无尘室内的检测工具主要有哪些？

1.温度

无尘室内温度是指室内环境空气的温度，单元以摄氏度(℃)示意。可以使用玻璃温度计、数字式(包罗热电偶、热电阻、半导体式)温度计测定室内温度，也可以使用干湿球湿度计、数字式湿度计和风速计所附的温度计。要求温度计测试局限应在-10℃至50℃，准确度为±0.3℃。

注重

1)   读数时视线必须与标尺垂直，并与液柱面处于统一水平面。

2)   读数时不能用手摸标尺或将温度计取出插孔，更不允许用手握住温包来读数，否则将造成极大的误差。

2.相对湿度

湿度是指空气中水分的含量。有两种示意方式：(1)绝对湿度：单元体积空气中所含水气的质量；(2)相对湿度(RH)：空气中现实水气压与统一温度条件下饱和水气压之比值，单元用%示意。湿度一样平常用相对湿度示意。相对湿度可以使用干湿球温度计、氯化锂露点式湿度计、电容式数字湿度计测定，要求湿度计测试局限应在12%至99%，准确度为±0.3%。

使用方式参见所用仪器的使用说明书。

3.空气流速

室内外温差、压差、人工透风、空调、室内热源等都可引起空气流动，同室外气流一样对污染物有稀释和扩散作用。空气流速可用热球式电风速计和热线式电风速计丈量，要求风速计测试局限应在0.01 m/s至20m/s，准确度为±5%。

使用方式参见仪器使用说明书。

4.新风量

（一）原理

接纳示踪气体浓度衰减法。在待测室内通入适量示踪气体，由于室内、外空气交流，示踪气体的浓度呈指数衰减，凭证浓度随时间的转变值，盘算出室内的新风量。

（二）仪器和质料

1)  袖珍或轻盈型气体浓度测定仪。

2)  尺、摇晃风扇。

3)  示踪气体：无色、无味、使用浓度无毒、平安、环境本底低、易采样、易分

析的气体。

表2示踪气体环境本底水平及平安性资料

5.专业生产装备之选择、部署与调养

a.要选用发尘性较少的生产装备及相关装备，尤其须注重流动部门之发尘。

b.应选择灰尘之影响较小的生产装备或接口装备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的缘故原由，故应配备过滤装置。

d.设计各装备之设置空间时，事先宜思量不易积累微尘之结构，设计各并以容易洁净为原则。

e.真空泵等容易发生污染物的这类装备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其组织须思量到容易洁净，不易积累污染物。

g.生产及相关装备应定期清扫，以阻止微尘之聚积。

h.应增强注重室内的温湿度控制，阻止因湿度之欠妥造成结露生锈。

i.当装备维修时易发生微尘粒子，故维修时只管于洁净室外举行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应见告收支无尘室之各项划定，且认真工程师应随侍在侧监工。

k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。