用户在向供应商开放无尘室时,有以下提示。
一是等级定义模式如下:
(atyμm)
X是无尘室的等级,如100或10000等,Y是0.2μm、0.5μm等粒径,可重新选择。这意味着用户规定无尘室的颗粒含量必须在这些粒径中达到该等级的限制。这可以减少争端,以下是几个例子:
Clas1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)
Class100(0.2μm,0.5μm)
Class1002μm,0.5μm)
在Classes100(M3.5)andGreater(Class100,1000,10000...),一般看一个粒径。在Classeslessthan100(M3.5)(Class10,1..),一般要看多少粒径。
Classx(atyμm),At-rest。
供应商很清楚,无尘室应在At-rest状态下进行验收。
第三个技巧是自定义颗粒浓度上限。一般来说,As-built时,无尘室非常干净,颗粒控制能力测试不容易。此时,可以简单降低验收上限,如:
Class1000(0.3μm=10000),As-built。
Class1000(0.5μm=1000),As-built。
这样做的目的是保证无尘室在Operational状态下,仍有足够的颗粒控制能力。
以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义,以及ISO-14644的等级定义。
Fed-Std-209E洁净度定义。
ISO-14644洁净度定义。
对比以上两表,我们可以看到。
虽然209E的公制和英制有两套标准可以互换,但一眼就很难看出它们的相关性。两个系统放在同一张桌子上,徒然造成混淆。
在两个表中,0.5mm几乎出现在每个等级定义中,表示粒径0.5mm的粒子非常有代表性。
在洁净度分类上,ISO-14644的范围比209E更广,无论是高洁净度还是低洁净度。