净化工程无尘室各项目检测方式汇总

高校过滤器检漏

一、说明
高效过滤器的泄露测试应当是无尘室测试中，最庞大、最耗时间的丈量项目。泄露测试的目的，是要确认：

1.滤网的质料无破损.

2.安装适当。滤网出厂前固然要经由泄露测试，然则在搬运与安装历程难保完全无损，而且滤网的主要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄露。另外，若是安装不适当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是FFU系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后依旧会发生问题。因此，边框扫描一样主要。 滤网泄露测试基本上是行使滤网上游的颗粒，然后在滤网下外面与边框用微粒探测仪器征采有无泄露。泄露测试有几种差其余方式，适用在差其余场所。

测试方式有：1.气胶光度计测试法，2.微粒计数器测试法，3.全效率测试法，4.外气测试法。后两种现在使用异常少。

二、方式
1111.气溶胶光度计测试法
111气胶光度计测试法是最早期的测试方式，然则由于效果异常好，到今天依旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，然则它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以发生次微米品级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
1112.微粒计数器测试法
111半导体业方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，然则随着制造周详度增添，油性挑战微粒逐渐不允许在无尘室使用，因此泛起使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄露，基本看法完全相同。经由科学家一步步研究效果，发现PSL由于微粒的粒径与浓度可以控制，因此是现在最广为使用的尺度微粒。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可

 

PAO/DOP过滤器检漏

一.说明
 1气胶光度计测试法是最早期的测试方式，然则由于效果异常好，到今天依旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，然则它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以发生次微米品级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。
 1泄露的界说是泄露出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网异常利便。也正因其准确、可靠，美国食物与药品管制局（FDA）划定，在其统领局限内（食物加工厂所与医疗制药场所），所有的滤网泄露测试必须使用DOP与气胶光度计。近年理由于人们嫌疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特征类似，使用上无多大差异。

二.测试仪器
 1本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒发生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年必须校正一次。微粒发生器有两种，一种是通俗的微粒发生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒发生器，要高压空气和电源，微粒发生器不需要校正。 

三.测试方式 
1111滤网泄露测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄露、替换或修补、重测，其步骤说明如下
1111.在图面上纪录滤网数目并编号。
1112.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必须调整平衡完毕。
1113.使用气胶发生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是约莫每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄露，然则跨越50微克以后差异不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量大略盘算，再用气胶光度计确认。
1114.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网外面扫描，寻找泄露，需要时滤网周围可用塑料帘笼罩以确保测试之准确
1115.在滤网外面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.

 

洁净度测试

一、说明
1111洁净度测试是无尘室性能测试的焦点，气流测试、压力测试，与泄露测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。

二、测试仪器
1111洁净度测试使用微粒计数器，仪器须经校正及格且仍在有用限期内，交附讲述时须附及格之校正文件。微粒计数器有差异规格，最常见的是流量1cfm，最小粒径可测到0.3mm或是0.1mm，单元多是立方英?。至于应使用何种装备，要依业主的规范而定。一样平常在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。
1111Class 1000或更高：0.5μm  
  11Class 100：0.3μm，0.5um
  11Class 1到Class 10：0.1μm
若是业主要求的粒径局限跨越单一微粒计数器的局限，则应该使用两部微粒计数器。现在市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以ISO为基准，则要把效果作换算。单元换算，不影响上限的盘算程序。 

三、测试步骤： 
1111(1)确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄露测试均已完成，并已修换破损部门。
1111(2)确认测试位置与测试点数。
1111(3)取样时间：每点的取样时间遵照品级与粒径差异而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。
111(4)测试位置应平均漫衍在无尘室内，阻止在发生大量粒子之周围，且将检测仪器以适当之架台支持，不能以手持支持。
111(5)丈量点数以公式盘算（与209E相同）。

四、验收尺度：
1111洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒丈量平均值必须低于划定值。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信托度上限剖析，则该剖析值也必须小于划定值。  

 

风速及平衡性测试

一、测试目的
1111气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速丈量，都是放在无尘室测试的第一步。风速丈量的目的，是确认滤网送出的气流知足设计规范，其次是确认气流的平均度。在某些场所可能因现场的限制，室内换宇量还必须用风速乘以出口面积来换算。
1111单一流向型无尘室，许多都是设计成垂直层流，因此风速平均度异常主要，只有平均的垂直层流，才气有用清扫微粒污染。非单一流向型无尘室，由于微粒控制的看法是稀释，不是立刻清扫，一样平常而言其换宇量远比风速主要。然则需注明是滤网风速丈量或是无尘室室内风速丈量。

