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万级镀膜洁净室设计装修

来源:/ 作者:DEIIANG得创 发布时间:2025-07-14 14:43

万级镀膜洁净室设计装修

专业从事镀膜洁净室工程规划、设计、施工一条龙服务

光电子净化工程是指专门设计的密闭空间,在该空间内消除一定范围内空气中的污染物,如灰尘颗粒、有害空气、细菌等,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定的需求范围内,因此又称洁净室或无尘室净化工程。目前,在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、电路板制造、生物化学、医药、食品制造等行业,光学微电子无尘车间已成为不可或缺的重要设施。

镀膜洁净室示例

万级镀膜洁净室洁净度等级标准ISO14644

洁净度等级标准ISO14644根据悬浮颗粒浓度的唯一指标划分洁净室(区)和相关控制环境中的空气洁净度等级,只考虑0.1um~0.5um范围内累计分布的颗粒组。根据粒径,可分为传统粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um
ISO Class1 10 2 - - - -
ISO Class2 100 24 10 4
ISO Class3 1,000 237 102 35 8
ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class7 - - - 352,000 83,200 2,930
ISO Class8 - - - 3,520,000 832,000 29,300
ISO Class9 - - - 35,200,000 8,320,000 293,000

注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

万级镀膜洁净室设计和布局要求

洁净室的设计和布局要求

  1. 进出口位置:一般来说,车间必须有进出口,进出口也是最容易污染的地方。因此,在设置洁净室的出入口时,应特别注意。最好远离其他设备,以避免交叉污染。
  2. 控制人员和材料的进出:每次员工和材料进出时,都可能影响洁净室。因此,不同的人员和材料应有自己独立的净化设施,不能相互使用。此外,我们还需要控制员工和材料的进出口数量。
  3. 材料的摆放:根据洁净室的使用程度划分每个区域。当然,不同规模的洁净室划分的区域并不完全相同。一般设置辅助材料区、合格产品区和不合格产品区。如果规模大,我们需要详细划分。如果我们能避免污染,我们就能避免污染。
洁净室设计示例 洁净室布局示例

万级镀膜洁净室净化设备安装设计注意事项

我们都是到,洁净室是属于一个无尘的车间,所以需要安装净化设备,安装净化设备需要注意设置隔离区,保持洁净室的气流压力,还要注意安装各种动力设施等。洁净室在做净化工作时,需要制定好一个工作进度表,做到专人专事,在安装高效过滤器时,需要先将区域进行彻底清洁等。

1、无尘洁净室设备最好就是通过服务通道或其它非关键区进入隔离区,如果不可能,应采取措施尽量减少污染,无尘洁净室流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压,避免气流强制流出工作区带来污染的可能性。

2、无尘洁净室完全密封的隔离区不应从内部加压,否则污染可能会穿透隔离霜,影响周围的无尘洁净室,隔离区内应该阻断洁净空气的送风,避免给周围的无尘洁净室造成压力,如果只有通过相邻的无尘洁净室才能进入隔离区,应该采用粘性垫,除掉鞋子上带的污染,进入隔离区后,使用一次性靴子或鞋套来避免污染,离开隔离区前要把这些一次性物品脱下并带走处理。

净化设备安装示例 净化设备示例

万级镀膜洁净室净化空调的施工

1.空调、新风机组安装前应进行检查验收,合格后进行清洗处理,要求无油污、无灰尘,并封闭所有孔洞。
2.设备与系统风管连接时,应提前准确配制尺寸的接管,清洗验收后密封两端□,运至现场开封安装,开封时间不宜过长,并保证污物灰尘不侵入风管或设备。
3.安装高效过滤器

  • 安装高效过滤器前,必须逐一检查。滤纸不得有裂缝、针孔等损坏(可用强光检查),其外部尺寸不得超过1㎜,对角线尺寸的误差不应超过石1的误差、5㎜。
  • 高效过滤器必须,必须安装高效过滤器,并彻底清洗、吹洗、试运行,以满足清洁要求,检查后立即安装到位。
  • 过滤器与框架之间的密封垫应定位并粘贴在过滤器框架上。粘贴前,清除过滤框架上的污垢,用榫头粘贴拼接,胶合板厚度为5㎜。
  • 安装时要注意外框上的箭头要与气流万向一致,不要安装反向,不要用头、手或工具等触摸滤纸,以免损坏。
净化空调施工示例 空调设备示例

万级镀膜洁净室机制净化板跟手工净化板的宽度是多少

机制净化板:950mm、1150mm
手工净化板:970mm、980mm、1170mm、1180mm;非标准板可定制。

机制净化板示例 手工净化板示例

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