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无尘室防静电测试的主要指标

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洁净室静电测试内容主要包罗：
1 泄泄电阻
2 系统接地电阻
3 体积电阻
4 外面电阻
4 系统电阻


洁净室静电测试
GB50591-2010 《洁净室施工及验收规范》     
GB/T25915-2010 《洁净室及相关受控环境》

ISO 14644_2006  Cleanrooms and associated controlled environments


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