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文件编号：XXX
检测编号：
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被测单元 |
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洁净级别 |
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气流形式 |
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测试状态 |
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检测日期 |
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测试依据 |
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讲述日期 |
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测试仪器厂家及编号: |
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纪录0.5μm、5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min；（单元:粒/m3） |
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洁净室/区 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1 C2 C3 |
平均值的均值 |
尺度误差 |
置信上限UCL=M t×SE |
效果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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评定尺度:
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注：（1）A1,A2--某一采样点的平均粒子浓度； UCL--平均值均值95%置信上限；
L--某一洁净室/区内的总采样点数，个； t--95%置信上限的t漫衍系数（6.31）；
文件编号：XXX
检测编号： 检测日期：
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洁净室/区 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1 C2 C3 |
平均值的均值 |
尺度误差 |
置信上限UCL=M t×SE |
效果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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检测者： 复核者： 共 页 第 页
检测编号： 检测日期:
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