洁净室洁净度检测控制指标和检测方式

1　目地

划分无尘室洁净区的操控指标值和检测方法，有效的操纵十万级和三十万级洁净区自然环境的洁净度，满足工作环境的规定。

2　局限性

本规程适用本企业十万级和三十万级洁净区自然环境的洁净度磨炼。

3　磨炼方法

3.1　磨炼新项目

溫度、环境湿度、压力差、风力（换风次数）、尘土颗粒数、菌体数

3.2　溫度、环境湿度

3.2.1　规定

十万级/三十万级洁净车间溫度（18-26）℃，空气湿度（45-65）%

3.2.2　仪器设备与武器装备

温湿计

3.2.3　实际操作方法

估测温湿计。

3.2.4　测量次数

1次/班。

3.3　负压差

3.3.1　规定

净化室与户外压力差≥10Pa，净化室和非净化室≥5Pa差别等级净化室中间≥5Pa。

3.3.2　仪器设备与武器装备：抵付式微压计

3.3.3　实际操作方法

用抵付式微压计检测各室的静工作压力，由两室静压力之差，为负压差。

3.3.4　测量次数：1次/月

3.4　换风次数

3.4.1　规定

十万级无尘车间换风次数>15次

三十万级洁净区换风次数>12次

3.4.2　仪器设备与武器装备：热球式电风速计。

3.4.3　实际操作方法距出风口下25cm处测量

3.4.3.1　用风速计风力，取样点为热潮的四个夹角及中间部位（不少于5点）。筹算5个点风力均值。为一个出风口的风力。

3.4.3.2　换算公式：

∑（高效率出风口风力×高效率出风口总面积）

换风次数=──────────────────

被测间容积

3.4.4　测量次数：1次/月

3.5　尘土颗粒数

3.5.1　规定

十万级洁净区尘土颗粒数：≥0.5μm：≤3500个/L

≥5.0μm：≤20个/L

三十万级洁净区尘土颗粒数：≥0.5μm：≤10500个/L

≥5.0μm：≤60个/L

3.5.2　仪器设备与武器装备：尘土颗粒记数仪

3.5.3　取样点

凭据净化室总面积，规定至少取样点见下表：

总面积，（m2）

洁净度等级

3.5.4　实际操作方法

用尘土颗粒记数仪在相对高度1米水准表面的部位取样，各层取样点不少于5点，每一个取样点采样频次不少于5次。取样点见配件1。

3.5.5　换算公式

5次测量数的总数

尘土颗粒数=─────────

5

3.5.6　测量次数：1次/季

3.6　菌体数

3.6.1　规定

浮游菌十万级洁净区含菌浓度值≤500个/m3

沉降菌十万级洁净区含菌浓度值≤10个/皿

三十万级洁净区含菌浓度值≤15个/皿

3.6.2　检测方法

按《微生物磨练规范》的划分举办。

3.6.5　测量次数：浮游菌1次/季；沉降菌1次/周

4　测量标准

4.1　当新洁净区交付使用前，举办一次静态数据环保监测，检测时，洁净区内全部物件均应及时，检测区域内只留检测员工，检测实际效果应相符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的规定。如不过关应再次对净化设备举办查验，搜索原因缘由，举办整顿后，再举办检测，及格后才可交付使用，不然不能进到生产制造。

4.2　全部在使用洁净区，按本规程的规定举办动态性检测，检测实际效果应相符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的规定。如不过关由技艺质量部见告生产技术部，通告超标准生产车间停工，由生产技术部、技艺质量部、生产线机构员工搜索原因缘由，举办整顿后，再举办检测，及格后才可交付使用。

配件1尘土颗粒检测点

配件2沉降菌检测点

配件3浮游菌检测点