IEST-RP-CC006.3：洁净室的测试

测试洁净室和洁净区域的主要目的是确定它们的操作性能。现有的“IEST RP-CC006.3：洁净室的测试”，提供了一套经由磨练而且是尺度化的测试程序，它可以确定洁净室和洁净区域的性能。测试程序共分为两类：开端测试和中级测试。开端测试与洁净室空气流传微粒的洁净度分类或者验证有着亲热的关系，测试内容包罗下列部门：气流量、速率和平均度测试；HEPA和ULPA过滤器安装测试；空气流传微粒盘算测试；室内加压测试。中级测试包罗与洁净室或者洁净区域有关的其他特征，指定的验收局限由以下内容组成：可视化气流特征测试；光照度和光照平均度测试；噪声级测试；温度和湿度的平均的测试；振动测试。我们可能需要在一个或者多个操作状态下，即空态，静态或者操作状态。
 
举行性能测试。在这个文献中并没有对测试的顺序做出明确的划定，然而，在通常情形下，最好是以首选的顺序来执行某些测试。例如，对于单向性洁净室而言，建议接纳以下顺序：气流量或者气流速率测试（6.1部门）；可视化气流特征测试（6.5部门）；室内加压测试（6.4部门） 

推荐做法（RP）有望辅助设计职员、设计职员、制造商和用户，准备洁净室测试的详尽的手艺规范，保证洁净室运行相符要求。凭证协议划定，用户将针对自己的洁净室选择适当的测试，并制订使用洁净室所必须的验收局限。推荐做法还可能用来为专用洁净室编写内部测试程序。 

推荐做法还针对种种测试方式推荐了响应的测试装备。若是洁净室的类型（即单向性洁净室或非单向洁净室）影响了测试的方式，那么，这时就可以接纳替换的测试程序。对于一些测试程序来说，可以有两种以上的测试方式或者测试装备，因此，它们能够知足最终用户所关注的问题的要求。在使用替换的方式时，最终用户应该知道，通过差其余方式所得出的效果可能并纷歧致。 

在通常情形下，推荐做法没有提供相关的验收局限，而只是提供了用来确定适当界线的尺度术语。此外，推荐做法没有完全包罗所有可以用来形貌洁净室操作参数特征的测试，例如，粒子沉淀速率，空气分子污染物，微生物，静电放电（ESD），回复测试和污染泄露测试，以及其他未提及的测试。 

基本测试 
气流量、速率和平均度测试。这些测试决议了单向性洁净室和洁净区域的气流速率和平均度，以及洁净室的送风量的流动速率和送风量的平均度。测试通常要么对气流速率有要求，要么对气流量有要求，而且可以从平均速率、平均流量或者总流量中得出结论。凭证总流量，可以确定空气的换气次数。 

HEPA的ULPA过滤器的安装泄露测试。这些测试可以用来确定HEPA或者ULPA过滤器系统的完整性。这个测试通过在HEPA或者ULPA过滤器的上游引入测试用气溶胶，同时，在过滤器的下游，包罗从过滤器到边框密封，执行完整性扫描测试来实现。这个推荐做法参考了“IEST-RP-CC034：HEPA和ULPA过滤器泄露测试”，它详细地形貌了这部门的测试。 

悬浮微粒盘算测试。这个测试能够确定处于完全的空态、静态或者操作状态下的洁净室是否相符“ISO 14644-1:1999”对特定空气洁净度的仔细分类。在通常情形下，它指的是在ISO尺度中所纪录的测试方式。 

室内加压测试。这个测试用来验证洁净室与周围环境之间能否保持指定的静压差的能力，包罗上方和下方与洁净室相邻的空间。一样平常说来，洁净室会有一个正压，然而，对于某些需要防止泄露的应用而言，包罗毒性、生物或者放射性子料的应用，必须划定具有负压。 

