万级集成电路无尘车间设计要求及费用报价清单

前言

中国大力支持半导体材料的发展趋势，半导体器件的纯化是半导体元件发展趋势的主要基础。由于集成电路工艺集成电路的规模和技术规定，为了获得高纯度的光伏材料，原材料和中间载体的高纯度和生产工艺的洁净度已成为危害产品质量的突出问题。自20世纪50年代以来，芯片可能经历了三个发展趋势：在美国创造发明和起源——加速日本的发展趋势——在韩国和中国台湾的完美分裂。前两个半导体行业之所以迁移，是因为日本在PCDRAM销售市场上得到了美国的认可；韩国已成为PCDRAM的新的关键运营商，中国台湾已成为铸造行业，芯片密封行业已成为OEM生产的领导者。现在，中国已经成为世界上拥有大型半导体材料的销售市场。在当前强劲的需求和强大的政策的推动下，芯片领域正在向内地转移集成电路芯片的合格率与芯片的相对密度有关，芯片的相对密度与空气中颗粒的数量有关。因此，集成电路的快速发展趋势不仅对空气中颗粒的规格和尺寸有较高的规定，而且需要对集成电路工作环境的工作环境进行进一步的操作。

工程介绍

10000级集成电路无尘车间是满足半导体制造工艺要求的洁净室。与其他工业清洁车间相比，对环境清洁度、温度和湿度、振动、ESD和AMC控制的要求更为严格。一般来说，电子集成电路无尘车间的温度应控制在22℃左右，相对湿度应控制在50-60%之间（特殊无尘车间有相关的温湿度规定）。此时，静电可以有效消除，人们可以感到舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室、磁盘制造车间是电子制造业洁净室的重要组成部分。由于电子产品的制造，在生产过程中对室内空气环境和质量有着极其严格的要求，主要是控制颗粒和浮尘，并对其环境的温度、湿度、新鲜空气量和噪声作出了严格的规定。今天，让我们来谈谈集成电路无尘车间的规划设计。

一  万级集成电路无尘车间净化参数要求

1.洁净度：万级
2.换气次数：≥20次   
3.平均风速： 0.3—0.5米每秒
4.温度：22℃左右
5.相对湿度：50-60%
6.噪声级（空态）：不应大于65dB(A)
7.万级集成电路无尘车间垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了
8.万级集成电路洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa 
9.万级集成电路无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值
10.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和
11.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3

二.万级集成电路无尘车间消防工程

1.万级集成电路无尘车间应专门设计，主体建筑应为一、二级耐火等级；吊顶、隔墙等构件及保温、保温、装饰材料应尽量采用不燃材料或防火材料。

2.其他建筑改造为万级集成电路无尘车间的，也应当经公安消防部门专门设计和审核。一般不得破坏原防火分离、新保温、保温、分离等材料和装饰材料，尽量不使用可燃材料，如需使用，应进行防火处理。

3.为防止火灾和燃烧，便于疏散和抢救，防火墙之间的最大允许面积、防火分离和疏散路线一般应比其他建筑有更高的要求。出入口或拐角处应有紧急照明灯。

4.明火加热不得用于电子光学无尘车间。电加热必须关闭，加热温度必须严格控制。各种加热装置应安装在不燃底座上。

5.万级集成电路无尘车间有易燃易爆物品，电气应符合防爆要求；电气敷设和安装应严格要求，暗敷电线不得有接头。电气设备应经常维护，使用后应及时切断电源。对于需要长时间打开的电气设备，应在下班后进行巡逻检查。

6.万级集成电路无尘车间易燃易爆物品仅限于值班用量。下班后，剩余易燃易爆物品应存放在其他安全场所。

7.使用易燃液体和气体的万级集成电路无尘车间应安装排气设备，操作台应配备独立的排气装置。易燃液体蒸汽和气体的排气管应与排气系统分开。

8.万级集成电路无尘车间的排气系统。应设置调节阀、止回阀或封闭阀。防火阀必须设置在通过地板和风管穿过防火墙的总风管上。

9.万级集成电路无尘车间应有相对完善的消防设施。消防报警装置和自动灭火设施应设置在净化车间和技术管道层。根据工艺生产的特点和要求、可燃材料的种类和数量、建筑的耐火等级等因素，配备必要的灭火设备。有价值、高精度仪器和电气设备的洁净室应配备二氧化碳、卤代烷或喷水灭火装置。走廊上还应设置紧急报警按钮和电话号码。

湿度控制是集成电路无尘车间的核心技术指标，与集成电路无尘车间的生产质量有关，与集成电路无尘车间的生活有关。目前，集成电路无尘车间在湿度控制中，更常用的是工业加湿器，以实现对湿度的智能控制。例如，高压微雾加湿器。干雾加湿器将根据不同电子工厂的湿度要求，提供简单有效的解决方案，实现快速加湿和静电去除。同时，工业加湿器具有四个特点：一是智能控制，简单方便。第二，雾化颗粒小，加湿快，蒸发快，不会弄湿设备。员工。第三，它配备了一个缺水和断电的保护装置。第四，可以是手动的。自动的。远程操作，也可以通过时间。湿度。红外线等控制。工业加湿器已经为全国许多电子工厂提供了良好的加湿和静电去除服务，实现了对集成电路无尘车间湿度的有效控制。

安装和使用无尘车间加湿器的注意事项：

1.输水管道应选用耐高压管道，禁止使用普通管道，不能承受高压。

2.设备的安装首先要确定型号、数量、安装位置、管道方向。

3.安装时要注意离车间顶部0.5米，离地面也要有2.5米左右，可以提高喷雾效果。

4.喷嘴周围没有阻挡喷雾的障碍物。

5.管道设备在安装过程中，避免漏水，影响喷雾。

6.喷嘴安装间隔一般为1米。

7.确定过滤装置。软水装置安装正确，使用正常。

四.万级集成电路无尘车间费用报价清单

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