无尘车间性能测试和无尘车间认证有何划分？

基本上无尘车间认证就是做无尘车间的性能测试，然则认证者对所测试的效果要负完全责任，要保赞测试仪器、测试程序都知足NEBB划定。这话说来简朴，做起来可不容易，由于空调系统与无尘车间的设计转变许多，有些时刻业主的要求也不尽相同。在差其余设计理念与差其余业主要求之下，测试的执行就有些差异。因此做无尘车间认证，主要之务是熟悉空调系统与无尘车间设计。

NEBB对无尘车间认证职员〈称为Cleanroom Performance Testing 

Supervisor〉的基本要求有四，一是对空调系统和无尘车间的领会，二是对相关规范的领会，三是对测试仪器与测试程序的领会，四是自己的履历与口碑。这些是入门的要求，通过检定成为Supervisor之后，须受NEBB统领，而且要时时温习律例规范与关注新科技生长，每年向NEBB报到至少一次，两年复检一次资格，要求许多。

因此无尘车间性能测试谁都可以做，只要会操作仪器就可以；然则要获得严谨可信托的测试数据，就必须依赖资格相符的专业人士。以下资料是尘室的各项性能测试说明，首先是测试简介，说明一些基本看法，之后是测试程序及注重事项。至于测试的底线，就是数据不能更改也不能甩掉，这是稳固的铁律。http://www.whdcjh.com/

无尘车间测试简介

在测试无尘车间之前，若是能对测试规范、无尘车间基本看法、无尘车间的术语等有些领会，对测试当有辅助。这里是一些靠山资料，提供应读者参考。

一、无尘车间测试规范

有关无尘车间界说、制作、控制、治理等等的国际尺度，在网路上用?contamination 

control?征采，可以找到许多相关资料。无尘车间的界说，最早是在美国联邦尺度209上泛起，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益生长，各国的版本也逐渐泛起。到了90年月后期，产业界体认到若是无配合尺度，就不能实现经济的全球化，于是有ISO-14644的发生。以下说明无尘车间的种种尺度与规范。

1.     Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) 

：美国联邦尺度209E，209的出书刊行，是在1960年月，之后不停改版以因应科技提高与工业生长，版本从原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。然则在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出知足公制计数法的新机型，然则要等旧机械完全镌汰，生怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。

2.     

ISO-14644系列；美国政府为了推动经济全球化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行所有使用公制的国际尺度ISO-14644。14644系列有8个子题〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了品级界说、测试与监视的规范、测试的程序方式、设计与制作、操作、以及其他的有关装备等，局限很广。有些主题已经定案，如Part 

1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的网站上订购。

3.     JIS B9920 (1989)：日本的洁净尺度，划定无尘车间中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的品级界说。

4.     VDI 2083 (1993)：德国的洁净尺度，划定洁净度品级的界说方式，以及洁净度的量测手艺。

5.     Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净尺度，界说无尘车间的分类与一样平常需求。 

以上是无尘车间品级划定，与洁净器量测的相关尺度。另外有关无尘车间污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温?度、震惊噪音等〉，也有一些主要的测试规范，由于这些环境影响因素，都包罗在无尘车间性能测试的局限之内。

1.     IEST-RP-CC-006.2：这本著名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 

包罗了风速风量、滤网泄露、洁净度、温?度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 

的兴起，0062已经急流勇退，逐渐消逝了。

2.     NEBB 无尘车间测试规范第二版：这是现在最广为盛行的测试规范，提到无尘车间认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 

无尘车间测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖局限差不多，然则测试程序更为清晰严谨，仪器使用也有详细划定。因此 NEBB 

无尘车间测试规范的泛起，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘车间测试规范乐成的成为产业尺度。有关 NEBB，请参照本站 NEBB。

3.     ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘车间内里生物污染的控制，现在都只有初稿。 

每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘车间的要求可能都纷歧样。以上所列无尘车间界说与无尘车间测试规范，虽然以可知足大部份厂商的需求，然则严酷来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在制订测试规格时，应遵照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供应商与测试单元照办，需要时可以酌情修改测试尺度，才气真正知足自己的需求。

二、无尘车间常用名词 

1.     

无尘车间界说：无尘车间是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所制作的特殊封锁性修建。一样平常而言，无尘车间也会对温?度、气流运动模式、与震惊噪音等环境因素做控制。

2.     

微粒控制：无尘车间微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的水平做完整剖析，然后针对剖析效果，制订适当的微粒控制方式与无尘车间治理模式，才气有用率的控制微粒污染。在做微粒影响剖析时，必须稀奇注重数据的量化，也就是粒径与其数目对制程的影响，才是有用的数据。

3.     外来污染源：从无尘车间外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调透风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂痕等也是外来污染源的成因。

4.     内部污染源：无尘车间内部发生污染的泉源，一样平常是制程机械与操作员工，最严重的内部污染源一样平常是操作员工。

5.     隔离：隔离是污染控制的一种看法，也就是让污染源阻隔在无尘区域之外。这种看法多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 

10，Class 1等高滤网笼罩率的无尘车间，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。

6.     稀释：稀释是污染控制的另一种看法，多应用在洁净度不高的无尘车间。例如在 Class 

10000的无尘车间，由于换宇量不大，制程与职员发生的粒子就会在室内打转，要对照常的时间才会倾轧。因此新的洁净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一品级之下就可以了，部要求把职员与制程离隔。使用稀释法作为粒控制时，要稀奇注重本节第二条微粒影响剖析的准确性，能掌握微粒的发生速率，才气有用的稀释微粒。

7.     