二、 使用仪器
1111无尘室内里使用的HEPA/ULPA滤网，其送出气流的速率多数都控制在0.5m/s以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速丈量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如Shortridge Velgrid 16点风速计。轮叶式风速计因使用局限差异，通常不在无尘室内使用。热线式风速计（Hot Wire）虽然高频响应优越，然则低速时 〈0.5m/s以下〉 准确性很低，因此不很适用，一样平常热反映风速计常用的是Thermeister式风速计。转轮式风速计由于自己重量问题，也不适用低速。磨练仪器须经校正及格，且仍在有用限期内。

三、 测试步骤
111(1)在图面上纪录滤网尺寸、数目并编号。(2)取样点位于滤网下方75-150mm处。(3)每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每1平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每4平方英尺取一点。(4)每丈量点必须取5秒的平均。(5)依验收尺度剖析所有风速，盘算平均值、尺度差、相对尺度差，并标明不及格测试点。(6)纪录所有原始数值，以及剖析后的数值。主要的是在非单一流向型无尘室测试时，稀奇注重取样时风速计不能受到滋扰，以免影响准确度。

四、数据剖析
1111风速丈量很简朴，然则平均度必须由数据剖析来判断。平均度是由相对尺度差来代表，其盘算步骤如下。
11111.平均值：2.尺度差  

 

风量及平衡性测试

一、说明
1111风量丈量的目的通常是用来盘算换宇量，一样平常是在非单一流向型无尘室，或是丈量空调系统中林林总总的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法使用气罩的场所（气罩体积较大，有时会受限制），才气使用风速乘以面积即是风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算风量时，须注重出风口之有用面积以及修正系数的取得。在回风口和排气口，使用换算法的准确度异常差，应只管阻止。同样气罩通常可以丈量送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注重的是反向丈量时，其丈量局限通常会降低。 

二、测试仪器
1111风量丈量应当使用气罩（Flow Measuring Hood），气罩的丈量局限是15~2500 cfm，准确度要求为读数的±3%。由于气罩自己会发生压损，因此其形状很主要，应只管使用原厂气罩。若有需要自行制造罩子，应注重气流顺畅而且做详细比对。气罩的校正异常主要，必须主机连同罩子一起校正，才气获得准确校正值。磨练时必须使用校正及格且仍在有用限期的仪器，于正式检测前及缴交讲述时均须检附及格之校正文件。

三、测试步骤：
  11(1)在图面上纪录滤网尺寸、数目并编号。(2)使用适当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后丈量与计录。(3)依验收尺度剖析所有风量，盘算平均值、尺度差、相对尺度差，并标明不及格测试点。(4)纪录所有原始数值，以及剖析后的数值。 

四、 数据剖析：
1111风量平均度的盘算与风速向同，都是由相对尺度差来代表，其盘算步骤如下。 
1111.平均值：将所有风丈量量值取算数平均   2.尺度差：盘算所有风丈量量值的尺度差

 

压差测试

一、说明
1111压力丈量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个common sense，在209的旧版本中，正压有建议值，然则厥后就作废了。现在常见的正压值约是10到25 Pascal之间。压力丈量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试竣事之后立刻丈量，尤其不能在洁净度丈量完毕之后才丈量压力。由于若是压力纰谬，要马上调整以免影响洁净度。丈量时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。

二、测试仪器
111压力丈量可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要丈量局限与准确度知足要求即可。压力计之准确度要求为读数的±5%，丈量局限式压力设计值而定，一样平常0~5mm Aq（0?50 Pascal）即可涵盖室内外压力差之丈量。仪器需经校正及格且仍在有用限期内之才可以使用，检测前及交附讲述时均须检附及格之校正文件。 

三、测试步骤
1111.必须在风速、风量、气流等测试完成后，才气测试压力，而且排气与MAU要完全正常运转。
1112.所有门与启齿都要关闭。室外大气压力假设为0.0mmAq表压力。
1113.测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再丈量房间与Gowning room之间压差，最后丈量Gowning room与外部之压差。
1114.建议压差值为5~12Pa，并无强制划定。
1115.纪录所有数值。  

 

温湿度检测

一、说明
111温湿度丈量的目的是确认室内之温湿度控制在局限之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（Level 3）。然则因无尘室多数同时也是环控室，以是温湿度经常就一并丈量了。温湿度丈量又分为一样平常丈量和进阶丈量（General Tests and Comprehensive Tests），一样平常丈量只是丈量温湿度在丈量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶丈量就要纪录在丈量点一段长时间的温湿度，目的是要考察温湿度随时间的转变情形，以确认湿度在控制之下。进阶丈量适用在对温湿度要求对照高的场所。

二、测试仪器：
111常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一样平常丈量和进阶丈量使用仪器的精度相同，温度丈量局限是0-100 ℃，准确是±0.2 ℃。湿度丈量局限是10? 到95? ，准确度是±2? 。一样平常丈量要求温度之显示值可显示0.1 ℃的转变，湿度的显示值可显示1? 的转变。进阶丈量则要求温度之显示值可显示0.05 ℃的转变，湿的显示值可显示0.1? 的转变。检测仪器需校正及格且仍在有用限期内者，于测试前或交附讲述时均须检附及格之校正文件。

