ISO Class 1 级无尘室是洁净室中等级最高的类型,对空气质量和粒子浓度有极其严格的要求。为了达到这一水平,需要采取一系列先进技术和措施。
ISO Class 1 级无尘室的空气中允许的粒子浓度极低。根据 ISO 14644-1(国际标准化组织)标准,ISO Class 1 级无尘室的粒子浓度应小于或等于以下水平:
* 0.1 微米粒子:< 10 个/立方英尺
* 0.2 微米粒子:< 4 个/立方英尺
* 0.5 微米粒子:< 1 个/立方英尺
* 5.0 微米粒子:< 0.1 个/立方英尺
洁净室的空气洁净度等级(ISO 等级)基于每立方米空气中 0.1 微米至 0.5 微米粒子数量的计算公式:
* ISO 等级 = -log(粒子数量/立方米)
ISO Class 1 级无尘室的 ISO 等级为 9。这表示每立方米空气中 0.1 微米至 0.5 微米粒子数量为 10^-9 个。
为了维持 ISO Class 1 级无尘室的空气洁净度,需要保持高空气交换率。这可以防止粒子在空气中积聚。根据洁净室设计标准,ISO Class 1 级无尘室的空气交换率通常为 20-30 次/小时。
ISO Class 1 级无尘室使用高效空气过滤器(HEPA 过滤器)和超低渗透空气过滤器(ULPA 过滤器)去除空气中的粒子。这些过滤器具有 99.99% 以上的过滤效率,可以去除 99.999% 以上的 0.1 微米和 0.3 微米的粒子。
ISO Class 1 级无尘室通常使用正压梯度,这意味着与周围区域相比,洁净室内的气压较高。这种压力梯度可以防止未过滤的空气进入洁净室,并有助于保持洁净度。
ISO Class 1 级无尘室是洁净度等级最高的洁净室类型,具有极其严格的空气质量和粒子浓度要求。通过实施严格的控制措施,包括低粒子浓度、高空气交换率和先进的过滤系统,ISO Class 1 级无尘室可提供高度受控的无尘环境,适用于关键行业,如半导体制造、制药和医疗。