气流模式：指的是流场型态，气流漫衍，气流的流向等性子。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘车间或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才气掌握洁净度。

8.     单一流向型气流：气流以统一个偏向移动，这种无尘车间称为单一流向型无尘车间，以前称为层流型无尘车间，界说并无多大改变。高洁净度无尘车间需要单一流向型气流。

9.     非单一流向型气流：气流偏向不受控制，就是所谓的乱流型无尘车间，洁净度较低的无尘车间都是用非单一流向型气流以节约成本。

10. As-built cleanroom（刚完工的无尘车间）：已经完成且可以操作，所有相关支援设施皆已完成的洁净室，但并没有装备及操作装备的职员。

11. At-rest 

cleanroom（准备中的无尘车间）：已经完成且可以操作，所有相关支援设施皆已动作的无尘车间，装备已载入并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作装备的职员。

12. Operational 

cleanroom（操作中的无尘车间设施）：一个已在正常运转的无尘车间，所有相关支援设施皆已动作，装备及职员皆已载入，运转状态可以出现和到达其正常的功效。 

三、无尘车间品级界说 

无尘车间的品级 

使用者在开无尘车间的品级给供应商时，有以下几个小技巧。首先是品级界说的模式如下： 

Class X (at Y μm ) 

其中 X 是无尘车间的品级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如 0.2μm , 0.5μm 

等，可复选。意思就是使用者划定，该无尘车间微粒含量，在这些粒径必须知足该品级的限度。这样可以削减纷争，以下是几个例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) 

Class 100(0.2μm , 0.5μm ) 

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 

在 Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....) ，一样平常看一个粒径即可。在 

Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... ) ，一样平常要看多几个粒径。 

第二个技巧是划定无尘车间的状态，例如：

Class X (at Y μm )， At-rest 

供应商就很清晰知道无尘车间要在 At-rest状态下验收。

第三个技巧是自订微粒浓度上限，一样平常在 As-built 时无尘车间都很洁净，微粒控制能力测试不易，这时可以爽性把验收上限压低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)， As-built 

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)， As-built 

这样做的目的是确保无尘车间在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。

以下两个表是 Fed-Std-209E 的品级界说，和ISO-14644的品级界说。

Fed-Std-209E 洁净度界说 

      Class NameClass Limits 

      0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm 

      Volume Units Volume UnitsVolume Units Volume Units Volume Units 

      SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) 

      M 1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - 

      M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - 

      M 2   3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - 

      M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - - 

      M 3   35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - - 

      M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - 

      M 4   - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - 

      M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00 

      M 5   - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5 

      M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0 

      M 6   - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 

      M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 

      M 7   - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 

ISO-14644 洁净度界说 

      ISO classification number(N) Maximum concentration limits (particles/m3 of 

      air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown 

      below (concentration limits are calculated in accordance with equation 

      (1). 

      0.1 mm 0.2 mm 0.3 mm 0.5 mm 1 mm 5 mm 

      ISO Class 1 10 2         

      ISO Class 2 100 24 10 4     

      ISO Class 3 1 000 237 102 35 8   

      ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83   

      ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 

      ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 

      ISO Class 7       352 000 83 200 2 930 

      ISO Class 8       3 520 000 832 000 29 300 

      ISO Class 9       35 200 000 8 320 000 293 000 

      NOTE  Uncertainties related to the measurement process requires that 

      concentration data with no more then three significant figures be used in 

      determining the classification level.

      Equation (1): Cn = 10N X (0.1/D)2.08 其中Cn是微粒浓度，N 是洁净度，D 是粒径

对照以上两表我们可看出

1.     209E 的公制和英制两套尺度，虽然有公式做交流，然则仍究很难一眼看出其相关性。两制放统一表，枉然造成混淆

2.     在两表中 0.5 mm 险些泛起在每一个品级界说中，示意粒径 0.5 mm 的粒子异常具有代表性

3.     在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度， ISO-14644 的局限比 209E 都来的广，因此具有未来性

四、无尘车间测试局限 

通常和无尘车间环境控制有关的因素，都在无尘车间认证的局限之内。在无尘车间完工之前，业主、施工单元、与测试单元‧应就以下几个主题做详细讨论并杀青协议，以利测试举行。

1.     待测无尘车间涵盖局限、品级、面积、滤网位置、与数目 

2.     测试的目的 

3.     测试程序 

4.     使用仪器 

5.     测试讲述撰写方式与内容 

6.     工期

   

在测试前，将以上项目界说清晰，可以使测试顺遂举行，发现问题时也可以尽快清扫，对业主和施工单元都有利。

IEST-0062 有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 Table 1   

      章节测试项目单一流向型 非单一流向型 夹杂型 

      6.1 风量与平均度

      风速与平均度 1,2,3 

      1,2,3 1,2,3 

      OPT 1,2,3 

      OPT 

      6.2 滤网泄露 1,2 1,2 1,2 

      6.3 洁净度 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.4 压力 1,2 1,2,3 1,2,3 

      6.5 平行度 1,2 N/A OPT (1,2 only) 

      6.6 空间泄露 1,2 1,2 1,2 

      6.7 恢复率 N/A 1,2 1,2 

      6.8 粒子沉降测试 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.9 照度 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT (2,3) 

      6.10 噪音 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.11-6.13 温?度 1,2,2 

      OPT 1,2,3 

      OPT 1,2,3 

      OPT 

      6.14 振动 OPT OPT OPT 

测试的顺序没有硬性划定，然则依旧存在某些对照理想的顺序

         

        1: 测试适用于 As-built 状态 

        2: 测试适用于 At-rest 状态

        3: 测试适用于 Operational 状态  

        N/A: 代表该测试在该状态下?不适用?

