洁净度等级标准ISO14644根据悬浮颗粒浓度的唯一指标划分洁净室(区)和相关控制环境中的空气洁净度等级,只考虑0.1um~0.5um范围内累计分布的颗粒组。根据粒径,可分为传统粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
ISO14644-1(国际标准)
空气洁净 |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
|
|
|
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
|
|
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35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 |
GB/T16292-1996(中国标准)空气洁净度分级标准
粒径、数值 |
尘埃最大允许数/立方米 |
微生物做大允许数 |
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≥0.5um |
≥5.0um |
游浮菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
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100级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
1,000级 |
35,000 |
200 |
50 |
2 |
10,000级 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000级 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000级 |
10,500,000 |
60,000 |
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15 |
美国联邦标准(USA Federal Standard)
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国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施 |
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国家标准GB50073-2001 |