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千级微电子洁净车间设计施工

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千级微电子洁净车间设计施工.得创净化工程专业从事电子洁净车间工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
以芯片生产车间、集成电路无尘室、磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室(区)进行严格控制外,对温湿度控制、光照(甚至光源要求)、微振动等也有更严格的要求,以消除静电对生产产品的影响,从而使环境在洁净的环境中满足电子产品的生产工艺要求。

千级电子洁净车间GB/T16292-1996(中国标准)空气洁净度分级标准

GB/T16292-1996(中国标准)空气洁净度分级标准


粒径、数值

洁净度级别

尘埃最大允许数/立方米

微生物做大允许数

≥0.5um

≥5.0um

游浮菌/立方米

沉降菌/皿

100级

3,500

0

5

1

1,000级

35,000

200

50

2

10,000级

350,000

2,000

100

3

100,000级

3,500,000

20,000

500

10

300,000级

10,500,000

60,000

 

15

 

 

电子洁净车间标准 电子洁净车间标准
   

二.千级电子洁净车间设计要求

1:设计规划要点:对人车路径、管道系统、排气管道、原材料搬运和操作过程进行审查分析,尽量缩短动线,避免交叉,防止交叉污染。操作人员、化学品、材料等移动线路不得集中;洁净车间周围应设置缓冲区;制造设备的进出不得对操作产生重大影响。  
2: 洁净车间不同级别空气洁净度的空气过滤器选择及布置要点:对于 30万级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;空气洁净度十万级级和万级空气净化处理应采用初级、中级、高效过滤器三级过滤器;应根据小于或等于额定风量选择中效或高效空气过滤器;净化空气调节的正压段应设置中效空气过滤器;净化空气调节系统末端应设置高效或次高效空气过滤器。  
3、部分空气净化系统的空气,如果处理后仍不能避免交叉污染,则不能回收利用:固体材料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、涂层、灌装等工序;有机溶剂精制的原料药精制干燥工艺;放射性  
药品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质和挥发性气体的生产过程;用于固体口服制剂颗粒、成品和干燥设备的净化空气。  
3.1.布局紧凑合理,满足实验室操作和空气洁净度水平的要求,力求科学性和科学性  
考虑到实验室的要求、开发和运营成本,经济原则是最好的。  
3.2.洁净车间入口设置空气风淋室,可有效清除人体带来的灰尘,减少洁净车间的灰尘量。同时,空气风淋室还起到气门的作用,防止不干净的空气从门进入洁净区。  
3.3.洁净车间需要向室内提供一定比例的新鲜空气,净化过滤后进入实验室进行补偿排气,确保正压和工作人员需要。  
3.4.风量调节阀用于控制不同需要洁净水平的区域,并调整压力梯度,以确保气流与洁净区域一起流向污染区域,洁净车间不同水平之间的压差为≥5pa,洁净车间与室外之间的压差为≥10pa。  
3.5.紫处灯灭菌装置设在洁净车间。  
3.6.传动窗采用全不锈钢材料,机械联锁控制,内带灭菌装置。
3.7.观察窗为封闭式洁净窗,门为气密洁净门。  

电子洁净车间设计 电子洁净车间设计
   

三.千级电子洁净车间布局设计要求

电子洁净车间布局要求  
根据《无菌医疗器具生产管理规范》附录B中国无菌电子 电器生产环境洁净度等级设置指南设置洁净度等级。洁净室(区)设计应注意以下几个方面:  
1.按照生产工艺流程安排。流程尽量短,减少交叉往复,人流和物流方向合理。必须配备人员净化室(储物间、卫生间、洁净工作服室、缓冲室)、材料净化室(带外包间、缓冲室、双层传动窗)。除了配备产品工艺要求的室外,还应配备卫生洁具室、洗衣间、临时储藏室、工位电器洁净室等。每个房间都是相互独立的,洁净车间的面积要在保证基本要求的前提下。  
2.根据空气洁净度等级,可以根据人流流方向,由低到高;车间由内向外, 由高到低。  
3.同一洁净室(区)或相邻洁净室(区)之间不存在交叉污染 1)生产工艺和原材料不会对产品质量产生相互影响; 2)不同层次的洁净室(区)之间有气闸室或防污染措施,物料通过 双层传输窗口传输。 4.空气净化应符合要求GB 50457-2008《医药行业洁净厂房设计规范》第九章 的要求。洁净室的新鲜空气量取以下最大值:1)补偿室内排气量,保持室内正压所需的新鲜空气量;2)室内无新鲜空气不得小于40立方米/h。  
5、洁净室人均面积应不少于4个㎡(除了走廊、设备和其他物品),以确保一个安全的操作区域。  
6.如果属于体外诊断试剂,则应符合《体外诊断试剂生产实施细则(试行)》的 要求。其中,阴性、阳性血清、质粒或血液制品的处理作业应在至少10000级环境下进行,应与相邻区域保持相对负压,并满足保护要求。  
7.应注明回风、送风和水管的方向。

