净化车间，也可以称为净化车间或清净室。它是污染控制的基础。没有净化车间，污染敏感零件不可能批量生产。那么净化车间是由哪几部门组呢？

一、净化车间共有五部门组成：

1、隔间

净化车间隔间分为三大部门,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品收支通道通报箱(passbox).当职员进入净化车间时,首先要经由风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,削减职员带入净化车间的灰尘.通报箱则是对物品灰尘举行吹淋,到达落尘的效果。

2、风系统风系统流程图

系统接纳的是全新风空调箱 FFU 系统：

<1>全新风空调箱结构

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器

千级区过滤器接纳HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器接纳ULPA,过滤效率99.9995%。

3、水系统水系统流程图

冰水系统分为一次侧和二次侧.

一次侧冰水水温7-12 度,供应空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供应干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个差别的回路,之间由板式换热器毗邻.

板式换热器原理

干盘管:不结露的盘管,因净化车间温度在22 度,其露点温度12 度左右,故7 度冰水不能直接进入净化车间,以是进干盘管的冰水温度在12-14 度.

4、控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制

湿度:空调箱调治通过感测的信号,控制三通阀开度来调治空调箱盘管进水量。

正压:空调箱调治,凭据静压感测的信号,自动调治空调箱马达变频器的频率,从而调治进入室内的新风量。

5、其他系统

不只是空调系统,净化车间系统中还包罗有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测尺度：

1、气流速率及其平均度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的条件，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间事情区的平均气流通度及其平均性。

2、系统或房间的风量检测。

3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可到达的空气洁净度级别，可接纳粒子计数器检测。

4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

5、气流流型检测。

6、噪声的检测。

7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的平均性。

8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明净化车间各注释的振动幅度。

9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包罗检测净化车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测净化车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空心胸，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

10、总风量和新风量的检测。

二、净化车间净化工程的事情流程是怎样的

无尘净化工程对车间有明确的要求，为了满足需要、保证产物质量，要对车间的环境、职员、装备和生产过程等举行控制。车间的治理，包罗对车间事情职员、物料以及装备、管线治理。对车间事情职员事情服的制作，车间的洗濯。室内装备及装修质料的选择和清扫、灭菌等，防止车间内尘粒、微生物的发生。装备、设施的维护治理，制订响应的操作规范，保证装备按要求运转，包罗净化空调系统，水气电系统等，确保生产工艺要求和空气洁净度品级。对车间内设施的清扫、灭菌，防止车间内微生物的滞留、滋生等。为了更好地做好无尘净化工程，就需要从无尘车间着手。

无尘净化工程的主要事情流程：

1.谋划：领会客户的需求，确定合理的方案;

2.开端设计：凭据客户的情形，举行项目的设计;

3.方案交流：与客户交流开端设计方案并做调整;

4.商务洽谈：凭据确定的方案，洽谈工程造价及签订条约;

5.施工图设计：将开端设计方案确定为施工图设计;

6.工程：根据施工图举行施工;

7.调试检测：依据验收规范及条约要求，举行调试及检测;

8.完工验收：举行完工验收并交付客户使用;

9.维护服务：负担责任，并提供保修期后的服务。

三、什么是净化车间(Clean Room):

用通俗易懂的语言来形貌的话,净化车间就是在某个空间的空气中灰尘、微粒子控制在一定数值以下,把压力、温度、湿度、气流漫衍及其形状和速率控制在一定局限内为目的而制作的屋子.

什么是洁净度(Class):就是指单元体积( 通常是立方英尺) 的空气中含有大于、即是0.5μm 直径的尘粒的数目,也称为无尘度。

什么是尘粒:

尘粒是细小的灰尘、悬浮的器械.

尘粒越小,其外面积的比例相对增添,并不遵从牛顿定律运动,按重力垂落.而是在空气中做不规则的运动,这种运动叫布朗运动.

因是悬浮的器械,而且做不规则的运动,在洁净化手艺、产物制造中是令人头痛的代表物.

总之,尘粒会对产物成品率崎岖影响至关重要.如:电侵蚀征象。

净化车间的原理：

通过空调系统和净化装置把空气举行调湿、调温顺过滤,然后把净化的空气通过净化车间的高效过滤器送入到净化车间内,到达洁净品级的尺度.