        OPT: 代表该测试在该状态下为?选择性测试?，可以视制程需求而定 

由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，由于不易受滋扰。风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘车间就不推荐，由于容易受滋扰。固然这是 IEST 

的建议，我们可以自行决议。

至于测试的项目选择，NEBB 建议：依主要性分成三级，说明如下。

第一级〈Level I〉: 第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘车间都应至少应做的测试。第一级测试项目包罗：

A. 风速量测

B. 风量量测

C. 前两项的平均度剖析

D. 滤网泄露测试

E. 洁净度测试

F. 压气力测

第二级〈Level   II〉: 第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，然则只有在特殊情形下才需要举行。

A. 气流平行器量测〈只适用层流型无尘车间〉

B. 空间泄露测试〈险些已被压差测试取代〉

C. 恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘车间〉

D. 粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉

第三级〈Level   III〉: 第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。

A. 照度与其平均度

B. 噪音测试

C. 振动测试

D. 温?度测试

这里说明 NEBB 所要求无尘车间性能测试的各项测试程序，固然这些程序是 NEBB 所认定的基本要求，业主可视状态自行修改。NEBB 

唯一的要求是，若是修改后的程序对照宽松，就不能说是相符 NEBB 尺度。

2.1 气流量测

无尘车间内的气流控制，是维持洁净度的要害，因此高效滤网〈HEPA 

Filter〉的出口速率控制，是异常主要的课题。由于滤网速率关系着空气流场型态、微粒控制能力、换宇量与平行度等，因此无尘车间的气流量测，是无尘车间认证的第一步。经由数据剖析，可察觉问题所在，再对无尘车间做细微的调整，使性能到达要求。

本章说明无尘车间气流量测的步骤，分为速率与平均器量测，风量与平均器量测，平行器量测等三部份。量测程序与数据剖析，都是遵照 NEBB 的尺度。

一、滤网速率与平均器量测

1‧测试目的 

气流是控制洁净度与温?度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速量测，都是放在无尘车间测试的第一步。风速量测的目的，是确认滤网送出的气流知足设计规范，其次是确认气流的平均度。在某些场所可能因现场的限制，室内换宇量还必须用风速乘以出口面积来换算。

单一流向型无尘车间，许多都是设计成垂直层流，因此风速平均度异常主要，只有平均的垂直层流，才气有用清扫微粒污染。非单一流向型无尘车间，由于微粒控制的看法是稀释，不是立刻清扫，一样平常而言其换宇量远比风速主要，因此多只需要量测风量。 

在单一流向型无尘车间，风速量测的位置可由业主指定，一样平常是在滤网外面或是事情高度。然则需注明是滤网风速量测（滤网外面）或是无尘车间室内风速量测（事情高度）。

2‧使用仪器 

无尘车间内里使用的 HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速率多数都控制在 0.5m/s 

以内，因此所使用的风速计必须属于低速型。滤网风速量测可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge 

Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用局限差异，通常不在无尘车间内使用。热线式风速计（Hot Wire）虽然高频响应优越，然则低速时〈0.5m/s 

以下〉准确性很低，因此不很适用，一样平常热反映风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于自己重量问题，也不适用低速。NEBB 的要求是在 

50fpm 到 120fpm 之间〈0.25 m/s 到 0.6 m/s〉，要有? ±5 percent of the reading ?的准确度。

磨练仪器须经校正及格，且仍在有用限期内。于正式检测前及缴交讲述时均须检附及格的校正文件。

3‧测试步骤

(1)    在图面上纪录滤网尺寸、数目并编号。

(2)    取样点位于滤网下方75-150mm处。 

(3)    

每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每1平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每4平方英尺取一点。以600┨×1200┨滤网为例，单点式风速计要量8点；多点式风速计要量2点。 

(4)    每量测点必须取5秒的平均。 

(5)    依验收尺度剖析所有风速，盘算平均值、尺度差、相对尺度差，并标明不及格测试点。 

(6)    纪录所有原始数值，以及剖析后的数值。 

风速量测的测试步骤，在单一流向型或非单一流向型无尘车间都相同。主要的是在非单一流向型无尘车间测试时，稀奇注重取样时风速计不能受到滋扰，以免影响准确度。

4‧数据剖析

风速量测很简朴，然则平均度必须由数据剖析来判断。平均度是由相对尺度差来代表，其盘算步骤如下。 

  

1.    平均值：将所有风速量测值取算数平均   

             VAM = (V1 V2 … VN)/N 

2.    尺度差：盘算所有风速量测值的尺度差   

                

3.    相对尺度差：相对尺度差是一个百分比，将尺度差除以平均值，再乘以100获得百分比   

               RSD= SDV/VAM ×100

风速量测很简朴，然则平均度必须由数据剖析来判断。平均度是由相对尺度差来代表，其盘算步骤如下。 

由以上说明可看出，相对尺度差实在只是把尺度差去单元化，其物理意义与尺度差一样，都是数据偏离平均值的水平。因此，相对尺度差愈高，代表这一群数据愈不平均，在垂直层流场所，固然希望相对尺度差愈低愈好。

5‧验收尺度

验收基准必须是由业主制订，设计团队遵照业主要求设计空调系统，测试单元则依规范测试，提供应业主作为允收依据。一样平常而言，允收条件有以下三种。 

  

1.     相邻两点之风速值，差距不能大于20? 