电子洁净车间设计 电子洁净车间设计
   

四.千级电子洁净车间空调系统的设计

洁净车间洁净空调系统设计根据洁净车间面积、净化等级及洁净车间需求确定。 
洁净空调系统工作流程:室外新风经过初效过滤器过滤后,与洁净车间回风混合,再经冷却、除湿、加热、加湿后通过送风机将处理过的空气经中效和高效过滤送入洁净车间,完成空气热湿处理和过滤循环,使洁净车间保持设计的温湿度和洁净度。组合式空调机组一般包括新回风混合段初效、加热、表面冷却、加湿、风机、消声、中效过滤、出风等功能段。空气经组合空调机组处理后送入室内,室内气流组织采用顶送下侧回/排的送、回、排风方式。洁净车间主要是通过洁净空调的循环来过滤空气中的尘埃,实现对空气中粒子的控制,达到洁净度等级,因此需要足够的风量循环来保证室内洁净度。根据《洁净车间设计规范》和《医药工业空调系统设计规范》规定D级洁净区的换气次数设计为不小于15次/h,对于局部爆炸危险区换气次数为25次/h。

电子洁净车间设计 电子洁净车间设计
   

五.千级电子洁净车间设计规划

电子无尘室厂房设计规划要点  
目前,我国对电子产品的空气洁净度水平或生产环境控制要求没有统一的规定,一般按照《洁净厂房设计规范》执行(GB50073-2001)  
以及电子产品厂家确定净化车间洁净度等级和温湿度要求的实际经验。
1.气流方式
有层流式(垂直、水平)、乱流式、混流式、隧道式,各有各的特长,考虑使用目的而决定。  
2.洁净度  
净化车间的洁净度是根据氧气产品要求的精度来确定的。洁净度水平是根据气流模式、通风次数、室内压力等进行充分检查的结果。  
3.设计层面  
设计表面的决定是否需要考虑其操作和满足洁净度?需求的程度。除尘作业需要隔离。此外,还必须包括人员和物体的出入口、通道、实用性和维护。  
4.构造、材料  
室内表面结构?它可能是光滑的,不会造成气流紊乱和灰尘积聚。选择灰尘少、不易支付颗粒且易于洁净的材料。此外,根据不同的操作内容,有时应使用耐药、耐湿、耐火的材料。  
5.附属装置  
形成无尘室的周边装置包括控制除尘和保持压力的空风淋室(人们进入房间时使用)、传送箱(物品进出)、正压风门(调节室内压力)、储存物品和无尘衣物的洁净?橱柜,无尘衣柜…等等。所有相关功能必须充分理解。  
6.管理人员和物品  
作业人员,从外面带来的物品是最大的尘源。包括无尘衣服或化妆品等问题,操作人员必须具备与无尘室相关的基本知识。  
7.实用性  
8.安全对策和应急设备  
在洁净室工程的设计过程中,所需的洁净度、温度和湿度应根据工程是新建工程还是旧厂房改造工程,并结合具体的生产工艺和生产工艺确定。根据项目的具体情况,同时考虑厂家的经济承受能力,综合各种因素确定采用哪种净化方案,从而设计出一个能够满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济实用的方案。

电子洁净车间设计 电子洁净车间设计
   

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