洁净室系统完工性能测试及单项系统测试准则

一．FFU泄露(filter  leakage)测试?

1. 先启动待测试之FFU,并调整其风量维持在设计局限内?

2. Particle counter 所附之探测棒须空气过滤器下方5cm以1.5cm速率沿空气过滤器出风面作有纪律扫描。

3. 每HEPA 或ULPA之出风外面均须测试。

4. 若测得其Particle跨越其要求Filter之划定或泛起相关之不允许Particle则说明该FFU有泄露，损坏之处须以silicon来修补。

二．FFU风速（air  flow  velocity）测试?

1. 可分层流区及非层流区来测试。

2. 须对每片filter 丈量及测试不少于5个点求其平均风速值。（其四角和中央区域各测试一处）

3. 丈量高度为1.2米或1.5米的假定事人情。

4. 层流区平均风速须到达0.35m/s _20%,非层流区平均风无须到达0.45m/s _20%.

三．FFU气流平行度(air  flow  parallelism)测试?

1. 本项目仅对周全层流区实行

2. 依高架地面或地面上方1.2米或1.5米处之丝线偏离以盘算之偏离角度。

3. 偏离角度不得大于14度。

四．洁净度（Air  borne  particle  count）测试?

1. 测试前须先确定洁净室内所有工程均已完成并已经正常运转。

2. 丈量高度为1.2米或1.5米的假定事人情或由业主与承商配合协商定之。

3. 测试点数不少于洁净室之面积的平方根个或由业主与承商配合协商定之。

4. 丈量用具为粒子计数器（particle  counter）

五．室内压力（Room  pressurization）测试?

1. 行使微压差计由最内房间向外逐一测试。

2. 测试前确保洁净室之所有门窗等为关闭状态。

3. 每房间至少测试一点。

4. 丈量高度为1.2米或1.5米的假定事人情或由业主与承商配合协商定之。

六．温湿度测试?

1. 行使温湿度计测试测试前确认风速已测试完成且空调系统运转24小时后最先测试。

2. 每个空调温控区至少有一个测试点。（原文链接：http://www.whdcjh.com/a-152/）

3. 丈量高度为1.2米或1.5米的假定事人情或实践的所有数目及位置可有业主与承商配合协商定之。保证每50平米至少有五个测试点。

七．环境噪音测试?

1. 行使声级计测试洁净室，每40平米及每一自力房间须丈量一点。

2. 须启动洁净室所有相关空调装备，但其它装备为住手状态。

3. 所丈量值不得跨越设计及业主划定。

5. 丈量高度为1.2米或1.5米的假定事人情或由业主与承商配合协商定之。

八．气密性(Enclosure  infilteation  leak)测试?

1. 钟对洁净室内门窗?所有修建结构可能得裂缝及管道间与所有管线进入洁净室的接缝。

2. 可接纳漏光法或感观触摸等方式检测。

九．照度测试?

1. 接纳照度仪测试，所有测试点数，位置，高度可由业主与承商配合协商定之。一样平常为距地面1.2米或1.5米的假定事人情。

2. 日光灯系统至少运转100小时白彘灯须延续20小时以及洁净室相关装备系统至少运转2小时或室内温度已到达稳固状态后才气测试。

十．地板及墙板静电测试?

1. 接纳高阻表测计，测试前须用相关溶液擦洗。

2. 地板一样平常测试” ”?”-“南北极间距至少>=600mm,或按每36平方米一个测试点为原则举行测试。

3. 墙板一样平常测试” ”?”-“南北极间距至少>=900mm,或按每36平方米一个测试点为原则举行测试。

4. 地板外面电阻一样平常为1.0*104~~1.0*106奥姆。

  墙面电阻一样平常为1.0*106~~1.0*108奥姆。