2.    量测之平均风速，应在设计规格之 ±5?以内 

3.    相对尺度差应在 ±15%以内 

关于第一?的划定，差距大于20?示意这一区已经有足够条件发生区域乱流，必须加以调整。关于第二条，无尘车间内里，单一的滤网平均风速，通常会定在设计规格 

±10?以内，总量才是±5?以内。一样平常空调则是个体出风口 ±20?以内，总量 ±10?以内。

二、滤网风量与平均器量测

1‧说明 

风量量测的目的通常是用来盘算换宇量，一样平常是在非单一流向型无尘车间，或是量测空调系统中林林总总的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法使用气罩的场所（气罩体积较大，有时会受限制），才气使用风速乘以面积即是风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算风量时，须注重出风口之有用面积以及修正系数的取得。在回风口和排气口，使用换算法的准确度异常差，应只管阻止。 

同样气罩通常可以量测送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注重的是反向量测时，其量测局限通常会降低。 

  

2‧测试仪器： 

风量量测应当使用气罩（Flow Measuring Hood），气罩的量测局限是 15~2500 cfm，准确度要求为读数的±3%。 

由于气罩自己会发生压损，因此其形状很主要，应只管使用原厂气罩。若有需要自行制造罩子，应注重气流顺畅而且做详细比对。气罩的校正异常主要，必须主机连同罩子一起校正，才气获得准确校正值。磨练时必须使用校正及格且仍在有用限期的仪器，于正式检测前及缴交讲述时均须检附及格之校正文件。 

  

3‧测试步骤： 

  

(1) 在图面上纪录滤网尺寸、数目并编号。 

(2) 使用适当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后量测与计录。 

(3)    依验收尺度剖析所有风量，盘算平均值、尺度差、相对尺度差，并标明不及格测试点。 

(4) 纪录所有原始数值，以及剖析后的数值。 

  

4‧数据剖析： 

风量平均度的盘算与风速向同，都是由相对尺度差来代表，其盘算步骤如下。 

  

1.    平均值：将所有风量量测值取算数平均

            QAM = (Q1 Q2 … QN)/N 

2.    尺度差：盘算所有风量量测值的尺度差

                    

3.    相对尺度差：相对尺度差是一个百分比，将尺度差除以平均值，再乘以100获得百分比

                   RSD= SDQ/QAM ×100

  

如前述在垂直层流场所，固然希望相对尺度差愈低愈好。然则气罩一样平常适用在非单一流向型无尘车间，其滤网笼罩率并非100?，因此盘算相对尺度差就没意义。在一样平常空调更是不需盘算相对尺度差。

5‧验收尺度： 

验收基准必须是由业主制订，一样平常可接受局限与风速相同，条列如下。 

  

1.     相邻两点之风量值，差距不能大于20? 

2.    量测之平均风量，应在设计规格之 ±5?以内 

3.    相对尺度差应在 ±15%以内 

三、气流平行器量测

1‧测试目的 

平行器量测的目的，是考察在事情区域内里气流的运动模式，同时也可以考察仪器装备对气流的影响。平行器量测应该在气流的风速与平均度都测试完毕且通过之后举行，过早举行可能得不到准确的数据，效果是重测。

2‧测试方式 

一样平常而言平行度的量测，是由肉眼考察所决议。使用的工具包罗烟雾、水雾、PFA、和轻质棉线。在无尘车间内里一样平常不使用烟雾，由于烟雾所含微粒太多，生怕会造成污染。干冰加热水可以制造水雾，水雾对半导体是无污染，然则在制药厂或生化无尘车间，又怕细菌会粘着，因此也有瑕玷。PFA是polyfunctional 

alcohol（多功效酒精？），是一种水性溶液，基本上是水加染料，然后用超音波打成水雾，释放出之后就形成可见雾气。 

烟雾或水雾的配合优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可准确的反映气流运动模式。然则其配合问题是滞空性不足，观察时间太短。量测平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘车间可能造成污染。 

另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后丈量气流平行度。在早期由于棉线对照重，因此只有在风速很强的地刚刚气使用。无尘车间的风速较低，生怕吹不动棉线，平行度基本无法量测。在无尘车间内普遍使用新的高分子质料 

Flo-Viz，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适互助无尘车间平行器量测。

丈量平行度的方式是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后考察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是量测细线与铅垂线的夹角，就可决议气流的平行度。

3‧测试仪器 

    1.     支架

2.      铅垂线

3.      Flo-Viz 细线 

4‧测试步骤 

    1.        用支架设立垂线作为基准线。 

2.        将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 

3.        在离地2135mm处将铅垂线与悬吊相交作为量测起点。 

4.        在离地915mm处量测悬吊线偏移铅垂线的量(mm)。 

5.        偏移角=tan-1(悬吊线?移量/1220)。 

6.        每3m×3m区域量1点。  

                                         偏移角θ=    

若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，之后如上图所示，将红线当成烟雾，再盘算夹角就可以了。 

5‧使用三维超音波风速计 

三维超音波风速计是实验适用的周详量测仪器，拿进半导体厂内量测气流平行度的时机不多，固然由于其客观性十足，准确度自然较高。若是非用不能，其测试方式是把风速计架好，校准水平与方位，将探头高度调整到1525mm，然后丈量三维风速。三维风速的合量与垂直线的夹角，就是气流的平行度。

6‧验收尺度 

验收尺度固然由设计规范决议，一样平常都是14度。

7‧测试讲述 

测试讲述需包罗：

1.     所有的量测位置 

2.     垂直水平偏向位移量或风速 

3.     偏移角 

4.     与允收基准的对照

　 

　 

滤网面速量测实例

Airflow velocity and airflow volume readings 

      Row 1 2 3 4 

      A  720 

      96   725 

      97   730 

      97   740 

      99  

      B  700 

      93   720 

      96   720 

      96   725 

      97  

      C  670 

      89   715 

      95   725 

      97   730 

      97  

      D  690 

      92   710 

95   720 

      96   760 

      101  

      E  710 

      95   720 

      96   720 

      96   740 

      99  

      F  700 

      93    720 

      96   725 

      97   730 

      97  

滤网面速之数据剖析 

平均值  VAM 

VAM = (V1 V2 … VN)/N    

VAM = 95.92 fpm 

尺度差  SDv 

SDV = 2.43 

相对尺度差  RSD

RSD = SDV /VAM = 2.43/95.92 = 2.53% 

    