通常: 温度: 22℃±3 ℃;湿度:55%±5%.包罗:

1.空气调治系统;

2.2. 空气净化系统.

净化车间的类型：

按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式:

1.杂乱式净化车间;

2.水平平行流式净化车间;

3.垂直平行流式净化车间

净化车间的类型：

通过净化车间屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风，以玻璃纤维为主

体的制成的高效过滤网。

净化车间的原则：

1.、杜绝把灰尘带入净化车间;

(一).空气:

(1).通过过滤网净化空气:

常用的过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等. 玻璃纤维:能过滤0.3 m 的悬浮尘粒,

甚至到达0.04 m 的悬浮尘粒;过滤效果:99.99%

玻璃石棉:凭据石棉的的直径巨细决议;

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,中央空调制冷时，空调系统内置一种吸热介质--制冷剂（冷媒），制冷剂通过膨胀阀节流后经室内机（蒸发器）内部蒸发气化，室内机风扇将冷风吹向室内，吸收室内空气中的热能，制冷剂通过管道回到压缩机吸气端，通过压缩机的压缩，提高了冷媒的温度，在通过室外机（冷凝器）使制冷剂从汽化状态转换为液化状态，在转换过程中，释放出大量的热量，通过室外机风扇将热量排出，通过周而复始的循环，达到制冷的目的。,

例:1m的石棉过滤1 m 的尘粒.

2、进入净化车间必须穿着无尘衣.

不得使用容易发生灰尘的质料、装备、备品等.使用净化车间用品.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等)削减没必要的职员的流动、装备的运转.制订装备的摆放结构设计方案.没必要的物品克制带入到净化车间.净化车间中克制脱无尘衣.净化车间内物品数目限制在最少的限度.物品摆放作出划定,削减空气乱流.

四、净化车间吸尘器的吸尘原理及基本结构

吸尘器的洁净原理是借助吸气作用，从地板、地毯、墙壁、家具及其它不易用扫帚消灭污垢的外面吸走灰尘和干的赃物，如线、纸屑、头发等。它的主要部件是真空泵、过滤袋、软管、延伸管及种种形状的差别管嘴。现代的在附件上转变多样，为消灭地毯污物设计出了粗毛刷、细毛刷、转动毛刷，清算墙角用的是扁形管嘴、清算地析板用磨光刷等。

第一层过滤/纸袋（抛弃式）：4gallons(15L)能有用的网络处置可目视粉尘。

第二层过滤/加大的布质过滤器（可洗式）：可以珍爱并延伸HEPA 过滤器的寿命。

第三层过滤/马达珍爱套：深层过滤，可以珍爱马达使用寿命。

第四层过滤/HEPA 或ULPA 过滤器：

HEPA 可有用过滤0.3um 微尘达99.99%，适合用在较细微的过滤。HEPA 所有经由激光灰尘粒子计数器的检测。ULPA 可以有用过滤99.999%的0.12um（相当于人类头发直径的1/960）d巨细的粉尘，适用于CLASS1-10级无尘净化环境，国家航天局指定专用吸尘器。

信赖明白净化车间吸尘器的应该对照熟悉了吧，这样的过滤系统用在百级和千级净化车间车间内里是不成问题的。

五、净化车间与通俗的房间在结构上事实有什么区别呢？

通常净化车间的气流设计工艺为单向气流，净化车间内生产装备的设计和摆放应充实思量到气流的偏向不被阻碍：既然是洁净室，顾名思义它就是为了控制污染源，提高产物洁净度而设计的高洁净度生产车间。造成污染源的因素有许多，而人的因素是污染的最大源头，以是对人的行为等控制相对也会严酷一些，固然其它因素也是不容忽视的。总而言之，它只是比通俗环境加倍洁净的事情车间，并不会对人体造成任何威胁，要保证洁净室的环境必须举行全方位控制，仅靠硬件事情是不够的，外来的污染源头也是我们在净化车间环境污染控制的重中之重！通过以上先容希望人人能对净化车间有个准确的明白，在这样的环境下举行工业化生产，是一种一定的生长趋势。