三、测试程序：
1111.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其到达设计要求，为温湿控制提供准确的运转环境，因此系统要先平衡才气测试。
1112.依据平面图，列出种种温湿度要求区域，并使系统到达正常运转状态，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。
1113.测试点数为每个房间至少量一点，而且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个Dry Coil的控制局限要量一点，丈量高度为(高架)地板上1.00m。
1114.将温湿度传感器放置统一位置，待稳固后最先纪录。

 

光照度测试

一、测前准备
洁净室所有开孔皆需封锁气密处置完成
测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已延续运转24小时以上。
洁净室环境需洁净完成

二、测试目的
此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有到达设计要求。

三、测试仪器
专业照度仪

四、测试步骤
无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。
确认测试点及设置图编号。
将照度仪牢靠置于距离地板上1.2m高度，待数值稳固后量测10秒纪录。  

 

噪音度测试

一、检测准备
完工图面（初版）与相关规范确认
洁净室所有开孔皆需封锁气密处置完成。
测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已延续运转24小时以上。
洁净室环境需洁净完成。

二、测试目的
此检测动作在于确认无尘室噪音是否有到达设计要求。

三、测试仪器
专业噪音仪

四、测试位置
每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增添测试点数。

五、测试步骤：
a.无尘室所有空调装备及公用装备均为运转状态。
b.确认测试点及设置图编号。
c.将照度仪牢靠置于距离地板上1.2m高度，高器量测10秒后纪录最大值。

 

气流流向检测

一、测试目的
平行度丈量的目的，是考察在事情区域内里气流的运动模式，同时也可以考察仪器装备对气流的影响。平行度丈量应该在气流的风速与平均度都测试完毕且通过之后举行，过早举行可能得不到准确的数据。

二、测试方式
一样平常而言平行度的丈量，是由肉眼考察所决议。使用的工具包罗烟雾、水雾、PFA、和轻质棉线。。烟雾或水雾的配合优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可准确的反映气流运动模式。然则其配合问题是滞空性不足，观察时间太短。丈量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后丈量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子质料Flo-Viz，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适互助无尘室平行度丈量。丈量平行度的方式是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后考察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是丈量细线与铅垂线的夹角，就可决议气流的平行度。

三、测试仪器
支架2.铅垂线3.Flo-Viz细线4 .气流流向检测仪

四、测试步骤
用支架设立垂线作为基准线。2.将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。盘算偏移角=tan-1(悬吊线?移量/1220)。6.每3m×3m区域量1点。若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再盘算夹角就可以了。  

 

地板导电检测

一、测试先容
导电度可视为电流流经或绕过某物体之容易水平(relative ease)，电阻的倒数即导电度

二.、丈量目的
丈量地板上点与点之间(Floor Point to Point)的电阻，和地板与大地间(Floor to Ground)的电 阻

三、Point to Point检测历程
温湿度需已经测试调整及格
每组数据需使用两个电极
电阻计之开路电压为500奥姆，内阻至少100000奥姆
每个无尘室至少量5组数据，取平均值

四、Floor to Ground 检测历程
1.这是丈量无尘室地板与接地电极间，导电性的强度。
2.温湿度需已经测试调整及格
3.电阻计两头的电极，一个接在地板上，另一个连在最靠近的修建物柱子上
4.丈量位置由Owner指定，应有20个位置4.5
5.每位置取差其余5点丈量，再取平均值5.平均之电阻应小于一百万欧姆
6.所有的原始数据与平均值都需表列于讲述中 

 

自净能力检测

一、测试目的
确认在无尘室释放颗粒后，丈量在若干时间内能恢复到释放之前的洁净水平。

二、测试仪器
颗粒测试仪（品牌MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。

三、测试位置
随便抽取丈量点，也可与相关职员配合确认测试点。

四、测试步骤
1 .在测试最先之前要保证净房空调系统正常运转24以上，让洁净环境到达一个稳固的水平。
2.在抽取的丈量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，纪录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数目，延续测试数分钟，待取一个稳固的数据，此时，再将该房间的整个空调系统所有断电。
3.在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度到达之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间 

 

静电检测

一、测试目的
静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。细小物质上若是含有静电，就会酿成异常难处置的问题，由于传输变的很不容易。另外在无尘室内里，若是物体外面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是丈量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可仿真物体在该气流场中之残余外面电压。

二、 测试程序
1.于无尘室内离地32英?(813 mm)处，丈量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单元是每立方厘米离子数。丈量点数：10个，或由业主自己决议。
2.在统一位置做残余电压测试。