无尘室测试规范
　
有关无尘室界说、制作、控制、治理等等的国际尺度，在网络上用?contamination control?征采，可以找到许多相关数据。无尘室的界说，最早是在美国联邦尺度209上泛起，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益生长，各国的版本也逐渐泛起。到了90年月后期，产业界体认到若是无配合尺度，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的发生。以下说明无尘室的种种尺度与规范。

1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦尺度209E，209的出书刊行，是在1960年月，之后不停改版以因应科技提高与工业生长，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。然则在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出知足公制计数法的新机型，然则要等旧机械完全镌汰，生怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。

2.SO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行所有使用公制的国际尺度ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了品级界说、测试与监视的规范、测试的程序方式、设计与制作、操作、以及其它的有关装备等，局限很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。
3.JIS B9920 (1989)：日本的洁净尺度，划定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的品级界说。
4.VDI 2083 (1993)：德国的洁净尺度，划定洁净度品级的界说方式，以及洁净度的量测手艺。
5.Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净尺度，界说无尘室的分类与一样平常需求。
　
以上是无尘室品级划定，与洁净器量测的相关尺度。另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震惊噪音等〉，也有一些主要的测试规范，由于这些环境影响因素，都包罗在无尘室性能测试的局限之内。
1.IEST-RP-CC-006.2：这本著名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包罗了风速风量、滤网泄露、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经急流勇退，逐渐消逝了。

2.NEBB 无尘室测试规范第二版：这是现在最广为盛行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖局限差不多，然则测试程序更为清晰严谨，仪器使用也有详细划定。因此 NEBB 无尘室测试规范的泛起，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范乐成的成为产业尺度。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。

3.ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室内里生物污染的控制，现在都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都纷歧样。以上所列无尘室界说与无尘室测试规范，虽然以可知足大部份厂商的需求，然则严酷来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在制订测试规格时，应遵照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单元照办，需要时可以酌情修改测试尺度，才气真正知足自己的需求。