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半导体无尘室设计标准

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无尘室通风的设计

1、无尘室空调通风系统带走无尘室的余热、 余湿, 或补给车间所需的热量、 湿量, 来维厂无尘室的设计温度、 湿度。 这一点和其它空调系统是一致的, 也是主要任务之一。
2、无尘室空调通风系统保证供给无尘室足量的洁净空气的稀释、排除车间在生产过程中,由于人员和工艺所污染的空气, 使车间的含尘、 菌浓度达到所规定的洁净等级。
3、无尘室空调通风系统补给足量的净化空气稀释车间的有害物浓度,如工艺过程中散发的易燃、 易爆有机溶剂和有害气体,以确保车间空气中的有害物浓度低于相关标准所规定的最高容许浓度。
4、无尘室空调通风系统供给无尘室充足的室外新鲜空气, 使车间的空气品质, 符合人们正常工作所需的卫生标准。
5、无尘室空调通风系统根据工艺要求, 通过送、 回、 排风量的不同匹配, 以维持车间相对于室外或邻室, 或走道一定的正压值或负压值。 以控制相邻空间气流或污染物的流向。
6、采取相应的隔离、 局部排风等措施, 防止工艺产生的粉尘、 大量余热、 余湿等有害物在车间扩散。
7、设置必要的分离、 收集装置, 既防止由无尘室排出去的有害物质污染大气, 又可回收部分排风带走的可利用药尘。

无尘室空调系统的设计

无尘室洁净空调系统设计根据无尘室面积、净化等级及无尘室需求确定。
 洁净空调系统工作流程:室外新风经过初效过滤器过滤后,与无尘室回风混合,再经冷却、除湿、加热、加湿后通过送风机将处理过的空气经中效和高效过滤送入无尘室,完成空气热湿处理和过滤循环,使无尘室保持设计的温湿度和洁净度。组合式空调机组一般包括新回风混合段初效、加热、表面冷却、加湿、风机、消声、中效过滤、出风等功能段。空气经组合空调机组处理后送入室内,室内气流组织采用顶送下侧回/排的送、回、排风方式。无尘室主要是通过洁净空调的循环来过滤空气中的尘埃,实现对空气中粒子的控制,达到洁净度等级,因此需要足够的风量循环来保证室内洁净度。根据《无尘室设计规范》和《医药工业空调系统设计规范》规定D级洁净区的换气次数设计为不小于15次/h,对于局部爆炸危险区换气次数为25次/h。

 

无尘室净化系统设计

无尘室室内气流倒灌,为防止室外气流倒灌。防止无尘室的净化空调系统停止运行时,室外空气倒灌流入室内,引起污染和沉积。工程中常用的防倒灌措施是:
  ①采用设置中效过滤器,这种方式结构简单、维护方便;
  ②采用止回阀,使用方便,但密闭性较差;
  ③采用密闭阀,密闭性好,但结构复杂,管理不便;
  ④采用自控装置。
  2 含有易燃、易爆局部排风系统的防火防爆。
  3 排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时,应进行无害化处理。
  4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统,应设坡度及排放口。无尘室内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间,应采取通风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。

光电子技术 有机化学实验室的等级标准
百级光电子无尘厂房 百级电子无尘车间
无尘厂房设计规范 无尘厂房设计要求
百级光电子无尘室立柱 光电子无尘厂房生产情况
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武汉得创净化工程有限公司创立于2020年,总公司坐落于湖北省武汉市江岸区,从业领域13年。在食品类、生物技术、电子芯片、光学电子光学、仪器仪表、试验室等领域设计施工中有着丰富多彩的工作经验,大家有着专业团队,效率高,优质量。企业一直秉持“诚实守信、高品质、高效率、自主创新”的核心理念;从设计方案、整体规划、工程项目物资采购到各个工程施工组装阶段均有严格要求的操作流程和标准,力求精雕细琢,使工程项目在合乎用户需要的基本上减低新项目中后期应用成本费,提升应用高效率,为咱们的用户产生经济效益更大化,进而做到互利共赢。经营范围:无尘室清洁车间空气过滤、恒温恒湿设备车间、家用中央空调、冷库保温库、环氧地坪漆等工程项目,为客户给予设计规划、基本建设工程施工、售后维修服务一体化的服务程序。武汉得创净化工程有限公司坚持不懈客户至上,以诚挚稳定的工作态度、高品质有效的工作责任心,力求为您打造出良好的生产制造与试验自然环境,希望与您协作。

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