中级测试 
可视化气流特征测试。这个测试的目的在于可视化地形貌整个事情区域内多个位置和相邻的地方主要的气流偏向（流动矢量）。这个试验证洁净室控制气流的流传能力，以此确定空气污染的泉源。这里共提供了两种测试方式：流线测试和气溶胶散布测试。 

光照度和光照平均度测试。这个测试的目的在于验证在洁净室里的光照度和光照平均度是否相符指定的要求。 
噪声级测试。这个测试的目的在于丈量由洁净室的机械系统和电子系统以及由相近的外部区域所发生的声压级，验证他们是否相符最终用户的要求。 

温度和湿度的平均度测试。这些测试的目的是用来确定空气调治器能否使温度和湿度（显示为相对湿度或者露点）在最终用户指定的时间段内保持在划定的局限内。这些测试方式分为两个级别，即通例测试和周全测试。周全测试需要对洁净室举行剖析，确定平均度，而通例测试只需要在每个温度控制区域内设置一个测试位置即可。 
振动测试。这个测试的目的在于确定洁净室结构的振动级别以及它的组成，以验证洁净室能否相符最终用户的要求。这个推荐做法有一个通例的测试程序，而且参考了“IEST-RP-CC024：微电子工厂的振动丈量与讲述”，那里有更详细的测试要求。 

当前在文献方面的事情 
006事情组对IEST-RP-CC006.3举行评估，以确定这个文献在哪些地方需要举行修订。效果是，该事情组现在正在讨论以下议题：回复速率测试；气流的可视化；外面的传导性测试；以及在举行气流量、速率和平均度测试和室内加压测试时，测试仪器的准确度与测试项目的关系。 

竣事语 
“ISO 14644 洁净室与相关控制环境（第三部门）：测试方式”作为现行的国际尺度草案（FDIS），涵盖了现在IEST-RP-CC006.3里叙述的大量的测试方式。这个国际尺度草案还引用了源自IEST-RP-CC006.3和IEST-RP-CC034.2文献里的许多附加质料。ISO 14644-3有望于2005年底之前成为正式的尺度。 http://www.whdcjh.com/

作者简介 
Robert L. Mielke是Abbott实验室的首席测试工程师，该实验室总部设于美国伊利诺斯州北芝加哥――他是环境科学与手艺协会（IEST）的委员。Mielke担任IEST尺度与实务主席这个职务已有八年了，而且，划分在1995年至1997年和1999年至2001年两次被任命为“污染控制”的手艺副主席。他在保证IEST和美国的ISO/TC 209秘书处的正常运作方面起到异常要害的作用，而且，将继续担任该机构的认真人。Mielke现在是IEST 006事情组的主席。 

洁净室测试尺度的生长 

自上世纪六十年月起，洁净室测试学科已经成为尺度和推荐做法的功效的焦点。叙述洁净室测试的最早的尺度之一，是出书于1963年的美国联邦尺度209 （FED-STD-209），它有一个非强制性的弥补指导附录部门，专门针对洁净室的测试。这个尺度的修订版A和修订版B在附录中也包罗了洁净室的测试。对于若何举行洁净室的测试，另有许多私营企业或者公司的特定的程序。第一个在美国泛起的涵盖了洁净室测试的推荐做法，是美国污染控制协会（A2C2）命名为“洁净室”的CS-6文献，它出书于1970年。随着美国污染控制协齐集并到随后确立的环境科学协会（IES）中，这些文献也就成为IES的组成部门。 
环境科学与手艺协会（IEST）的污染控制部门，就是该协会早在1982年最先为编写推荐做法而确立的事情组（WG）。其中，最早确立的事情组之一是WG-CC006――洁净室测试。自该事情组确立至今，共刊印了三个文献，即1984年出书的IES-RP-CC-006-84T，1997年出书的IEST-RP-CC006.2和2004年出书的IEST RP-CC006.3。 
ISO手艺协会209 （ISO/TC 209）自1992年确立之日起，就已决议要逐渐形成一个包罗洁净室测试的文献。效果是，1993年在ISO/TC 209内确立了事情组3，因此也就有了ISO 14644-3。