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万级镀膜洁净室设计装修

来源:/ 作者:DEIIANG得创 发布时间:2022-10-02 10:01

万级镀膜洁净室设计装修.得创净化工程专业从事镀膜洁净室工程规划,设计,施工一条路净化工程公司,欢迎来电咨询:027-82289886
光电子净化工程是指专门设计的密闭空间,在该空间内消除一定范围内空气中的污染物,如灰尘颗粒、有害空气、细菌等,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定的需求范围内,因此又称洁净室或无尘室净化工程。目前,在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、电路板制造、生物化学、医药、食品制造等行业,光学微电子无尘车间已成为不可或缺的重要设施。

万级镀膜洁净室洁净度等级标准ISO14644

洁净度等级标准ISO14644根据悬浮颗粒浓度的唯一指标划分洁净室(区)和相关控制环境中的空气洁净度等级,只考虑0.1um~0.5um范围内累计分布的颗粒组。根据粒径,可分为传统粒子(0.1um~0.5um).超微粒子(0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

ISO14644-1(国际标准)


空气洁净

度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1.0um

5.0um

ISO Class1

10

2

 

 

 

 

ISO Class2

100

24

10

4

ISO Class3

1,000

237

102

35

8

ISO Class4

10,000

2,370

1,020

352

83

ISO Class5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO Class6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO Class7

 

 

 

352,000

83,200

2,930

ISO Class8

 

 

 

3,520,000

832,000

29,300

ISO Class9

 

 

 

35,200,000

8,320,000

293,000

注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平


GB/T16292-1996(中国标准)空气洁净度分级标准


 

镀膜洁净室标准 镀膜洁净室标准
   

万级镀膜洁净室设计和布局要求

洁净室的设计和布局要求 
1.进出口位置 
一般来说,车间必须有进出口,进出口也是最容易污染的地方。因此,在设置洁净室的出入口时,应特别注意。最好远离其他设备,以避免交叉污染。 
2.控制人员和材料的进出 
每次员工和材料进出时,都可能影响洁净室。因此,不同的人员和材料应有自己独立的净化设施,不能相互使用。此外,我们还需要控制员工和材料的进出口数量。 
3.材料的摆放 
根据洁净室的使用程度划分每个区域。当然,不同规模的洁净室划分的区域并不完全相同。一般设置辅助材料区.合格产品区和不合格产品区。如果规模大,我们需要详细划分。如果我们能避免污染,我们就能避免污染。

镀膜洁净室标准 镀膜洁净室标准
   

万级镀膜洁净室净化设备安装设计注意事项

我们都是到,洁净室是属于一个无尘的车间,所以需要安装净化设备,安装净化设备需要注意设置隔离区,保持洁净室的气流压力,还要注意安装各种动力设施等。洁净室在做净化工作时,需要制定好一个工作进度表,做到专人专事,在安装高效过滤器时,需要先将区域进行彻底清洁等,下面详细的为大家介绍下
1、无尘洁净室设备最好就是通过服务通道或其它非关键区进入隔离区,如果不可能,应采取措施尽量减少污染,无尘洁净室流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压,避免气流强制流出工作区带来污染的可能性
2、无尘洁净室完全密封的隔离区不应从内部加压,否则污染可能会穿透隔离霜,影响周围的无尘洁净室,隔离区内应该阻断洁净空气的送风,避免给周围的无尘洁净室造成压力,如果只有通过相邻的无尘洁净室才能进入隔离区,应该采用粘性垫,除掉鞋子上带的污染,进入隔离区后,使用一次性靴子或鞋套来避免污染,离开隔离区前要把这些一次性物品脱下并带走处理
3、无尘洁净室应该制定监控隔离区周围区域的方法和频率,确保能检测出任何渗漏进相邻无尘洁净室的污染
4、安装架设备各种动力设施,如电、水、气体、真空、压缩空气和废水管道时,应该注意对这些作业产生的烟气和残物尽可以全部加以控制,避免由于疏忽而弄到周围的无尘洁净室内,而且这也有助于拆除隔离屏障前能起到有效的清洁
5、无尘洁净室安装净化设备应该采用认可的洁净程序清除整修隔离区的污染,所有表面注意设备护板后面和设备下面区域的清洁
6、净化设备安装完工后现场可以做一些内部的准备工作和设备性能的初步测试,但最后验收的测试要求完全具备无尘洁净室条件才行

镀膜洁净室标准 镀膜洁净室标准
   

万级镀膜洁净室净化空调的施工

1.空调.新风机组安装前应进行检查验收,合格后进行清洗处理,要求无油污.无灰尘,并封闭所有孔洞。
2.设备与系统风管连接时,应提前准确配制尺寸的接管,清洗验收后密封两端□,运至现场开封安装,开封时间不宜过长,并保证污物灰尘不侵入风管或设备。
3.安装高效过滤器
①.安装高效过滤器前,必须逐一检查。滤纸不得有裂缝.针孔等损坏 (可用强光检查),其外部尺寸不得超过1㎜,对角线尺寸的误差不应超过石1的误差.5㎜。
②.高效过滤器必须,必须安装高效过滤器,并彻底清洗.吹洗.试运行,以满足清洁要求,检查后立即安装到位。
③.过滤器与框架之间的密封垫应定位并粘贴在过滤器框架上。粘贴前,清除过滤框架上的污垢,用榫头粘贴拼接,胶合板厚度为5㎜。
④.安装时要注意外框上的箭头要与气流万向一致,不要安装反向,不要用头.手或工具等触摸滤纸,以免损坏。

镀膜洁净室标准 镀膜洁净室标准
   

万级镀膜洁净室机制净化板跟手工净化板的宽度是多少

机制净化板:950mm.1150mm
手工净化板:970mm. 980mm.1170mm.1180mm;非标准板可定制。

镀膜洁净室标准 镀膜洁净室标准
   

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