滤网流量之数据剖析

平均值 QAM 

QAM = (Q1 Q2 … QN)/N    

QAM = 719.38 cfm   

尺度差 SDq 

SDQ = 17.71   

相对尺度差  RSD 

RSD = SDQ /QAM = 17.71/719.38 = 2.46%

2.2 压气力测

一、说明 

压气力测的目的是确认无尘车间空调系统的压力设定。无尘车间内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个 common 

sense，在209的旧版本中，正压有建议值，然则厥后就作废了。现在常见的正压值约是10到25 Pascal之间。 

压气力测的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试竣事之后立刻量测，尤其不能在洁净器量测完毕之后才量测压力。由于若是压力纰谬，要马上调整以免影响洁净度。量测时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。 

  

二、测试仪器： 

压气力测可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要量测局限与准确度知足要求即可。压力计之准确度要求为读数的 

±5%，量测局限式压力设计值而定，一样平常0~5mm Aq （0?50 

Pascal）即可涵盖室内外压力差之量测。仪器需经校正及格且仍在有用限期内之才可以使用，检测前及交附讲述时均须检附及格之校正文件。 

  

三、测试步骤： 

1.          必须在风速、风量、气流等测试完成后，才气测试压力，而且排气与MAU要完全正常运转。 

2.          所有门与启齿都要关闭。室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。 

3.          测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再量测房间与Gowning room之间压差，最后量测Gowning room与外部之压差。 

4.          建议压差值为5~12Pa，并无强制划定。 

5.          纪录所有数值。   

四、验收尺度： 

无尘车间室内外压差之验收尺度是由业主所指定。 

  

    

五、使用发烟管：

压气力测的目的是确认气流可以遵照设计的偏向移动。若是没有划定压力值，只需确认流向准确，或是在晦气便量测的区域，可思量使用发烟管检视空气流向，然则需要业主赞成。发烟管在空调系统测试调整时，是异常利便可靠的工具之一。，虽然不提供数值，然则可以确认气流流向、，也可检视泄露，而且随着烟雾的移动，可确认泄露位置或缩小检查局限。

无尘车间完整性测试 

另一个与压力有关的测试是空间的完整性测试，完整性测试的英文原文是Integrity Test， Integrity 

有完好无缺的意思，像滤网的泄露测试，有些人就称之为 Filter's Integrity Test。

完整性测试的做法是在无尘车间外〈如走廊、或是隔邻品级较差之处〉施放微粒，然后在室内墙版接缝处用微粒计数器扫描，检查有无泄露。然则随着无尘车间研究数据日益充实，专家发现只要维持适当正压，污染微粒经由已经打上硅胶的墙缝侵入的机率微乎其微，因此现在都不做完整性测试。微粒虽然对照不会由墙缝入侵，然则会从配线的启齿渗入，这点必须注重。 

完整性测试已濒临镌汰，在此不多叙述，需要这项服务者请个体联络。

2.3 滤网泄露测试 

   

滤网的泄露测试应当是无尘车间测试中，最庞大、最耗时间的量测项目。泄露测试的目的，是要确认：1.滤网的质料无破损，2.安装适当。滤网出厂前固然要经由泄露测试，然则在搬运与安装历程难保完全无损，而且滤网的主要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄露。另外，若是安装不适当，微粒会从边框漏进无尘车间风口。就算是FFU系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后依旧会发生问题。因此，边框扫描一样主要。 

 

    

滤网泄露测试基本上是把挑战微粒施放在滤网上游，然后在滤网外面与边框用微粒探测仪器征采有无泄露。泄露测试有几种差其余方式，适用在差其余场所。测试方式有：1.气胶光度计测试法，2. 

微粒计数器测试法，3.全效率测试法，4.外气测试法，说明如下。 

  

  

一、气胶光度计测试法 

  

1. 说明 

  

气胶光度计测试法是最早期的测试方式，然则由于效果异常好，到今天依旧沿用。气胶光度计（Aerosol 

Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，然则它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以发生次微米品级的微粒，可用来模拟无尘车间的微粒，因此被当成验证微粒。 

  

泄露的界说是泄露出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网异常利便。也正因其准确、可靠，美国食物与药品管制局（FDA）划定，在其统领局限内（食物加工厂所与医疗制药场所），所有的滤网泄露测试必须使用DOP与气胶光度计。近年理由于人们嫌疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特征类似，使用上无多大差异。 

  

2. 测试仪器 

  

本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒发生器（Aerosol 

Generator）。气胶光度计的显示版有类比与数位两种，每年必须校正一次。微粒发生器有两种，一种是通俗的微粒发生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒发生器，要高压空气和电源，微粒发生器不需要校正。 

 

稀奇注重：

使用 DOP 或是 PAO 当成挑战微粒时，万万不能以使用微粒计数器扫描。由于微粒计数器若是沾到 DOP 或是 PAO 

等油性粒子，生怕很快就要进厂调养，洗濯雷射头了。

  

3. 测试方式 

  

滤网泄露测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄露、替换或修补、重测，其步骤说明如下。 

  

1.    在图面上纪录滤网数目并编号。 

2.    确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必须调整平衡完毕。 

3.    

使用气胶发生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是约莫每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄露，然则跨越50微克以后差异不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量大略盘算，再用气胶光度计确认。 

4.    上游微粒浓度确认后，就可以在滤网外面扫描，寻找泄露，需要时滤网周围可用塑胶帘笼罩以确保测试之准确。 

5.    在滤网外面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测，其方式如下： 

  

               

a.    每一滤网和其边框均需测试。 

b.    滤网之外面时，将探漏器铺排如图(b)，用短边偏向前进，笼罩全滤网 

c.    扫描滤网边框时，尤其滤网与Ceiling Grid之间，探漏器铺排可以如上图（a）或（b），涵盖所有接缝。 

d.    行使微粒计数器之方锥形(10mm*60mm)采样器置于滤网下25mm左右，以50mm/sec速率仪动。 

e.    