六、熟悉净化车间照明灯的基本原理

净化车间的照明原理是提供可见度，它与空气供应系统和降低污染相协调的准确照明度，是净化车间设计结构中不可或缺的组成部门。净化车间的照明会凭据室内的使用，品级的分类和天花板上空气供应的结构而发生改变，照明系统一定要提供优越的能见度，将污染控制把电磁场的发生与洁净度的设计思量进去。

对于净化车间的组织来讲，照明灯具的成本不会跨越总预算的1%，而照明的能源成本与净化车间的hvac以及制程装备的功率需要相对照可以说是很小的，因此净化车间的照明焦点便酿成适当的照明度，与空气供应系统相互协调，同时对安装在该空间内特定的环境与制程的污染降低。许多净化车间的外面具有很高的反射性，大部门的天花板，墙面，地板外面均光鲜亮丽，只管这样，质料颜色的选择仍在考察中，便于改善使用者的环境。在净化车间的设计结构中，照明系统使用常见的是荧光灯，因其能源效率高，使用寿命长，维护成本低，

经常使用到。荧光灯在紫外线光谱内发生一定能量，对于一些净化车间内的制程是有害的，过滤UV 可以使用灯罩遮蔽，然则这种遮蔽会转换成可见光至黄色，虽然这种遮蔽仅能降低10%到20%照明度，但由于颜色的误差，所察觉到的照明度看起来对照少。照明灯内需要清闲器来来发生灯泡所需要的启动电压与操作电流，使用在清闲器的手艺为电磁式和电子式。

等某一空间需要过滤器与照明时，可以将嵌入式灯具与hepa空气过滤器合并在一起，这种用具经常使用在小型且已预制好的净化车间内，这种用具为嵌入式，有开放的顶部和一个替换灯罩的巧克力制百叶，同时用于作为照明照明灯具与空气运送模块。为了防止天花板上照明与空气过滤器空间需求的冲突，同时作为泪滴型灯具的变通方式，制造业已生长出模块式的天花板系统，具有内建在格架通道内的整合照明，这些系统允许层流气流不受到影响。污染控制是净化车间设计结构的主要目的，任何带有进入净化车间的潜在污染源要严酷消灭使其控制在一定局限内，照明灯具要举行污染评估检测。

七、净化车间的品级和寄义

净化车间是对空间内空气中的微粒做到控制，所组织的特殊封闭性修建。总体来说，净化车间也会对温湿度、气流运动模式、与震惊噪音等环境因素做控制。净化车间对品级的差别，对一定空间内的微尘粒子最大允许量有一定规范，在国际尺度中分为ISO-14644，ISO-14644的品级界说。这里所指的微粒灰尘是肉眼无法瞥见的灰尘及粒子，一样平常空气清净机无法完全消灭之灰尘。净化车间一样平常分为电子、周详工业用（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食物产业用。

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在JIS 尺度中，净化车间洁净度，分8 个品级，通常洁净度是指空气的洁净品级，分为1到8 个阶段。在1 立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10 个以下时为1；百个以下是100=102 是品级2；千个以下时是1000=103品级3，以此类推。21 世纪，尖端科技产业的生长，加速了产业结构的变化，净化车间设立的必要性也相对地提高。产物逐渐的小型化和周详化，灰尘和温湿的转变对产物的完成度同样造成极大的危害，导致品质下降，随着产物的高品质要求，环境无尘化的要求也越来越高。因此在净化车间中用防尘质料及产物都显得异常重要。净化车间属于人造的环境，内里含有的粒子远低于一样平常的环境，随着集成电路的级数的快速发展，也增添了对制造环境(净化车间)洁净度要求，在工业上纵然使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻碍产物的制作或降低其寿命。优于纳米手艺的兴起，造成半导体要害尺寸连续缩小，集成电路积集度不断地增添，尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。以是净化车间为集成电路制造必不能少的因素。

八、无车室的用途分类

⑴、工业净化车间

——以无生命微粒的控制为工具。主要控制空气灰尘微粒对事情工具的污染，内部一样平常保持正压状态。它适用于周详机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产物工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

⑵、生物净化车间

主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（灰尘）对事情工具的污染。又可分为；

A、一样平常生物净化车间，主要控制微生物（细菌）工具的污染。同时其内部质料要能经受种种灭菌剂侵蚀，内部一样平常保证正压。实质上其内部质料要能经受种种灭菌处置的工业净化车间。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食物、化妆品、饮料产物生产、动物实验室、理化检验室、血站等。

