对于洁净室来说，空气中悬浮粒子的测试无疑是最主要的检测项目。测定洁净室空气中粒径漫衍在0.1-5.0μm局限内的悬浮粒子浓度，从国际尺度来看其目的有：

根据国际尺度ISO 14644-2对洁净室或洁净装备举行磨练（Certify）或验证（Verify），或是根据国际尺度ISO 14644-2对洁净室的运行状态举行定期监测（periodic measurement）。至于测试状态则凭证需要和洁净室现实占用情形决议，可能是空态、静态和动态中的任何一种。

国家尺度GB 50073-2001与国际尺度ISO 14644的上述划定是统一的。

如前所述，通常“空态”适用于新建或新刷新的洁净室，完成“空态”下的测试后，再在“静态”或“动态”下举行达标测试，而洁净室空气中悬浮粒子的监测一样平常都是在动态条件下举行。

 

1  测试的准备事情

测试前应验证洁净室或洁净区的各个方面设施都是完整的，而且运行正常，相符设计的手艺性能要求。展望试事情一样平常包罗：

1）   空气流量或风速测试;

2）   空气压差测试;

3）   距离结构气密性测试;

4）   已安装好的过滤器检漏测试。

 

2  采样点的位置及数目

国家尺度GB 50073-2001《洁净厂房设计规范》和国际尺度ISO14644-1《空气洁净度分级》中，关于洁净室空气中悬浮粒子测试的采样点的划定是一致的。(泉源:www.whdcjh.com)

洁净室检测时最少采样点数按下式决议：

                            

式中 NL---最少采样点（四舍五入取为整数）；

       A---洁净室或洁净区的面积，m2；

   ISO-14644-1稀奇注明，对于水平单向流，面积A可以看作是与气流运动的截面积。

  海内外尺度都强调采样点应平均漫衍于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于事情区高度，通常距离地面0.8m。

  表2-1列出了现行国际、海内关于洁净室检测空气中悬浮粒子的采样点数，与早些年的海内行业尺度JGJ71-90《洁净室施工及验收规范》关于差异洁净度洁净室检测时最低采样点数的对照。JGJ71-90有关采样点的详细划定，与已于2001年被废止的美国联邦尺度FS-209E（1992年揭晓）是相一致的。

  由表2-1还可以清晰地看到，与以往规范划定的洁净室空气中悬浮粒子采样数目相对照，新的方式与洁净室的洁净度级别无关，仅取决于洁净室或洁净区面积的巨细。

   而差异洁净度级其余采样差异，主要反映在单点的采样空宇量的若干上。

国际海内新、旧尺度对空气中悬浮粒子采样点数的差异划定
面积（┫）	GB 50073-2001	JGJ71-90洁净室施工及验收规范
	ISO 14644	100级及高于100级	100级	10000级	100000级
<10	3	2	2	2	2
10	3	4	3	2	2
20	5	8	6	2	2
40	6	16	13	4	2
100	10	40	32	10	3
200	14	80	63	20	6
400	20	160	126	40	13
1000	32	400	316	100	32
2000	45	800	633	200	63

注：表中面积的寄义是：对于单向流（层流）洁净室,是指送风面面积；对于乱流洁净室，是指房间面积。

 

3  各采样点的单次采样量

  当所选最大粒径的粒子浓度处于指定的国际尺度ISO 14644-1或国家尺度GB 50073-2001响应的品级分级限值时（见本章附录1、附录2），要保证在每个采样点的单次采样空宇量中，至少能检测出20个粒子，这才气知足从统计学角度认定丈量的可靠性，以此判断单次采样量是否相符基本需要。此外，从采样空宇量和采样时间测定的可靠性思量，也给定了下限值。以是，每一采样点的单次采样量应按下式确定：

        

式中 VS---每个采样点单次最少采样量，以升示意（L）；

       Cn---相关品级划定的所选最大粒径的品级限值（pcs/m3）；

       20---若是粒子浓度处于空气洁净度品级限值，应被仪器测得的最少粒子数（pcs）。

举例盘算如下：

由本章附录1可以查到各洁净度品级响应粒径的粒子浓度限值。

盘算效果解释，若以0.3μm粒径为检测依据，则ISO 4级每测点单次采样量为19.6L，若以0.1μm为准，则单次采样量为2L。

关于采样量还应注重以下三点：

1）为保证采样量及采样时间测定的可靠性，划定每个采样点的采样量至少为2L，采样时间最少为1min。当按式（2.2）盘算的VS或仪器的采样时间不知足上述要求时，以上述下限值为准。