气胶光度计上的读数是上下游百分比值，因此若是数值大于0.01，即可嫌疑为泄露，可退回约100mm反覆再测，若是没有连续高读数，则可继续测试，反之即为有泄露，需作纪录且日后修补或替换。 

6.    滤网若有破损则应修补或更新，然后重新再测。 

7.    边框若有泄露，应重新安装、调整，直到无泄露为止。 

8.    纪录时必须挂号扫描效果，泄露状态与处置方式。 

  

4. 验收基准 

  

1.    通常延续性读值跨越0.01?视为泄露，每一片滤网测试及修换后均不得有泄露，边框也不得有泄露。 

2.    每一片滤网的修补面积不得大于滤网面积的3。 

3.    任何修补长度不得大于38┨（1.5英?）。 

  

  

二、微粒计数器测试法 

  

1. 说明 

  

半导体业方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，然则随着制造周详度增添，油性挑战微粒逐渐不允许在无尘车间使用，因此泛起使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄露，基本看法完全相同。经由科学家一步步研究效果，发现PSL由于微粒的粒径与浓度可以控制，因此是现在最广为使用的尺度微粒。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可。 

  

2. 测试仪器 

  

微粒计数器测试法使用仪器是微粒计数器、微粒稀释器与微粒发生器，微粒计数器每一年要校正一次，微粒稀释器与微粒发生器不用校正，然则微粒稀释器要定期调养以免壅闭。 

  

3. 测试方式 

  

测试步骤与气胶法相同，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄露、替换或修补、重测，其步骤说明如下。 

  

1.    在图面上纪录滤网数目并编号。 

2.    确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必须调整平衡完毕。 

3.    使用微粒发生器在上游施放挑战微粒，将雾化的 PSL 

打入滤网上游，同时使用微粒计数器监视上游的微粒浓度，使微粒浓度到达每立方英尺至少有80万颗微粒，而且维持该浓度直到扫描完毕为止。为珍爱微粒计数器，一样平常会在微粒计数器空气吸入口加装牢靠倍率的微粒稀释器。 

4.    上游微粒浓度确认后，就可以在滤网外面扫描，寻找泄露，需要时滤网周围可用塑胶帘笼罩以确保测试之准确。扫描时探漏器离滤网的距离是25┨。 

5.    微粒计数器测试法的扫描速率，是一个上游浓度的函数，不是一个定值，其盘算公式如下： 

  

  

SR：扫描速率 

CC：上游浓度 

LS：泄露界说，如0.01? 

FS：流量，一样平常是 1 cfm 

DP：探漏器尺寸，沿移动偏向 

NP：代表泄露颗粒数 

6.    由上式可看出，上游浓度愈高，扫描可以愈快。扫描的方式与气胶法相同，路径可由外而内或沿长/短边迂回检测。 

7.    滤网若有破损则应修补或更新，然后重新再测。 

8.    边框若有泄露，应重新安装、调整，直到无泄露为止。 

9.    纪录时必须挂号扫描效果，泄露状态与处置方式。 

  

4. 验收基准 

  

1.    通常延续性读值跨越0.01?视为泄露，每一片滤网测试及修换后均不得有泄露，边框也不得有泄露。 

2.    每一片滤网的修补面积不得大于滤网面积的3?。 

3.    任何修补长度不得大于38┨（1.5英?）。 

  

  

  

三、全效率测试法 

  

1. 说明 

  

在某些场所如袋进袋出滤网系统（Bag-in-Bag-out Filtration 

System），或是滤网位于风管中段（医院空调常用，）上游可施放微粒但下游无法扫描，就必须使用全效率测试法。全效率测试法是由于在下游无法扫描，仅能抽取一些空气样本做剖析对照，若是下游微粒含量跨越某定值则判断为泄露，整片滤网要替换。这种测试方式的准确度并不高，因此泄露的界说值一样平常要取低一些以增添准度，例如认定上游的0.005?或0.001?为泄露。只管云云，其准确度经常受到质疑，因此应只管阻止。以袋进袋出滤网系统而言，滤网安装后基本不能扫描，最好的方式是安装前先周全积扫描，确认无破损，安装时小心安装，安装后再做全效率测试，就可削减争议，至少可以厘清制造商的责任。 

  

2. 测试仪器 

  

全效率测试法可应用在差异场所，只要和FDA有关，就必须使用气胶光度计，和半导体有关，就必须使用微粒计数气。前述袋进袋出滤网系统由于都是用在医院与生化实验室，因此都是用气胶光度计。 

  

3. 测试方式 

  

全校律法的测试步骤基本上也是上游施放挑战粒子，下游抽气磨练，以决议其总体性能显示。其测试步骤如下。 

  

1.    在图面上纪录滤网数目并编号。 

2.    确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必须调整平衡完毕，而且经业主认定为及格。 

3.    使用气胶发生器或微粒发生器在上游施放挑战微粒，使微粒浓度到达与维持在划定值。施放时须注重挑战微粒的平均度。 

4.    上游微粒浓度确认后，就可以在滤网下游抽气，检查浓度。抽气位置要只管向后延伸，让泄露出的微粒与洁净空气完全夹杂。 

5.    若是下游浓度跨越设定值则判断为泄露，需要替换滤网。 

  

  

4. 验收基准 

  

由于全效率测试法并非周全积扫描，也没有边框的问题，因此只能划定有泄露就得换新。 

  

  

四、外气测试法 

  

1. 说明 

  

外气测试法基本上是测试空调相内里的高效滤网时使用，由于该滤网直接吸入外气，若是上游再施放粒子就有点虚耗，因此就行使外气当成挑战微粒，在滤网外面直接征采泄露。由于外气粒子含量不稳固，因此这种测试法较不能靠。 