B、生物学平安净化车间：主要控制事情工具的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）。

九、净化车间与洁净室是一样的吗

净化车间(Clean Room)，亦称为净化车间或清净室。它是污染控制的基础。没有净化车间，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2 内里，净化车间被界说为具备空气过滤、分配、优化、组织质料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而到达适当的微粒洁净度级别。净化车间是指将一定空间局限内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物清扫，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速率与气流漫衍、噪音振动及照明、静电控制在某一需求局限内，而所给予稀奇设计之房间。洁净室：温度、湿度、压力（压差）、洁净度、浮游菌、沉降菌受控的空间。两者没有本质的区别，但适用尺度、品级有所差异。

十、净化车间系统中干盘管的作用和原理

风机盘管是空调系统中的末尾装备，主要用来举行内陆的热交流，在冬季供暖时没有干湿之分，只有在夏日供冷时有干湿之分。

所谓干盘管指盘管的热交流只有显热交流，没有潜热交流，这对室内无湿源且对空气相对湿度要求不高的地方可以使用，由于在空气含湿量一定的情形下温度下降会使空气相对湿度增添。盘管自己无干湿之分，干盘管是通过控制冷冻水供水温度来实现的，纵然供水温度高于室内空气的露点温度，使室内空气在温度下降过程中，所含水蒸汽不凝结成水。由于干盘管只举行显热交流，没有潜热交流，以是相对湿盘管相同温降所需热交流量要少一些。

十一、无尘喷漆房的无尘喷漆房事情原理

顾名思义就是在一个房间里对过滤喷漆工具举行喷漆，现在也被叫做烤漆房。

传统的喷漆是在露天用喷头给用具（汽车，家具等）喷漆，然则这样方式对于大型用具来说会使喷漆质量降低，例如：喷漆过程中会把空气中的粉尘混合在油漆里，从而降低喷漆质量；

具有不确定性虚耗油漆，而且喷漆区域会异常脏；对于事情职员来说，一方面会很脏，另一方面会吸入大量油漆雾对身体晦气。厥后人们想把喷漆设定在一定的局限内，就发生了最早的喷漆房----抽风式喷漆房，在中国喷漆房最早是在上世纪90 年月成都区域发生的。

