规定，以 65。的地区，调节“洞洞板”的开孔率（后盖板的开孔率 90%、65%、35%、0% 四种），经多次不断仿真模拟，最后产生图 4 自然通风，经剖析，根据调节“洞洞板”后盖板的开孔率，自然通风可以达到该 TFT-LCD 工业厂房的制定规定

3.3 工程造价比照

架空地板系统软件建筑结构（参考图 1）为：构造混凝土楼板  构造混凝土楼板环氧涂料  钢架结构架空地板支撑点系统软件   架空地板后盖板；与之相匹配的无架空地板的“洞洞板”建筑结构（参考图 2）为：构造混凝土楼板  桶模   构造混凝土楼板平面度解决   防静电环氧涂料。从表 3 剖析可以看得出，20 万m2的净化室，工程造价可以节约约 1.18 亿人民币RMB。

3.4 工程施工比照

从表 4 述剖析可以看得出，无架空地板“洞洞板”工程施工规定为模版抗压强度高，构造路面进行面平面度高，环氧树脂施工工序多，经调研中国的作业状况，模版可以根据应用高韧性的直发夹板处理，平面度规定可以选用激光器地面找平机器设备来处理，与此同时中国环氧树脂地面工程施工早已可以做到世界水准，因而施工工艺上可以达到无架空地板“洞洞板”的规定，因为工艺流程较简易，各步骤中间可以交叉式工程施工，施工期可以节省1～1.5个月。经综合分析和评定，最后挑选选用无架空地板的“洞洞板”方案设计，典型性总平面图及剖视图详见图 5 、图 6 。

4 设计方案结果认证

该新项目通过12.5个月焦虑不安工程施工后第一台生产设备住入，与类似新项目对比，施工期减少2~3 个月，工程造价也大幅度节约，洁净度等级和温湿度记录彻底可以实现生产制造工艺技术的规定。新项目运作1 年，评测的自然通风与制定时的气旋仿真模拟基本一致，Class1000级净化室的洁净度检测 0.3 μm颗粒物在 200 颗下列，远远地小于设计的规定。新项目在作业流程中因为雨天和施工方缺乏经验，一部分路面平面度较弱，在作业流程中提升环氧树脂金钢砂地面找平工艺流程，提升了一些花费。

5 结果

无架空地板“洞洞板”系统软件施工期较短，工程造价较低，但设计方案与工程施工艰难，根据气旋仿真模拟和选用专业的施工技术彻底可以实现生产制造对洁净度等级和平面度的规定，是一项创意设计非常值得宣传和运用