洁净室的气流组织必须保证上述三个功能，洁净室的主要功能是:

1.防止灰尘发生，
2.防止灰尘进入，
3.有效地排出现有的灰尘.

从气流组织来看，洁净室的气流组织分为三类:
 

一、乱流洁净室，包括过滤器(或过滤器单元)顶部送货.

带扩散风口过滤器顶部送货.

局部孔板顶部送货.

局部阻尼层顶部送货.

双壁回风顶部送货.风口侧送.风口斜送.散流器顶部送货.

扩散感应风口顶部送货.

二、层流(平行流)洁净室，隧道式，一侧回归.，双侧回归.

1.水平层流动.双层壁双侧回归.，上回归.，中间回归.，一字串联.往复串联.三、局部层流洁净室，局部层流(垂直式、水平式)，
2.乱流加洁净工作台式，
3.乱流加局部层流式，
4.工作台隧道式，
5.隧道洁净室式，
6.洁净管道式，
 

三、乱流式气流组织特点，

1.乱流式气流组织依靠气流混合稀释作用，逐渐排出室内尘粒，达到平衡.
2.由于气流混乱，室内发生的灰尘粒子可以稍微扩散，浓度分布迅速均匀，同时通风次数增加到极限时，室内灰尘浓度不会明显下降，可以达到的空气洁净度水平有极限，约在1000级以下.当灰尘量少时，也可能达到更高的水平，但难以维持.

四、设计要点，

1、保持正压，
①加压空气量，洁净室内加压空气量主要决定泄漏风量，通风次数表示加压风量，参考表7—1，概算时通风次数为2~3次.、加压所需换气次数、

②加压控制、加压程度考虑围护结构强度、开门是否方便等因素，一般控制和室压差为5-20Pa(0.5-20Pa).的双曲馀弦值.

2、局部灰尘控制，由于混乱洁净室内气流混乱，灰尘粒子可以扩散到室内任何地方.如果局部场所有灰尘，如果不控制灰尘场所，会影响整个房间.

即使增加通风次数，效果也不明显，最好的方法是从局部气流组织的处理中着眼于局部灰尘设备的围栏和局部排气.如果生有毒有害气体的情况下，除了控制气流组织外，还处理排气，满足环境保护要求后排出室外.

另一方面，层流气流组织的特征是层流气流是主方向的气流，几乎没有横向间的混合和干扰，在整个洁净室中，层流气流成为活塞，可以迅速排除室内污染空气.因为是层流，污染从灰尘到排出，基本上是沿着气流的方向进行的，稀释少，发生污染的话，下风侧的污染可能性比混流气流大得多.

五、设计时应注意的问题

1.防止过滤器泄漏，如果过滤器发生泄漏，就会降低层流气流组织的优点，为了避免泄漏，必须对过滤器的框架采取防止泄漏的措施，洁净室的等级越高越要注意.

2.确保室内送风气流的均匀性，
①提高室内送风过滤器的满布率，
②提高送风速度的均匀性，送风速度不均匀的原因是过滤器阻力不均匀的静压箱内压力不均匀的静压箱送风管道内的风速过大.

由于以上原因，送风速度和阻力不均匀，相应地区的风量不同，风速也不同，破坏气流的平行性，引导现象也发生.

为了克服上述送风速度的不均匀现象，
a、严格选择高效过滤器，使各阻力在±10Pa以内不同，
b、过滤器下设置阻尼层，甚至设置阻力不均匀的阻尼层，
c、加大静压箱的高度，一般希望在800mm以上的d、集中管道

③提高回风速度的均匀性，回风速度不均匀的原因是a、地面回风沟出口风速过大，
b、回风隔板阻力过小，
c、集中回风

3.消除感应现象，感应现象是指与层流流动方向不同的气流，将室内发生的灰尘和附近污染区的灰尘感应到上风侧的现象引导的原因和消除方法
①过滤器和墙壁之间的死角是引导的原因之一，为了避免引导现象，该死角的宽度必须控制在100mm左右.

②层流与乱流洁净室之间的隔墙和天花板没有完全关闭，留下间隙和通道，由于层流的洁净室风速大，可以引导从乱流洁净室向层流洁净室.

③乱流洁净室的部分和层流洁净室的部分没有间隔时，如洁净隧道，在接口附近口附近引导，气流紊乱，灰尘浓度上升.

④相应消除诱导的方法是设置围栏，增加缓冲层和空气幕.
 

层流(平行流)洁净室	FFU送风系统
送风气流	乱流式气流