抽风式喷漆房的3 个要害就是：

1.透风----抽风式喷漆房事情的要害

2.过滤----过滤空气中小颗粒

3.排气----废空气的排挤和新空气的进入

详细的原理是：

风（室外空气）----喷漆房过滤棉----喷漆台----行使喷漆装备对喷溅喷漆----排风扇（排挤发生的漆雾）

这种喷漆房的弱点照样存在：

1.过滤布容易划伤，灰尘容易进入

2.易将室外不洁净的空气进入

3.不环保，虚耗油漆

4.需要经常清算，定期消灭过滤布上的污垢

十二、净化车间烟控原理及设计方式

近几年来，在我国的新竹科学工业园区内陆续发生了多次半导体厂房火灾事故，虽然所造成的职员伤亡不大，但对于财物的损失却很可观，其数目动辄以数十亿甚至百亿元新台币盘算，对业界所造成的损伤与危害可想而知。高温浓烟才是造成财损的元凶，但由于土地取得不易，净化车间厂房多向高楼层生长，高智慧的手艺人力及昂贵的装备机台集中在厂房内，万一发生火灾意外，损失将数十倍于一样平常工厂。此外，高科技净化车间厂房内使用许多的易爆性与易燃性气体，例如SiH4、H2、PH3 等，更增添厂房内的潜在危险，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时职员的伤亡与财物的损失，必须对修建物举行烟流控制，这一点新加坡已强制划定执行，而在相近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制律例，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工性命及装备污染的危险。海内现有防排烟模式剖析海内现在现有之净化车间烟控模式共有四种。其中，烟控设计原理，就是行使在净化车间下层回风区的一样平常排气风管，在其上安装闸门，平时此闸门为关闭状态，以维持一样平常排气的运作，若遇上净化车间或净化车间下层回风区发生火灾时，则打开闸门以举行排烟。此设计必须有两个假设建立才气施展其功效，第一个假设为：若火灾发生于净化车间中，则净化车间上方的FFU 下吹垂直层流速率必须大过火灾烟尘向上升的速率，才气压制净化车间火灾发生的烟尘，将其导引向下至下层回风区中，然后经由排气风管打开的闸门抽走。第二个假设为：若火灾发生于下层回风区中，则上升的烟尘会蓄积于下层回风区的上部，让烟尘由排气风管打开的闸门抽走。然而上述两种假设在现实状况中皆很难建立，由于从净化车间天花板下吹的垂直层流速率在0.25-0.5 m/s 左右，而火灾的热释放率只要大于3kW，烟尘的向上速率就会大于0.5 m/s，然后烟尘会在上方蓄积形成蓄烟层，此时从净化车间天花板下吹的气流只会造成烟尘更迅速的扩散，发生更大的危害。另外，若是烟尘的温度过高，则HEAP 或ULPA 这类滤层有可能被烧穿，使得烟尘危害更形雪上加霜，故而第一种假设无法建立。其次为蓄烟的问题，高架地板由于有开洞板的关系，会使得下层回风区火灾所发生的烟尘穿过开洞板，向上进入净化车间中而无法在高架地板下蓄积，使得排烟点的有用排烟局限仅限于排烟闸门周围四周，因此只能抽取到少量的烟尘，故第二种假设亦难建立。一样平常而言，此类设计模式常见于老旧厂房的净化车间中，主要是由于早年的半导体厂在建立时少少会思量到烟控系统，厥后由于需要，只好在一样平常排气风管上开洞，在加装控制闸门后做为排烟之用，云云对原来的装备及厂务系统影响最少。行使一样平常排气风管做为排烟系统亦有些问题需要思量，如管路是否耐高温？排烟量是否足够？风机是否为排烟风机？闸门是否为防烟闸门？其泄露量为UL 555S 的何种品级？系统若何控制及可靠度问题？故建议使用专用的排烟系统，可以大幅解决上述的许多问题。

有用的烟控设计方式

主要观点是在净化车间上方启齿排烟，启齿处使用UL 555S认证之防排烟闸门，用以蒙受排烟时之高温烟尘，若是要思量防火区划的问题，可改用防火及防烟风门。净化车间必须先举行防烟区划，行使现有隔间或分外加设防烟垂壁的方式，划分净化车间区域。当某一区划中发生火灾时，关闭该区的空调，而且打开该区的排烟闸门，启动排烟风机举行排烟，然则非火灾区的区划之空调仍然存在，云云可让排烟区形成负压力区，而非火灾区形成正压力区，此正负压设计对阻止大颗粒烟尘的扩散有一定水平的辅助，而且净化车间为一密闭空间，必须维持压力平衡，否则排烟系统的排气气力会因阻力愈来愈大而使效能愈来愈差。回风竖井中必须行使防烟风门切断回风系统，防止被污染的空气透过回风系统再循环进入其它的区划中，此时位于净化车间上方的外气MA 弥补系统仍提供新鲜空气，维持空调系统仍打开的区划能连续送风。排烟闸门的开启与排烟风机的启动可以手动或由侦烟器连动，侦烟器可用寻址的离子式侦烟器或是及早型侦烟器VESDA。在旧有的净化车间厂房中，多于回风道接纳轴流式风机，而且搭配HEPAFilter 或ULPA Filter 之回风形式，此种方式的厂房较晦气于接纳防烟区划来分区关闭回风系统并形成正负压之防烟模式，亦即当遇到火灾时，只有将回风系统之风机完全关闭或继续开启之选择。但在新的净化车间厂房中，多改用FFU 回风方式，云云一来，若预先设计好FFU 电路分区开关，即可有用行使防烟区划分区关闭FFU，形成所谓的正负压区划防烟。

参考资料：《洁净室施工及验收规范》

《无尘车间工程施工要害流程详细注释》

《最全无尘车间尺度要求》

《无尘车间施工方案大揭密》

《无尘车间工程装修宝典》

《净化工程安装要求,特征及监测》

《净化工程施工大全(最新版)》

《净化工程安装尺度大全》

《净化工程装修宝典》