该检查的目的是测定洁净室的静压差,为了防止洁净室内外气流之间的污染,可以是正压或负压.
②在洁净室的平面上,从洁净度高到低的顺序依次进行,直接检测到室外的房间.
③管口设置在室内无气流影响的任何地方,管口面与气流线平行.
④测量记录的数据必须正确到O.lPa.,
①关闭所有门.
②用微差压力计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外部之间的压差.
a、同级洁净室和洁净区和非洁净室(区)之间的静压差必须在4.9Pa以上.
b、洁净室(区)与室外静压差不得小于9.8Pa.
c、空气洁净度等级比5级(100级)严格的单向流洁净室打开门时,门内0.6m处的室内工作面的灰尘浓度不得超过相应等级的灰尘浓度限制.
d、如果不满足以上标准,应重新调整新风量、排气量,直到合格,该检查的目的是测定洁净室的静压差,为了防止洁净室内外气流之间的污染,可以是正压或负压.