洁净室洁净度检验新项目清单及规定

1.溫度

无尘车间室温就是指室内空气气体的溫度，模块以℃(℃)提示。可以应用玻璃温度计、数显式(包含热电阻、热电偶、半导体材料式)温度表测量室温，还可以应用干湿度球湿度测量仪、数显式湿度测量仪和风速计应附的温度表。规定温度表检测局限性应在-10℃至50℃，精确度为±0.3℃。

重视

1)读值时视野务必与尺标竖直，并与液面层处在统一平面。

2)读值时不能用手去摸尺标或将温度表取下插口，更不允许拿手捏住温包来读值，不然将导致很大的偏差。

2.空气湿度

环境湿度就是指空气中水分含量的成分。有二种提示方法：(1)绝对湿度：模块容积空气中所含水量气的品质；(2)空气湿度(RH)：空气中实际水标准气压与统一溫度情况下饱和状态水标准气压之比率，模块用%提示。环境湿度一样平时用空气湿度提示。空气湿度可以应用干湿度计、氯化锂漏点式湿度测量仪、电容传感器数据湿度测量仪测量，规定湿度测量仪检测局限性应在12%至99%，精确度为±0.3%。

应用方法参照常用仪器设备的使用手册。

3.空气流速

室内室外温度差、压力差、人力通风、中央空调、房间内热原等都可以造成气体流动性，同户外气旋一样对污染物质有稀释液和自由扩散。空气流速可以用热球式电风速计和热线电话式电风速计测量，规定风速计检测局限性应在0.01m/s至20m/s，精确度为±5%。

应用方法参照仪器设备使用手册。

4.洁净车间排风量

（一）基本原理

接受示踪剂汽体浓度值损耗法。在被测房间内进入适当示踪剂汽体，因为房间内、外气体沟通交流，示踪剂汽体的浓度值呈指标损耗，凭据浓度值随時间的变化值，筹算出房间内的排风量。

（二）仪器设备和材料

1)迷你或轻柔型汽体浓度值检测仪。

2)尺、晃动风机。

3)示踪剂汽体：没有颜色、无气味、应用浓度值无毒性、安全、自然环境本底辐射低、易取样、易分

析的汽体。

表2示踪剂汽体自然环境本底辐射水准及安全性材料

5.专业批发武器装备之挑选 、布署与调理

a.要采用发尘性较少的生产制造武器装备及相应武器装备，特别是在须重视流动性单位之发尘。

b.应挑选 尘土之危害较小的生产制造武器装备或插口武器装备。

c.生产制造用之水、汽体、药物等通常是产生严重污染的原因缘由，故应配置过滤系统。

d.设计方案各武器装备之设定室内空间时，事前宜考虑不容易累积浮尘之构造，设计方案各并且以非常容易清洁为标准。

e.机械泵等非常容易产生污染物质的这种武器装备，应设定在洁净室外边或送风区，并改装排汽管线排气管。

f.设定排水管道线、汽体管道和电气控制系统时，其机构须考虑到非常容易清洁，不容易累积污染物质。

g.生产制造及相应武器装备应定期进行清理，以阻拦浮尘之聚集。

h.应提高重视房间内的温湿度记录操纵，阻拦因环境湿度之不妥导致冷凝水锈蚀。

i.当装备维修的时候容易产生浮尘颗粒，故检修时只要于洁净室外举办，并加护栏网防护。

j.针对工程施工或检修之生产商，应见告收入支出洁净室之各类划分，且用心技术工程师应随侍在侧现场监工。

k.应该有洁净室常用工具组，但不可以带出洁净室外应用。