无尘车间的测试及验收尺度

控制无尘车间空气参数的目的―检查无尘车间是否相符给定的洁净度级别。无论是在投产调试事情完成后的无尘车间检测阶段，照样无尘车间使用阶段都要完成空气参数的控制事情。在种种尺度和建议中都详细地制订了和提出了无尘车间空气参数的测试和控制方式。至今这些方式已成为宽大科技界的配合财富。

在无尘车间内，按其用途的差异应控制下列参数：

1、测试状态简直定

2、空气中粒子的浓度

3、气流的风速和单向性（对单向气流而言）

4、风量和换气次数

5、最终过滤器的整体性

6、空气温度和湿度

7、无尘车间的密闭性

8、无尘车间外面的洁净度

测试状态简直定：凭证设计要求，一样平常无尘车间都是对无尘车间内的空气举行静态检测，一样平常不做动态检测，如需动态检测，需要制订或参照其他尺度。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

无尘车间和洁净区均按一项指标划分级别―一定粒径粒子的最大允许浓度（每1m3空气中的粒子数）。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方式均按下表中的划定确定，凭证该尺度的划定，无尘车间的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。

在确定现实无尘车间的洁净度级别时，应对粒径≥阀值的粒子举行统计，下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度

ISON级	粒子最大允许浓度Cn颗m3，粒径≥下列值，微米
	0.1	0.2	0.3	0.5	1.0	5.0
ISO 1级	10	2	-	-	-	-
ISO 2级	100	24	10	4	-	-
ISO 3级	1000	237	102	35	8	-
ISO 4级	10000	2370	1020	352	83	-
ISO 5级	100000	23700	10200	3520	832	29
ISO 6级	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO 7级	-			352000	83200	2930
ISO 8级	-			3520000	832000	29300
ISO 9级	-			35200000	8320000	293000
备注：浓度值Cn应四舍五入，小数点后保留三位，在现真相形下粒子浓度的现实误差是存在的，求不出精度很高的浓度。

洁净度级别示意实例

ISO 4级；静态；给定粒径0.5微米（352粒子/m3）。

ISO 5级；静态；给定粒径0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。

因此，在测试详细的无尘车间的响应洁净度级别时，不需要检测如上表所示的该级其余所有粒子粒径。而只要检测为该种无尘车间给定的粒子粒径。

测定洁净度级其余方式

在检测无尘车间的洁净度级别时，应测定无尘车间内1点或数点的悬浮粒子浓度（即取样点的粒子浓度）。

因此必须知足下列要求

1）确认无尘车间的状态与给定的相符；

2）确定给定粒径，无尘车间取样点的数目和位置；

3）确定每一取样点的取样数目；

4）确定对每一种给定粒径在每1取样点上，每1次取样的取样量和取样时间；

5）取样之后应对每一种给定粒径的粒子举行响应统计；

6）将取样数据填入按种种给定粒径统计的粒子统计纪录表内（适于接纳无盘算机软件的粒子计数器的场所下）；

7）整理取得的数据；

8）对效果举行剖析；

9）整理方案确定级别应相符上表要求。

气流的检测

在无尘车间中的气流：

气流风速（通常是控制单向气流的风速）

气流平均性（单向气流风速稳固性）并目视检查气流。

空气（单向气流）的风速和风量

空气单向气流的风速是在垂直于气流偏向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。

测试点的数目应大于被测外面面积的平方根，但不得小于3，应在每一个设定的网格中举行丈量，丈量点应平均地漫衍在平面上。

应在距离过滤器外面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的平均性时，应在距离过滤器外面300mm以上处测试风速。

每1点的丈量时间不得少于10秒。而且要确定平均值，最大和最小值。

气流的平均性

凭证在垂直于空气运动偏向的平面上各点的风速测试数据，评价单向气流的平均性，建议该平面应距离过滤器外面（风口）300毫米以上。

平面上各点处的风速相差不得跨越20%-30%。

磨练过滤器的整体性

最终过滤器（HEPA，ULPA过滤器）是无尘车间的主要部门。这些过滤器安设在无尘车间的吊顶和墙上，装在装备和风管内。应举行泄露检查，以控制过滤器的整体性，过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏，会跨越ГOCTP5125-99。(原文链接：http://www.whdcjh.com/a-178/)

制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验，附过滤器检测讲述，现场不做检漏。

温度的检测

在无尘车间内接纳两种方式控制温度：

一样平常控制

特殊控制

（一样平常控制）在透风空调系统投产-调试时，以及在无尘车间检测的各个阶段和使用阶段均要举行温度的一样平常控制。

划定事情席事情区高度处的温度，以及需要时，其他事情点的温度都要加以控制。

在1小时或更多一些的时间内应周期性的延续测试6分钟。

相对湿度的控制

待透风空调系统事情稳固后，相对湿度的控制可与温度的丈量同时举行。

至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点举行相对湿度的丈量，为了使传感器连续稳固，丈量的连续时间不得少于6分钟。

洁净实验室手艺指标

序号	房间名称	面积	洁净度	对外 压差	温度	湿度	照度	新风		排风
		M2	级	Pa	℃	%RH	Lux	%
1	万级判定室1	23	7（万）	20	20-26	40-70	300	30		无
2	万级判定室2	16	7（万）	20	20-26	40-70	300	30		无
3	万级判定室3	10.3	7（万）	20	20-26	40-70	300	30		无
4	缓冲间	6	7（万）	15	20-26	40-70	200	30		无
5	准备间	2.6	无	0	20-26	40-70	200	30		无
（2）百级、千级实验室
1	百级实验室2	15.00	5（百）	20	20-26	40-70	300	30	无
2	百级实验室1	6.10	5（百）	20	20-26	40-70	300	30	无
3	千级实验室2	18.20	6（千）	15	20-26	40-70	300	30	无
4	千级实验室1	15.70	6（千）	15	20-26	40-70	300	30	无
5	千级洁净 走  廊	11.40	6（千）	10	20-26	40-70	250	30	无
6	千级洁净 准备间		7（万）	10	20-26	40-70	250	30	无
6	换衣间	10.40	7（万）	10	20-26		200	30	无

花样1（式样）

纪录书

     工段，       无尘车间取样                                            

取样时期                                                                  

房间状态                                                                  

（空态、静态、动态）

给定洁净度级别                                                            

给定阀径粒径，微米                                                        

粒子的最大允许浓度，粒子/m3                                               

取样量，升                                                                

取样时间，分钟                                                            

取样点数目r                                                               

每1取样点上的取样次数，P                                                 

粒子计数器      

                                                          

取样点位置示意图

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取样点编号	1m3空气中的粒子数或浓度，其粒径为
	≥0.5	≥5.0
1
2
3
4
5

取样者                                                                      

                （签字）                    （姓，名或父名的第1个字母）