2）当洁净室、洁净区仅有一个采样点时，则最少在该点采样3次。

3）ISO 14644还建议，若是VS值很大时，所需采样时间偏少，则应思量接纳顺序采样程序，以削减所需采样量及采样时间。

 

4  空气中悬浮粒子浓度的采样及数据整理

  洁净室空气中悬浮粒子浓度检测采样时，应注重以下问题：

1）   国际GB 50073-2001划定，应使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。

2）   所选用的光学粒子计数器必须在仪器校准的有用使用期内。校准的频度和方式应相符现行公认的规范，通常每年校准一次。

3）   使用光学粒子计数器采样时，采样探头的入口应位于气流中并朝向气流，若是气流偏向并未受控或不能展望时，如在非单向流洁净室，则采样探头的入口应垂直向上。

4）   每个采样点可按所盘算确定的最小采样量采样空气。

 

4.1空气中悬浮粒子浓度的统计盘算原则

粒子浓度的统计盘算，遵照以下原则：

1）   当采样点数多于9个时，洁净室空气中悬浮粒子浓度即为各采样点粒子浓度的算术平均值。

2）   当采样点多于1个，但少于10个时，按下节中所述程序盘算平均值、尺度误差（standard deviation）和95%置信上限UCL（upper confidence limit）。

3）   若是在每个采样点测得的粒子浓度平均值以及盘算所得的95%置信上限都未跨越所检测洁净室或洁净区的浓度限值，则以为该洁净室或洁净区到达了划定的洁净度级别。

4）   若是测试盘算效果未能知足划定的洁净度级别，可增添平均漫衍的新采样点举行测试，对包罗新增采样点数据在内的数据重新盘算的效果，就是确定的结论。

5）   若是95%置信上限的盘算效果，未到达划定的品级是由于丈量差错或空气中粒子浓度异常低而造成的单个限外值，则该值可以不计。（参看2.5.2节的例题）

6）   在统计剖析中只思量所引起的精神不足、随机误差，不思量非随机误差，如校准误差造成的误差等。

5   洁净度级其余盘算例题

5.1例题1

  被测的洁净室面积（A）为80m2。需要确定其在动态下是否相符划定的空气中悬浮粒子洁净度品级。该洁净室划定的空气洁净度品级为ISO 14644 5级或等同的GB 50073-2001 5级。

1.盘算空气中最大允许悬浮粒子浓度

建设方与承包商在洁净室工程承包条约中，划定了所建设洁净室

应在动态条件下检测0.3μm(D1)与0.5μm（D2）两个粒径的空气中悬浮粒子浓度，以审核其是否到达尺度。

1）   凭证ISO 14644-1及GB 50071-2001国际、海内尺度关于洁净度示意方式的划定，在洁净室洁净度分级中设定的所选粒径应在0.1-5μm的限值局限内。本例所选定的两个检测粒径相符上述划定，即0.1μm≤0.3μμm，0.5μm≤5μm。

2）   凭证ISO 14644-1的划定，若是所选定的检测粒径不止一种，则相邻的较大的粒径（如D2）与较小的粒径（如D1）之比至少应为1.5，即D2≥1.5D1.本例所选定的两种检测粒径0.5μm≥1.5×0.3μm（0.45μm），也相符ISO 14644-1关于洁净度分级的此项划定。国家尺度GB 50073-2001，对此未作划定。

3）   盘算最大允许悬浮粒子浓度。该值可以按下述步骤举行盘算，也可直接从悬浮粒子洁净度品级划分表查得。根据ISO 14644-1及GB 50073-2001所一致给定的悬浮粒子洁净度品级划分原则，每种选定粒径的最大允许粒子浓度Cn的盘算公式，如式（2-7）所列：

                           

式中   Cn―大于或即是所选定粒子的最大允许浓度。Cn的有用数字从高位算起不跨越3位（其余写为0），并四舍五入至最靠近的整数；

        N―洁净度品级，N的最大值为9，两级中央局限的品级之最小允许级差是0.1；

        D―以微米示意的所选粒径；

        0.1―以微米计的常数。

根据式（2-7）盘算所选定检测粒径的最大允许浓度如下：

对≥0.3μm(D1)的粒子：

从本章附录1附表1中查找，也可获得与上述盘算值相同的效果。