  

2. 测试仪器 

  

外气测试法大部份用在空调箱，使用仪器取决于主系统，只要和FDA有关，就必须使用气胶光度计，和半导体有关，就必须使用微粒计数气。 

  

3. 测试方式 

  

外气测试法的测试步骤如下。 

  

1.    在图面上纪录滤网数目并编号。 

2.    确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必须调整平衡完毕。 

3.    使用气胶光度计或微粒计数器测试上游微粒浓度。 

4.    上游微粒浓度确认后，就可以在滤网外面扫描，检查泄露。扫描方式依差异仪器而异，请参考第一、二节。 

5.    发现泄露，则要需要修补或替换滤网。 

6.    边框部份也要扫描。 

  

  

4. 验收基准 

  

1.    通常延续性读值跨越0.01?视为泄露，每一片滤网测试及修换后均不得有泄露，边框也不得有泄露。 

2.    每一片滤网的修补面积不得大于滤网面积的3?。 

3.    任何修补长度不得大于38┨（1.5英?）。 

  

2.4 洁净器量测

一、说明 

     

洁净度测试是无尘车间性能测试的焦点，气流测试、压力测试，与泄露测试，都只在确认无尘车间的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其他测试对洁净度影响不大，或是属于其他环境测试。

二、测试仪器

          洁净度测试使用微粒计数器，仪器须经校正及格且仍在有用限期内，于检测前及交附讲述时均须检附及格之校正文件。 

  

微粒计数器有差异规格，最常见的是流量1cfm，最小粒径可测到0.3mm或是0.1mm，单元多是立方英?。至于应使用何种机台，要依业主的规范而定。一样平常在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。 

                  Class 1000或更高： 0.5μm 

           Class 100： 0.2μm 

           Class 1 到 Class 10： 0.1μm 

      若是业主要求的立境局限跨越单一微粒计数器的局限，则应该使用两部微粒计数器。

           现在市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘车间的洁净度是以ISO为基准，则要把效果作换算。单元换算，不影响新赖度上限的盘算程序。  

三、测试步骤：  

(1)确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄露测试均已完成，并已修换破损部门。 

(2)确认测试位置与测试点数： 

(2.1) 测试高度：约1.00m处，或由业主指定。 

(2.2) 测试点数： 

  单一流向型无尘车间，取样点数盘算公式如下。 

  公制： 

        （a）   或（b）   

  

  其中 N 代表公制的无尘车间品级，area是面积，单元是平方公尺，然则小数点要无条件进位。在上两式中取较小的值，  就是无尘车间洁净度测试的最小丈量点数。 

                      英制： 

        （a）        或（b）   

                              

  其中N代表公制的无尘车间品级，area是面积，单元是平方英?，然则小数点要无条件进位。在上两式中取较小的值，就是无尘车间洁净度测试的最小丈量点数。 

  

  

          非单一流向型无尘车间，取样点数盘算公式为 

  

  公制： 

  

  其中N代表公制的无尘车间品级，area是面积，单元是平方公尺。，小数点要无条件进位。这个值，就是无尘车间洁净度测试的最小丈量点数。 

  

  英制： 

  

  

  

  其中N代表英制的无尘车间品级，area是面积，单元是平方英?，小数点要无条件进位。这个值，就是无尘车间洁净度测试的最小丈量点数。

注重：每个无尘车间或无尘自力隔间的最少量测点数是 2 点，最少的样本总数是 5 个样本。

(3) 取样时间：每点的取样时间遵照品级与粒径差异而异，可参考NEBB规范TABLE 7-2之划定。若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。   

(4) 

测试位置应平均漫衍在无尘车间内，阻止在会发生大量粒子之周围，且将检测仪器以适当之架台支持，不能以手持支持。另外，测试位置需在业主指定(及/)或标定位置之9m2内。代表该点的最后数据，这个最后数据需小于业主划定值。 

(5) 

量测点数依前述NEBB规范之公式盘算（与209E相同）。任一区域内至少要有二点以上之测试点且须平均漫衍(除非有装备影响)，而且取样数需大于或即是5次。任一区域之测试总点数若少于10点，需作信托度上限剖析(盘算Upper 

Confidential Limit)。   

(6) 需纪录所有数值，包罗统计剖析数据。

四、验收尺度： 

洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒量测平均值必须低于划定值。也就是若是某一点取样三次，这三个数据的平均值代表该点的最后数据，这个最后数据需小于业主划定值。 

任何量测点数少于10点的无尘车间（可能是无尘车间内的某一隔间），该隔间必须做信托度上限剖析。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信托度上限剖析，则该剖析值也必须小于业主划定值。 

  

    

一样平常而言，业主划定值都市比洁静度品级界说少一些。在As-built测试时，划定值经常定为品级界说的10?，At-rest测试时，划定值经常定为品级界说的15?。这样做的目的是确保在Operating 

状态，洁静度可以为持在品级界说以下。 

五、信托度上限剖析： 

      任一无尘车间或是自力的隔间，若是取样点数小于10（2到9），就必须做信托度上限剖析，剖析效果需小于。信托度上限剖析有五个步骤，说明如下。 

  

(1)    盘算将该房间内，每一取样点的平均值，也就是每个取样点的所有样本的平均值，代表该点的微粒量测值。公式如下                 其中 Ai 

代表取样点的平均值，CN 是微粒量测值，N是每点的样本总数。 

  

(2)    盘算在该房间内，所有取样点数据的平均值（Mean），公式如下： 

  

其中 AL 代表取样点的平均值，M是房间内微粒总平均值，L是房间内总的取样点数。 

  

(3)    盘算尺度差（Standard Deviation），公式如下： 

  

其中SD代表尺度差， AL是取样点的平均值，M是房间内微粒总平均值，L是房间内总的取样点数。 

     

