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无尘室洁净度检测尺度参考

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1 目的

   划定无尘室洁净区的控制指标和检测方式,有用的控制十万级和三十万级洁净区环境的洁净度,知足生产环境的要求。


2 局限

   本规程适用本公司十万级和三十万级洁净区环境的洁净度磨练。

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3 磨练方式

3.1 磨练项目

   温度、湿度、压差、风速(换气次数)、灰尘粒子数、菌落数


3.2 温度、湿度

3.2.1 要求

   十万级/三十万级洁净区温度(18-26)℃,相对湿度(45-65)%

3.2.2 仪器与装备

   温湿度计

3.2.3 操作方式

   目测温湿度计。

3.2.4 测定频次 

1次/班。


3.3 静压差

3.3.1 要求

洁净室与室外压差≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa差异级别洁净室之间≥5Pa。

3.3.2 仪器与装备:抵偿式微压计

3.3.3 操作方式

   用抵偿式微压计测试各室的静压力,由两室静压力之差,为静压差。

3.3.4 测定频次:1次/月


3.4 换气次数

3.4.1 要求

   十万级洁净区换气次数>15次

三十万级洁净区换气次数>12次

3.4.2 仪器与装备:热球式电风速计。

3.4.3 操作方式距风口下25cm处丈量

3.4.3.1 用风速计风速,采样点为风口的四个顶角及中央位置(不少于5点)。盘算5个点风速平均值。为一个风口的风速。

3.4.3.2 换算公式:

                  ∑(高效风口风速×高效风口面积)

    换气次数= ──────────────────

                              被测间体积

3.4.4 测定频次:1次/月


3.5 灰尘粒子数

3.5.1 要求

十万级洁净区灰尘粒子数: ≥0.5μm:≤3500个/L

                         ≥5.0μm:≤20个/L

三十万级洁净区灰尘粒子数:≥0.5μm:≤10500个/L

≥5.0μm:≤60个/L

3.5.2 仪器与装备:灰尘粒子计数仪

3.5.3 采样点

凭证洁净室面积,要求最少采样点见下表:

面积,(m2)

洁净度级别

10000

100000

300000

≤10

≥10~<20

≥20~<40

≥40~<100

≥100~<200

≥200~<400

≥400~<1000

≥1000~<2000

≥2000

2

2

2

4

10

20

40

100

200

2

2

2

2

3

6

13

32

63


3.5.4 操作方式

用灰尘粒子计数仪在高度1米水平面上的位置采样,每层采样点不少于5点,每个采样点采样次数不少于5次。采样点见附件1。  


3.5.5 换算公式


             5次丈量数的总和

灰尘粒子数= ─────────

                   5

3.5.6 测定频次 :1次/季


3.6 菌落数

3.6.1 要求

  浮游菌 十万级洁净区含菌浓度≤500个/m3

  沉降菌 十万级洁净区含菌浓度≤10个/皿

          三十万级洁净区含菌浓度≤15个/皿


3.6.2 检测方式

按《微生物磨练规范》的划定举行。

3.6.5 测定频次:浮游菌 1次/季;沉降菌 1次/周


4 测定条件

4.1 当新洁净区投入使用前,举行一次静态环境监测,监测时,洁净区内所有物品均应到位,检测区内只留检测职员,检测效果应相符3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的要求。如不及格应重新对净化系统举行检查,查找缘故原由,举行整改后,再举行检测,及格后方可投入使用,否则不得进入生产。

4.2 所有在用洁净区,按本规程的要求举行动态检测,检测效果应相符3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的要求。如不及格由手艺品质部见告生产部,通知超标车间停产,由生产部、手艺品质部、生产车间组织职员查找缘故原由,举行整改后,再举行检测,及格后方可投入使用。


附件1 灰尘粒子检测点

附件2 沉降菌检测点

附件3 浮游菌检测点


原文链接:http://www.whdcjh.com/a-795/

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Tags:洁净度磨练

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