(4)    盘算尺度误（Standard Error），公式如下： 

  

其中SE代表尺度误，SD是尺度差，L是房间内总的取样点数。 

  

(5)    盘算信托度上限（Upper Confidential Limit），公式如下： 

  

        UCL = M   (UCL factor x SE)

  

其中UCL代表信托度上限，M是房间内微粒总平均值，SE是尺度误，UCL factor 要查表，表列如下。 

  

      取样点总数 2 3 4 5 6 7 8 9 >9 

      95 % UCL factor 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86 N/A 

　 

    遵照以上步骤所盘算出的UCL，就是该房间的信托度上限值。 

2.5 温?器量测

一、说明：

温湿器量测的目的是确认室内之温?度控制在局限之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（Level 

3）。然则因无尘车间多数同时也是环控室，以是温湿度经常就一并量测了。

     温湿器量测又分为一样平常量测和进阶量测（General Tests and Comprehensive 

Tests），一样平常量测只是量测温?度在量测点的即时数据（单一量测数据），适用在对温?度要求不高的场所。进阶量测就要纪录在量测点一段长时间的温湿度，目的是要考察温?度随时间的转变情形，以确认温?度在控制之下。进阶量测适用在对温?度要求对照高的场所。 

  

二、测试仪器： 

  

常见的温?度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一样平常量测和进阶量测使用仪器的精度相同，温器量测局限是0-100℃，准确度是±0.2℃。?器量测局限是10?到95?，准确度是±2?。 

  

一样平常量测要求温度之显示值可显示0.1℃的转变，?度的显示值可显示1?的转变。进阶量测则要求温度之显示值可显示0.05℃的转变，?度的显示值可显示0.1?的转变。 

  

检测仪器需校正及格且仍在有用限期内者，于测试前或交附讲述时均须检附及格之校正文件。 

  

三、测试程序： 

  

一样平常量测的程序如下 

  

1.    

确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其到达设计要求，为温?度控制提供准确的运转环境，因此系统要先平衡才气测试。 

2.    依据平面图，列出种种温湿度要求区域，并使系统到达正常运转状态，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。 

3.    测试点数为每个房间至少量一点，而且每个温?度控制区至少量一点，例如每个Dry Coil的控制局限要量一点，量测高度为(高架)地板上1.00m。 

4.    将温湿度感测器放置统一位置，待稳固后最先纪录。 

  

一样平常量测的讲述应包罗以下项目 

  

1.    量测位置图 

2.    所量测的温?度数值与取样时间 

3.    简朴数据剖析 

a.    取样点总数 

b.    最小值 

c.    平均值 

d.    最大值 

e.    平均值减最小值与最大值减平均值 

  

进阶量测的程序如下

1.    确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。 

2.    依据平面图，列出种种温湿度要求区域，并使系统到达正常运转状态，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。 

3.    测试点数为每个房间至少量一点，而且每个温?度控制区至少量一点，例如每个Dry Coil的控制局限要量一点，量测高度为(高架)地板上1.00m。 

4.    将温湿度感测器放置统一位置，待稳固后最先纪录。 

5.    至少每6分钟纪录一次温?度值，而且连续纪录2小时。亦即每一量测点至少有20笔数据。 

  

进阶量测的讲述应包罗以下项目 

  

1.    量测位置图 

2.    所量测的温?度数值与取样时间 

3.    简朴数据剖析 

a.    取样点总数 

b.    最小值 

c.    平均值 

d.    最大值 

e.    平均值减最小值与最大值减平均值 

  

4.    若有需要，应盘算露点温度 

  

5.    外气状态 

a.    温度局限 

b.    降水状态 

c.    ?度局限 

d.    温?度极大值与极小值泛起时间 

  

6.    进阶数据剖析 

a.    所有温?度数据的最小值 

b.    所有温?度数据的平均值 

c.    所有温?度数据的最大值 

d.    尺度差 

  

  

五、验收尺度： 

依合约划定之各区域温?度局限验收之。 

  

2.10 导电度测试

导电度测试 (Conductivity)

1. 导电度可视为电流流经或绕过某物体之容易水平(relative ease) ，电阻的倒数即导电度

2. 量测之目的是量测地板上点与点之间(Floor Point to Point)的电阻，和地板与大地间(Floor to Ground)的电阻

3. Floor Point to Point  这是量测地板上随便两点间，导电性的强度。

3.1 温湿度需已经测试调整及格

3.2 每组数据需使用两个电极

3.3 电阻计之开路电压为500欧姆，内阻至少100000欧姆

3.4 短路电流界于2.5mA与5mA之间

3.5 电极距离3?

3.6 每个无尘车间至少量5组数据，取平均值

4. Floor to Ground  这是量测无尘车间地板与接地电极间，导电性的强度。

4.1 温湿度需已经测试调整及格

4.2 仪器同前

4.3 电阻计两头的电极，一个接在地板上，另一个连在最靠近的修建物柱子上

4.4 量测位置由Owner指定，应有20个位置

4.5 每位置取差其余5点量测，再取平均值

5. 平均之电阻应小于一百万欧姆

6. 所有的原始数据与平均值都需表列于讲述中

2.11 静电测试

1. 测试目的

静电问题不是只有半导体业才有，其他行业也有类似问题。细小物质上若是含有静电，就会酿成异常难处置的问题，由于传输变的很不容易。另外在无尘车间内里，若是物体外面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是量测空气中正离子与负离子的含量，依此数据可模拟物体在该气流场中之残余外面电压。

2. 测试程序

2.1 于无尘车间内离地32英? (813 mm) 处，量测该位置之空气中正离子与负离子的含量，单元是每立方公分之离子数。量测点数：10个，或由业主决议。

2.2 在统一位置做残余电压测试.